074f-concl (1143791)
Текст из файла
ЗАКЛЮЧЕНИЕ ДИССЕРТАЦИОННОГО СОВЕТА Д 212.229.02, СОЗДАННОГО НА БАЗЕ ФЕДЕРАЛЬНОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО АВТОНОМНОГО ОБРАЗОВАТЕЛЬНОГО УЧРЕЖДЕНИЯ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ «САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ПЕТРА ВЕЛИКОГО» МИНИСТЕРСТВА НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ПО ДИССЕРТАЦИИ НА СОИСКАНИЕ УЧЕНОЙ СТЕПЕНИ КАНДИДАТА НАУК аттестационное дело № решение диссертационного совета от 16.05,2019 г.протокол № 23 О присуждении Спешиловой Анастасии Борисовне, гражданке РФ, ученой степени кандидата технических наук.
Диссертация «Раз аботка технологии о ми ования ото езистивных пленок п е зионной толщины с минимальной ше оховатостью пове хности плазмохимическим т авлением» по специальности 05.27.06 — "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники (технические науки)" принята к защите 21 февраля 2019 г.„протокол № 21 диссертационным советом Д212.229.02 на базе федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого» Министерства образования и науки Российской Федерации (ул. Политехническая, д.
29, г. Санкт-Петербург, 19525! ), приказ о создании диссертационного совета 816 н/к от 18.11.2013 года. Соискатель Спешилова Анастасия Борисовна, 1980 года рождения, в 2003 г. с отличием окончила Санкт-Петербургский государственный политехнический университет по специальности «Химическая технология материалов и изделий электронной техники»; в 2006 г. окончила очную аспирантуру кафедры «Технология материалов электронной техники» СанктПетербургского государственного политехнического университета по специальности 05.27.06 — «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники».
В настоящее время работает инженером-исследователем в научноисследовательской лаборатории «Микроскопия и микроанализ» федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого» Министерства науки и высшего образования Российской Федерации. Диссертация выполнена на кафедре <сФизико-химия и технологии микросистемной техники» института металлургии машиностроения и транспорта Федерального государственного автономного образовательного учреждении высшего образования «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого» Министерства образования и науки Российской Федерации.
Научный руководитель — доктор химических наук, профессор Александров Сергей Евгеньевич, заведующий кафедрой <сФизико-химия и технологии микросистемной техники» института металлургии машиностроения и транспорта федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого», Оф{пиальные оппоненты: 1. Ежовский Юрий Константинович, доктор химических наук, профессор, профессор кафедры химической нанотехнологии и материалов электронной техники федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования "Санкт-Петербургский государственный технологический институт <' технический университет)"; 2. Земляков Валерий Евгеньевич, кандидат технических наук, ведущий научный сотрудник кафедры квантовой физики и наноэлектроники федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»; дали положительные отзывы на диссертацию.
Ведущая организация — Акционерное общество «Светлана-Рост» 1194156, г. Санкт-Петербург, пр. Энгельса, д. 27), в своем положительном заключении, подписанном кандидатом физико-математических наук„ заместителем генерального директора по развитию АО «Светлана-Рост» Алексеем Гелиевичем Филаретовым и утвержденном генеральным директором АО «Светлана-Рост», кандидатом физика-математических наук Виктором Петровичем Чалым, указала, что диссертационная работа Спешиловой Анастасии Борисовны является законченной научно- квалификационной работой, содержащей новое решение актуальной задачи— разработке технологии прецизионного плазмохимич еского травления фоторезистивных слоев, позволяющей воспроизводимо формировать слои заданной толщины с необходимой точностью и обеспечивающей минимальный уровень шероховатости поверхности «жертвенного» слоя.
Содержание автореферата диссертации и опубликованных работ отражают основные положения диссертационного исследования. Материалы диссертации вносят существенный вклад в решение ряда прикладных задач, касающихся разработки и производства широкого класса переключательных МЭМС устройств. Применение разработанной технологии позволяет перейти к групповым технологическим процессам изготовления не только дискретной компонентной базы МЭМС мембранного типа, но и интегрированным решениям в области создания переключательных и ограничительных схем. Разработанная автором технология прецизионного плазмохимического травления «жертвенного» слоя была успешно применена на практике и внедрена в технологический маршрут изготовления опытной партии ВЧ переключателей, о чем свидетельствует акт о внедрении результатов диссертационного исследования, подписанный руководством АО «СветланаЭлектронприбор».
Содержание диссертации соответствует п.1, п.3, п.б формулы специальности 05.27.0б — «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники». По научному уровню, полученным результатам, содержанию и оформлению диссертационная работа соответствует требованиям, предъявляемым в пп. 9- 11 «Положения о присуждении ученых степеней» от 24 сентября 2013 г. № 842 (ред.
от 01.10.2018) к диссертациям на соискание ученой степени кандидата наук. Автор диссертационной работы Спешилова А.Б. заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.0б — «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники». В качестве основных замечаний в отзыве отмечено: 1. Из текста диссертации не ясно, каким образом контролировалась температура образцов в процессах плазмохимического травления, проводимых в установке с удаленным ВЧ разрядом.
2. В диссертации не приведены конкретные размеры исследуемых образцов. И хотя, средний масштаб объектов МЭМС-устройств известен, в работе не хватает сведений о равномерности травления по площади всего образца. 3. Ддя контроля толщины и шероховатости поверхности фоторезистов в работе использован атомно-силовой микроскоп Яо1~егР47-Рго, внесенный, насколько нам известно, в Государственный реестр средств измерений.
Не лишним в этой связи было бы упоминание о поверке прибора и/или использованном способе калибровки. 4. На наш взгляд, автором недостаточно полно отражены причины выбора для исследования конкретных фоторезистивных композиций, существуют ли их аналоги. 5. Во второй главе в описании методики исследований образцов методом атомно-силовой микроскопии указано, что размер сканируемой области составлял 1х1, 5х5 мкм (256х256 точек). По-видимому, имелось ввиду «размеры сканируемых областей...»7 Однако, далее в тексте 2 диссертации рисунков с размером кадра 5 х5 мкм не приведено. Соискатель имеет 25 опубликованных работ, из них по теме диссертации 7 работ, в том числе 5 работ опубликованы в рецензируемых научных журналах, рекомендуемых ВАК РФ.
Наиболее значимые работы: 1. Спешилова, А.Б. Исследование морфологии поверхности пленок фоторезистов методами атомно-силовой микроскопии для применений в микрос исте мной технике / А.Б. Спешило ва, С,Е.Александров, Ю.В. Соловьев, О.И. Еремейчик // Научно-технические ведомости СПбГТУ.— 2006. — № 4.— С. 105-109.
Вклад А.Е Спеишловой — Исследование влияния режимов термообработки на толщину и шероховатость поверхности фоторезистивных пленок методами атомно-силовой микроскопии. Обсуждение и интерпретация результатов. Подготовка текста публикации. ~5 стр.) 2. А1ехапйгоч, Я.Е. АГМ 1пъезт18аг1оп о1' ТЫп Розг-ВаКес1 РЬогогез1зпъе Г11гпз 1ог М1сгозузтегп ТесЬпо1оду Арр11сапоп / К.Е. А1ехапс1гоъ, А.В. Крез1п1оча, УХ. 8о1оч1е~ апс1 0.1.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
