074f-6-freview (1143788)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Работа Спепзилоаой Анастасии Борисоанм посаапзена разработке ТСХИОЛОГНН формнроаания "®ертаенных" слоеа фоторезистоа заданной тол~йнйм н с низкой пзерохоаатостьаз поаерхнос*и, ~~ПО~Ь~УВМЫХ для создания на ннх металлинеских мембран злектромеханических акпоаторОВ и В значительной степени Определянипих их характеристики. И СВВЗН с пзироким Внедрением компоненте а мнкросистемнОЙ ~~~ИНКН В устройстаа радиозлектронной прОмьппленйостй ОЮОбО Важнмм станОВйться Вопрос 0 ИОВых методах создания злементОВ зтих устройста, Гаранти~фиэщих качестао и поаторяемость рез~льтатоа, В саази с зтим работа Спещилоаой А.

Б, несомненно Яаляетса актуальной„а полученнме еГО рез~льтатм Востребоаанй~ В промьппленности, В результате Вь$полнения работь$ диссертантом получен и проанализнроаай больпзОЙ 06ьем зкспериментальиОН инфОрмации, позаолиазпни Определить наилучп~ие техиолОГинеские параметрм пропесса плазмохимическОГО ~р~~~~~~~ полтчення поаерхностей с ннзкон пзерохоаатостьаз ~кертаенйоГО Спеп~илоаа А Б. показала, что наиболее подходя~пнм для препизионной подГонкн тол1пииь4 жертаеннОГО слоя фОторезиста яаляется метОЛ ~даленноГО плазмохнминескоГО траалеиия, позаоляй>Гний менЯТЬ В знанительнь~х пределах скорость тршлеиия без с~щестаеннОГО ухудшения шерохоаатости поаерхйости, АдеКВВТИОСТЬ н достоаерность результатоа анализа зкспериментальных ОбразпОВ Обуслоалена испОльзОВаннем Взаимодополнякипйх др~Г дру1 а соаременных метОЛОВ анализа: ВГОмнО-силоВОЙ микрОскОпин.

растроаой .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации