074f-2-freview (1143778)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

ФедеРАльное Гтк;удАественное АВТОПОмное нлучное учеюкиение еЦЕНТРАЛЬНЫЙ НАУЧНО-ИЕСЛЕДОВАТГ!$ЬСИ4Й й ОНЕЧНО-НОНЕ;ТР~~ГТОРОЕНЙ ННЕ.ТНТ",ГТ РОБОТОТКХНИКЙ П Тк.ХННЧРСКОЙ КЙЬЕРНРТНКПэ (ПНИН РТК) Иа ссГолпяшний лснь олной нз ннновзпионнык тскнолоГИЙ язлястся техиатали микрозлектромсканических сйстем — МЕМЗ ~М~сго-ИзахоМЕС1тан~са1 Буьтсше). Мноовой Рмнок МЕМ$ являстся очвнь лннамичнмм и СОГласно йослеиппм ИРОГноззм Рзстдт с нрпрзшснисм 13,""% ка®ЛАЙ Гол. Фтплзмснтзльнмс, йоисковмс и прпклзлнмс псслсловзния йроволпммс В большпнствс Рззвптых стран мира успзшпо сочстзются с РЗЗрзботкамй и иронлволством МЕЧЬ вЂ” стрчкткр. Издслпя, солланныс по мпкроспстсмньР4 тсхнолОГпям — ЯЯО мном~сство )~стройств самон Разнообрззноп конс ГРРкиип н наапачснпя.

Это - мпкросснсор~, мпкоо~й~волз (акт~аторм), мпкромоторь~ (ЛВПГатслп), йрсобразовзтслй энсРГНП, мпкронасосы и фильтры. Малая масса, ннзкос ~нзр~ Онотрсблснпс на оял~: с Вмсокой НЗЛЬкностьйт и Ралпаипонпоп стойкостью явля~отся ик нсоспорпмь~м ирспм~~йсстзом, что Расшпряст. Ик областн йРнмснсн па з слГлкнмк тскппчсскик сйстсмш, такйк кзк Роботь~ и Роботскнпчсскнс ьомнлсксм, авпакосмнчсскзя н зоснная тскннкз, Вст болылсс ИРЙмспсннс онй наколят В пзислняк обшсГраясланскоГО нзлначснйя. Дпссертзцноннал работа Е:пешиловоп Л.Ь. Татрагнваат проблемы тскполоГПЙ созиання прпннпнпально новык МЕМБ - стрткт~"Р и В атом смысле йктувльность предстввляемой к звщите диссертвциоиной рйботы НЕ ВЫЗЫВВЕТ СОМНЕНИЙ.

В диссертвпии Ввтор стввит своей иелыо получение новмх знвний О ЗВКОНОМЕРНОСТЯХ ПРОПЕССОВ ПЛВЗМОХНМИЧЕСКОГО ТРВВЛЕНИЙ фоТОРЕЗНСТНВН1ЛХ, ТВК НВЗЫВВЕМЫХ «ЖЕРТВЕНИЫХЯ СЛОЕВ ЗВДВННОИ 'ГОЛП1ИНЫ И низкой П1ероховйтости, что пОЭВОлит Оптимизировйть тех11ологическйй пропесс создвиия микромост11ковых структур В изделиях микрос»1стем11ой ТЕХНИКИ. ДЛЯ ДОСТН»КЕНИЯ ПОСТАВЛЕННОЙ ЦЕЛИ АВТОР ЭКСПЕРИМЕНТВЙЬНЫМ 11УТЕМ нзучилв Влилние конструкпин ревкпионных квмер, способВ Возбу»кденил ВЧ рлзрядв, В твк»ке техноло1-нческих пврвметров пр1»нессов трввления НВ СКОРОСТЬ ТРВВЛЕНИЯ и И1ЕРОХОВВТОСТЬ ПОВЕРХНО~ТИ ТРЯВЛЕ11И Я фоторезистивных слоев.

Результтсгы Выполненных нсследовбний покезлли, ПРОИЕСС 11»1ВЗМОХНМИЧЕСКОГО ТРВВЛЕННЯ РЕВЛНЗОВВНН1ЯЙ В экспернментвльной ус*вновке с удвленной плвзмой пОЗВ~ЛЯ~~ Обеспечить нлнлуч1пий контроль скорости трлвления слоя фоторезистй, сохрдняя при ЭТОМ ЗНВЧЕННЕ П»ЕРОХОВВТОСГИ ПОВЕРХНОСТИ Ий УРОВНЕ, НЕООХОДНМОМ ДЛЯ нвде»кной рйботы подвн»кного электродв мостнковьгх МГйтэ - струкгур, Иесомненным достоннстввм предостввленной рвбОть1 ЯВлЯетсЯ МЕТОДИЧЕСКИ 1 РВМОТИО ПОСТРОЕННВЯ ПРО РВММВ ЭКСПЕРНМЕНТВЛЬНЫХ исследований, а применение современньгх методов исследований (АСМ, СЭМ, зллнпсометр11я и другие) позволяе.г с доверием Отнестись К ПОЛУЧЕННЫМ ЙВТОРОМ РЕЗУЛЬТВТЙМ. 1:ледует Отметить что применение методВ Оптической эмиссионной спектроскопии для днвгиостики 11ронессВ трлвления пОЗВОЛН~ ли*ору глуб»ке рлзобрвтьсл В ~еобен~~~~ЯХ физико-химических и мвссообмеинь1х про11ессвх.

ЩЮНСХОДЯП1НХ и НИЗКОТЕЫПЕРВТУРНОЙ ПЛЙЗМЕ. Нй зввершенность исследОВВния укВЗь1ВВет и тот фВ1г1', чтО результвты были Впробироввны при изготовлении О11ытной пир гни приборов иа предприлтии АО «Светлвнв-Электронпрнбор» ~СВнкт-Петербур1 ), .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации