Диссертация (1137121), страница 24
Текст из файла (страница 24)
Иванов; под общ. ред.: С. У.Увайсов; науч. ред.: А. Н. Тихонов. М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 442-444.63.Корпачев М. Ю. Коррекция эффектов оптической близости в литографии[Текст] / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. // В кн.:Инновационныеинформационныетехнологии: Материалымеждународнойнаучно-практической конференции / Отв. ред.: И.
А. Иванов; под общ. ред.: С. У.Увайсов. Т. 3. М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 436-440.64.Корпачев М. Ю. Построение управляющей системы для современноголитографического оборудования [Текст] / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю.,173Костомаров П. С. // В кн.: Инновации на основе информационных икоммуникационныхтехнологий:Материалымеждународнойнаучно-практической конференции (2013) / Отв. ред.: И. А. Иванов; под общ. ред.: С. У.Увайсов; науч. ред.: А. Н. Тихонов.
М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 447-448.65.Корпачев М. Ю. Техническое обслуживание автоматизированных системуправления [Текст] / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. // В кн.:Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий:Материалы международной научно-практической конференции (2013) / Отв. ред.:И. А. Иванов; под общ. ред.: С. У.
Увайсов; науч. ред.: А. Н. Тихонов. М. : МИЭМНИУ ВШЭ, 2013. С. 439-441.66.КорпачевМ.Ю.Алгоритмвыборатехнологическогорешениявультрафиолетовой литографии [Текст] / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю.,Костомаров П. С. // В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронногоприборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции«INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва / Отв.
ред.: А. С. Сигов. Ч. 7:Проблемы надежности и качества. М. : МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 8287.67.Корпачев М. Ю. Задача морфологической коррекции в литографическойтехнологии для опто- и наноэлектроники [Текст] / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю.,Костомаров П. С. // В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы имикросистемы: Труды XV международной конференции. Ульяновск : УлГУ, 2012.С. 54-55.68.Норенков И.
П.Введениевавтоматизированноепроектированиетехнических устройств и систем. М.: Высшая школа, 1980. 384 с.69.Садыхов В. Э. Элементы асимптотических методов – Баку: АЗПИ им. Ч.Ильдрыма, 1985 г., 141 с.70.Бельков В.Н., Ланшаков В. Л. Автоматизированное проектированиетехническихсистем:Учебноепособие//Издательство «АкадемияЕстествознания», 2009 год. ISBN 978-5-91327-056-6.17471.Жилинискас А., Шалтянис В. Поиск оптимума: компьютер расширяетвозможности. - М.: Наука, 1989, с.
76, ISBN 5-02-006737-7.72.Зельдович Б. Я. Обращение волнового фронта – М.: Наука, 1985 г.,247 с.73.Дмитриев В. Г. Нелинейная оптика и обращение волнового фронта фронта –М.: ФИЗМАТЛИТ, 2001 г., 256 с.74.Визильтер Ю.В. Обобщенная проективная морфология / Компьютернаяоптика. – Том 32, № 4 ÷ 2008 С.
384 – 399.75.Визильтер Ю.В., Желтов С.Ю. Сравнение и локализация фрагментовизображенийсиспользованиемпроективныхморфологий.//Вестниккомпьютерных и информационных технологий, – №2, – 2008, С. 14 – 22.76.Болнокин В. Е. Адаптивное управление на базе нечетких регуляторов инейросетевой технологии: Монография / В.
Е. Болнокин, Хо Д. Лок. – Воронеж:Издательство «Научная книга», 2012. – 280 с.77.КорпачевМ.Ю.Задачасниженияразмерностидляопто-инаноэлектроники в литографической технологии [Текст] / Ивашов Е. Н., КорпачевМ. Ю., Костомаров П. С. // В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы имикросистемы: Труды XV международной конференции.
Ульяновск : УлГУ, 2012.С. 52-53.78.Корпачев М. Ю. Критерий качества в УФ – литографии [Текст] / Балан Н.Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Лучников П. А., Степанчиков С.В. // В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения.Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC –2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва / Отв.
ред.: А. С. Сигов. Ч. 7: Проблемынадежности и качества. М. : МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 75-78.79.Корпачев М. Ю. Литографическая нанотехнология для создания устройствснабжения организма лекарственными препаратами [Текст] / Ивашов Е. Н.,Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. // В кн.: Опто-, наноэлектроника,наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.Ульяновск : УлГУ, 2012.
С. 51-51.17580.Корпачев М. Ю. Методы снижения характеристического размера приавтоматизированном проектировании элементов СБИС [Текст] / Ивашов Е. Н.,Корпачев М. Ю. // В кн.: Инновации на основе информационных икоммуникационных технологий: материалы международной научно-техническойконференции (2012) / Отв. ред.: И. А. Иванов; под общ.
ред.: С. У. Увайсов. М. :МИЭМ НИУ ВШЭ, 2012. С. 284-287.81.КорпачевМ.Ю.Надёжностьфункционированиятехнологическогооборудования нанолитографии [Текст] / Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н.,Корпачев М. Ю., Ланцев А. Н., Степанчиков С. В. // В кн.: Фундаментальныепроблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международнойнаучно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г.,Москва / Отв. ред.: А.
С. Сигов. Ч. 3: Материалы и технологии. М. : МГТУМИРЭА-ИРЭ РАН, 2012. С. 83-8782.Корпачев М. Ю. Патент РФ на полезную модель №97864. Устройство дляформирования нанообъектов на подложке / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю.,Костомаров П. С., Степанчиков С. В. – № 2010119551/07. Заявл.
17.05.2010;опубл. 20.09.2010, Бюл. № 26.83.Корпачев М. Ю. Патент РФ на полезную модель №104508. Устройство дляформирования нанодорожек на подложке / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю.,Костомаров П. С., Степанчиков С. В., Якункин М. М. – № 2010146414/07. Заявл.15.11.2010; опубл. 20.05.2011, Бюл. № 14.84.Нанотехнологиявближайшемдесятилетии.Прогнознаправленияисследований. / Под ред. М.
К. Роко, Р. С. Уильямса и П. Аливисатоса. Пер. сангл. – М.: Мир, 2002. – 292 с., ил.85.Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Лучников П. А.Формирование изображения на подложке в иммерсионной литографии // В кн.:INTERMATICконференции–2010.Материалы«ФундаментальныеМеждународнойнаучно-техническойпроблемырадиоэлектронногоприборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва / Под общ. ред.: А. С.
Сигов;науч. ред.: А. С. Сигов. Ч. 1. М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 306-307.17686.Корпачев М. Ю., Патент РФ на полезную модель №106969. Устройствоформирования изображения на подложке / Ивашов Е. Н.,. Костомаров П. С.,Кузнецов П. С., Лучников П. А. – № 2010146413/28. Заявл. 15.11.2010; опубл.27.07.2011 Бюл.
№ 21.87.Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Лучников П. А.Устройство формирования топологической структуры микрочипа для снабженияорганизма лекарственными препаратами // В кн.: Фундаментальные проблемырадиоэлектронногоприборостроения.МатериалыМеждународнойнаучно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва /Отв. ред.: А. С.
Сигов. Ч. 4., 2012. С. 164-165.88.Корпачев М. Ю. Патент РФ на полезную модель №104509. Устройство дляформирования нанодорожек / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С.,Кузнецов П. С., Лучников П. А. – № 2010146415/07. Заявл. 15.11.2010; опубл.20.05.2011, Бюл. № 14.177.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
