Диссертация (1137121), страница 23
Текст из файла (страница 23)
А. Физика субмикронной литографии. М.: Наука, 1990. 527с.2.Баканов Г. Ф., Петрова Г. Ф. Фотолитография / СПб.: Изд-во СПбГЭТУ«ЛЭТИ», 2002. 35 с.3.Сейсян Р., Нанолитография СБИС в экстремально дальнем вакуумномультрафиолете // Журнал технической физики. – 2005. - Т. 75, В. 5. – С.1-13.4.Зеленцов С.В., Зеленцова Н.В., Современная фотолитография.
Федеральноеагентство по образованию Нижегородский государственный университет им. Н.И.Лобачевского, 2006, 56 с.5.Kim D. E. Optimized Structures of Multilayer Soft X-Ray Reflectors in theSpectral Range of 30 to 300 A / D. E. Kim, D.
H. Cha, S. W. Lee // Japanese Journal ofApplied Physics. 1998. Vol. 37, P. 2728-2733.6.Ham Y. Why EAPSM? // Photronics Technology Review. 2003. Vol. 1,Is. 4. January. 14 p.7.Салащенко H.H., Исследования в области многослойной рентгеновскойоптики в ИФМ РАН / Н.Н. Салащенко // Материалы всероссийского совещания"Рентгеновская оптика". Нижний Новгород. 1998. – С. 53-57. .8.ЧулковВ.П.Комплексныеавтоматизированныепроизводства.Методические указания по проведению курсовых и дипломных работ.
– М.:МГИЭМ, 2006. – 77 с.9.Беллман Р., Калаба Р. Динамическое программирование и современнаятеория управления. – М.: Наука, 1969. – 118 с.10.Половинкина А.И., Автоматизация поискового конструирования – М.:Радио и связь, 1981. – 344 с.11.Гмошинский В.Г., Флиоренг Г.И. Теоретические основы инженерногопрогнозирования. – М.: Наука. Главная редакция физико-математическойлитературы, 1973. – 304 с.12.Михалевич В.С., Волкович В.Л.
Вычислительные методы исследования ипроектирования сложных систем. – М.: Наука, 1982. – 286 с.16813.НоренковИ.П.Введениевавтоматизированноепроектированиетехнических устройств и систем. – М.: Высшая школа, 1986. – 304 с.,14.Алексеев О.В., Головков А.А., Пивоваров И.Ю. и др. Автоматизацияпроектирования радиоэлектронных средств. – М.: Высшая школа, 2000. – 479 с.15.Швецов А. Н., Яковлев С. А. Распределенные интеллектуальныеинформационные системы.
– СПб.: Изд-во СПбГЭТУ, «ЛЕТИ», 2003.16.Sen A. Collective Choice and Social Welfare. San Francisco: Holden Day; 1970.225 gp.17.Вилкас Э. Й. Оптимальность в играх и решениях. М.: ФИЗМАТЛИТ, 1990.С. 225-227.18.Катулев А. Н. Математические методы в системах поддержки принятиярешений / А.
Н. Катулев, Н. А. Северцев. – М.: Высш. шк., 2005. – 311 с.: ил.19.Саати Т. Принятие решений. Метод анализа иерархий. – М.: Радиосвязь,1993 г. – 320 с., илл.20.Глушко A.A., Родионов И.А., Макарчук B.B. Моделирование технологииизготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD //Технологияиконструированиевэлектроннойаппаратуре.2007.
№4. С.32-34.21.Sawicki J.D. DFM: What is it and what will it do? // Mentor Graphics. 2004.April. 6 p.22.Born M., Wolf. E. Principles of Optics: 6th ed. / Pergamon Press. Oxford, UnitedKingdom. 1993.986 р.23.Львов Б. Г. Основы теории технических систем. – М.: МИЭМ,1991.– 136 с.24.Арменский Е. В., Львов Б. Г., Митрофанов С. А. Стратегия построенияконцептуальной модели технического объекта. / Межвузовский сборник «Методымоделирования и оптимизации в САПР конструкторско-технологических работ».– М.: МИЭМ, 1989. – с. 3 – 6.16925.Компьютерные технологии обработки информации / С.В. Назаров, В.И.Першиков, В.А. Тафинцев и др.; Под ред. С.В. Назарова.
– М.: Финансы истатистика, 1995. – 248 с.26.Багаев Д.В. Информационная технология проектирования гидромашин настадиях предварительной разработки. Дисс. на соиск. уч. ст. к.т.н. – Ковровскаягосударственная технологическая академия, 2003. – 21427.ЛазаревЛ. П.,КолючкинВ. Я.,МетелкинА. Н.Автоматизацияпроектирования оптико-электронных приборов: учеб. пособие для вузов / ЛазаревЛ.
П., Колючкин В. Я., Метелкин А. Н. ; общ. ред. Лазарева Л. П. – М. :Машиностроение, 1986. – 216 с.28.Сольницев Р.И. Автоматизация проектирования систем автоматическогоуправления. – М.: Высш. шк., 1991. – 335 с.29.ГОСТ 34.601-90 «Информационная технология. Комплекс стандартов наавтоматизированные системы. Стадии создания».30.Корячко В.П.
и др. Теоретические основы САПР / В.П. Корячко, В.М.Курейчик, И.П. Норенков. – М.: Энергоатомиздат, 1987. – 400 с.31.Борн М., Вольф Э. Основы оптики. – М. Наука, 1970. -856с.32.Гудмен Дж. Статистическая оптика. – М. Мир, 1988. С 267-306.33.Атлас цветов / Г.П. Вишняк, В.А. Жуков, Э.Г. Певзнер [и др.] – М.:Экспериментальная типография ВНИИ полиграфии, 1986.34.Мясников Е. B. Анализ методов снижения размерности в задачепредставления коллекции цифровых изображений // Компьютерная оптика - Том32, №3. – 2008. - С. 296-301.35.Мясников, Е.В. Навигация по коллекции цифровых изображений на основеметода автоматической классификации / Е.В.
Мясников // Интернет-Математика2007: сборник работ. – Екатеринбург: Изд-во Урал. Ун-та, 2007. – С. 144-152.36.Родионов И.А. Исследование влияния параметров технологическогопроцессалитографииполучаемыхнанаминимальныекремниевойпластинекритические//размерыНаукоёмкиеэлементов,технологиии170интеллектуальные системы 2007: Сборник трудов 9-ой Всероссийской научнотехнической конференции. М. 2007. С. 219-224.37.Родионов И.А., Макарчук В.В.
Коррекция оптических эффектов близостипри проектировании микросхем // Технология и конструирование в электроннойаппаратуре. 2007. №3. С. 30-32.38.Родионов И.А. Методы коррекции оптических эффектов близости //Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2007: Сборник трудов9-ой Всероссийской научно-технической конференции. М. 2007. С. 174-178.39.Солодовников В. В.
Теория автоматического регулирования. В 3-х кн. М.:Машиностроение. Кн. 1, 1967. 768 с.40.Банди Б. Методы оптимизации. Вводный курс: Пер. с англ. – М.: Радио исвязь, 1988. – 128 с.: ил. ISBN 5-256-00052-7.41.Батищев Д.И. Методы оптимального проектирования. – М.: Радио и связь,1982. – 169 с.42.Боровков А.А. Математическая статистика. Оценка параметров, проверкагипотез. – М.: Наука, 1984.
– 472 с.43.Гвишиани Д.М., Емельянов С.В. Многокритериальные задачи принятиярешений // М.: Машиностроение, 1978. – 192 с.44.ПодиновскийВ.В.,НогинВ.Д.Парето-оптимальныерешениямногокритериальных задач. – М.: Наука, 1982. – 256 с.45.Бутковский А.Г., Пустыльников Л.М. Теория подвижного управлениясистемами с распределенными параметрами. – М.: Наука, 1980.46.Чубаров Е.П. Управление системами с подвижными источникамивоздействия. – М.: Энергоатомиздат, 1985.47. Современное состояние теории исследования операций / Под ред. Н.Н.Моисеева. – М.: Наука, 1979.48.Семенкин Е.С., Семенкина О.Э., Терсков В.А.
Методы оптимизации вуправлении сложными системами: Учебное пособие. – Красноярск: Сибирскийюридический институт МВД России, 2000. – 254 с.17149.Катулев А.Н., Северцев Н.А. Математические методы в системахподдержки принятия решений. – М.: Высшая школа, 2005. – С. 30-31.50.Слободин М.Ю., Царев Р.Ю. Компьютерная поддержка многоатрибутивныхметодов выбора и принятия решения при проектировании корпоративныхинформационно-управляющих систем.
– СПб.: Инфо-да, 2004. – 223 с.51.Озерной В.М., Гафт М.Г. Методология решения многокритериальных задач// Многокритериальные задачи принятия решений. – М.: Машиностроение, 1978. –С. 14-17.52.Болнокин В. Е., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., Корпачев М. Ю.Проектирование технологического оборудования в случае малых выборок наоснове опорных точек // Успехи современного естествознания. 2014.
№ 5. С. 132136.53.Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., СтепанчиковС. В. Многокритериальная задача принятия решения при проектировании УФлитографического модульного оборудования // Автоматизация и современныетехнологии. 2013. № 4. С. 19-24.54.Parzen E. On the estimation of a probability density function and mode // Ann.Math. Statist.
– 1962. – P. 1065.55.Искусственный интеллект: В 3-х кн. Системы общения и экспертныесистемы / Под ред. Э.В. Попова. – М.: Радио и связь, 1990.56.Кофман А. Введение в теорию нечетких множеств. – М.: Радио и связь,1983. – 432 с.57.Корпачев М. Ю. Многокритериальная задача принятия решения припроектировании УФ-литографического модульного оборудования [Текст] / ВасинВ.
А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Степанчиков С. В. //Автоматизация и современные технологии. 2013. № 4. С. 19-24.58.Корпачев М. Ю. Критерий качества в автоматизированном проектированииэлементов формирования топологии в ультрафиолетовой литографии [Текст] /Балан Н. Н., Васин В.
А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Степанчиков С. В. //172Электротехнические и информационные комплексы и системы. 2012. № 3. С. 4651.59.Корпачев М. Ю. Обработка информации о предпочтениях при поискерешений отражательных фотошаблонов для ультрафиолетовой литографии[Текст] / Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Степанчиков С.В. // Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2012. № 3. С.77-85.60.Характеристики качества функционирования нанолитографических системв автоматизированном проектировании [Текст] / Балан Н. Н., Васин В.
А., ИвашовЕ. Н., Корпачев М. Ю., Степанчиков С. В. // Вестник компьютерных иинформационных технологий. 2012. № 12. С. 8-15.61.Корпачев М. Ю. Анализ вариантов литографических систем при выборепроектных решений для микроэлектронного производства [Текст] / Ивашов Е. Н.,Корпачев М. Ю. // В кн.: Инновации на основе информационных икоммуникационныхтехнологий:Материалымеждународнойнаучно-практической конференции (2013) / Отв. ред.: И. А. Иванов; под общ. ред.: С.
У.Увайсов; науч. ред.: А. Н. Тихонов. М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 442-444.62.Корпачев М. Ю. Анализ вариантов литографических систем при выборепроектных решений для микроэлектронного производства [Текст] / Ивашов Е. Н.,Корпачев М. Ю. // В кн.: Инновации на основе информационных икоммуникационныхтехнологий:Материалымеждународнойнаучно-практической конференции (2013) / Отв. ред.: И. А.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
