Автореферат (1105294), страница 5
Текст из файла (страница 5)
Москва Зеленоград. Тезисы докладов, место изданияИПТМ РАН г. Москва Зеленоград, том 1, тезисы, с. 226-22711.Rau E., Tatarintsev A., Kupreenko S., Karaulov V., Kolybin S. Twomethods of improving dopant contrast for semiconductor structures underthin surface layers in scanning electron microscope // в сборникеProceedings of the International Conference "Micro- and Nanoelectronics- 2016" ICMNE - 2016 Book of abstracts, место издания ООО "МАКСПресс" Москва, тезисы, с. P1-54-P1-5412.Rau E., Tatarintsev A., Khaidarov A., Kupreenko S. Charging kineticsfeatures of different modifications of the Al2O3-dielectrics (sapphire,polycrystalline and ceramics) under electron-beam irradiation // всборнике European Microscopy Congress 2016 Volume 1:Instrumentation and Methods, издательство Wiley-VCH Verlag GmbH &Co.
KGaA (Weinheim, Germany), том 1, тезисы, с. 865-86613.Kupreenko S., Rau E., Tatarintsev A., Zaytsev S. 3-D reconstruction ofsurface topography in SEM by means of energy filtered SE and BSE // всборнике European Microscopy Congress 2016 Volume 1:Instrumentation and Methods, издательство Wiley-VCH Verlag GmbH &Co. KGaA (Weinheim, Germany), том 1, тезисы, с.
881-88222.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
