1_5_Деструкция фоторезиста (1063186), страница 2
Текст из файла (страница 2)
где E1, E2, E3 – экспериментально определяемые коэффициенты.
Контрольное задание.
-
Привести дифференциальные уравнения (13)-(14) к уравнениям в конечных разностях.
-
Разработать математическое и программное обеспечение для количественной оценки распределения молекулярной концентрации ингибитора по глубине фоторезиста ( по его подслоям).
Рекомендуется применить метод дискретной имитации экспонирования по времени, рассматривая его как квазиимпульсное.
-
Начальное условие t=0 – состояние фоторезиста до начала экспонирования.
Граничное: Z=0 – слой воздуха, граничащий с фоторезистом, Z=1 – 1-й подслой фоторезиста.
Поэтому цикл организовывать, задавая t=1 и Z=1.
-
Типовые значения коэффициентов А, В и С:
А = 0,54
В = 0,03
С = 0,014
Нормированное значение интенсивности Iо = 1.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
