Главная » Просмотр файлов » 1_1_Литографические методы в нанотехнологии

1_1_Литографические методы в нанотехнологии (1063177), страница 5

Файл №1063177 1_1_Литографические методы в нанотехнологии (Лекции от Цветкова) 5 страница1_1_Литографические методы в нанотехнологии (1063177) страница 52017-12-28СтудИзба
Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 5)

2
. Действие проявителя постоянно в объеме ячейки, при этом продукты распада нейтральны по отношению к воздействию проявителя.

3. Процесс проявления осуществляется "погружением", без механического воздействия на фоторезист, например, струйным проявлением.

В данной работе реализован алгоритм проявления на основе «удаления ячеек», который сочетает простоту реализации с достаточной точностью получаемых результатов.

Выбранный алгоритм основан на следующих основных положениях.

Скорость проявления определенная из модели, не зависит от ориентации фронта проявления, так как всегда направлена по нормали к этому фронту. Однако смещение фронта за единицу времени на  по нормали к фронту приведет к изменению координат точек по вертикали z на величину (рис.20, а). Проявление начинается с верхней поверхности пленки фоторезиста. Предварительно каждой ячейке рассматриваемого объема в зависимости от степени деструкции в ней ингибитора присвоена соответствующая скорость проявления.

После прохождения начального цикла (растворение ячеек на поверхности пленки) вводятся корректирующие коэффициенты, учитывающие число сторон ячейки, подвергающихся одновременному воздействию проявителя.

После каждого временного цикла матрица, характеризующая состояние ячеек, обновляется и, при необходимости, запоминается, что позволяет наглядно выводить информацию о протекании процесса проявления.

Ячейка считается проявленной, если для заданного временного интервала приданная ей скорость обеспечивает растворение всего ее объема или большей его части. Когда ячейка проявлена полностью, она открывает для воздействия проявителя соседние ячейки, которые далее рассматриваются как вошедшие в фазу проявления. Для назначения оптимального временного интервала следует предварительно оценить максимальное в данном объеме время проявления и учесть влияние геометрического расположения ячеек при проявлении (рис. 20 , б).

Время проявления (i,j)-й ячейки является функцией:

- скорости

- размеров ячейки

- геометрического расположения поверхности ячейки

- вида контакта с проявителем и исходного состояния ячейки.

Время проявления ячейки ( ) зависит от состояния четырех смежных ячеек: (i+1, j), (i-1, j), (i, j -1), (i, j+1).Это состояние обозначается 0 или 1. Если ячейка ( ) еще не проявлена, то ее состояние обозначается. Если ячейка полностью пустая, т.е. проявлена, то ее состояние обозначается .



С учетом этих обозначений первоначальное время проявления в одной

полной ячейке рассчитывается по формуле:

(20)

Эта формула включает восемь вариантов состояний смежных ячеек, представленных на рис.3.10. В результате для проявления ячейки высотой требуется время , определяемое из выражения

(21)

Моделирование фронта проявления осуществляется последовательно, шаг за шагом. Интервал приращения времени рассчитывается исходя из максимальной скорости проявления в ячейках .


Относительный объем ячейки, оставшийся после истечения времени <t>, составляет

(22)

а для N-ной итерации остаточное заполнение объема ячейки запишется как

(23)

После проведения каждой итерации матрица, содержащая информацию об остаточных объемах ячеек, обновляется. Очередная обновленная матрица состояний анализируется и для каждой ячейки, у которой появляется одна или несколько новых свободных сторон, корректируется время, требуемое для ее проявления в текущей итерации:

(24)

В зависимости от степени разрушения ячеек профиль проявления постепенно изменяется. Расчет завершается, когда относительные изменения становятся меньше заданной величины.

Характеристики

Тип файла
Документ
Размер
6,88 Mb
Тип материала
Высшее учебное заведение

Список файлов лекций

Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
6418
Авторов
на СтудИзбе
307
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее