1_Задание_Френель (1063111)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Задание по расчету профиля интенсивности при контактной фотолитографии

Рассчитать профиль распределения интенсивности в микроизображении, формируемом контактной фотолитографией с параметрами, заданными в таблице, где W- ширина окна на фотошаблоне, z - микрозазор, - длина волны актиничного излучения

Структура домашнего задания.

1. Заданные условия (выбрать из прилагаемых вариантов)

2. Краткое описание последовательности выполняемых этапов.

3. Математическое обеспечение основных этапов должно включать следующие разделы:

   1. Получите волновое уравнение (6.20), дифференцируя уравнение волны в тригонометрической (синусоидальной или косинусоидальной) и комплексной формах.

   2. Покажите аналитически возможность перехода от волнового уравнения в общем виде для U(x,t) к уравнению для фазора U(x)

   3. Докажите, что, переходя к приближению Френеля, в фазовом члене уравнения нельзя ограничиться аппроксимацией первого порядка.

   4. Проведите переход от формулы 6.58 для амплитуды к формуле 6.59 для интенсивности.

   5. Проанализировать, почему привыводе уравнения (6.49) для амплитудного члена выражения провести аппроксимацию первого порядка, а для фазового члена выражения необходимо провести аппроксимацию второго порядка

   6. Проанализировать суть параметра , его получение и его влияние на результат расчета.

4. Программное обеспечение

5. Иллюстрации

   1. Расчетная схема

   2. Входное распределение интенсивности (на объекте)

   3. Профиль распределения интенсивности в плоскости изображения.

При расчете учитывать точки изображения, лежащие в области геометрической тени на расстоянии, равном +/- 0,5 W.

Отчет оформляется в Word, формулы – в MathType.

Для расчета интегралов Френеля можно использовать соответствующие программные продукты или использовать прилагаемую таблицу этих интегралов.

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов домашнего задания