В.Г. Блохин - Современный эксперимент (1062943), страница 49
Текст из файла (страница 49)
Р.Г1.8 Таблана 2П5 ! У! нанн л .!. > Интервал ааранроаанна Фактор 250 ! 20 х>, с!л х,, д/лм' х,, 'С 250 1,5 Зо Зо 0,5 !О' )э данной работе Осаждение проводится н течение ! мин, поэтому толщина осажденной пленки и будет скоростью осаждения, измеряемой в мкм>!мин. В колонки с)> и с)г (табл.
1.П.б) заносятся рассчитанные для каждого Опыта значения частных функций желательцости, в колонку Х) з>ранения Обобп>анной желателы!ости. Опыты № 9, 1б. 11 дела!отса нз «пулевом уровпеж После вы>и>лпепн» плана эксперимента коэффициенты >!ля уравнения регрессии можно рассчитать по формуле тДЕ >>> — ЧНСЛО ОПЫТОВ (>У =-8), С)а — РЕЗУЛЬтаГЫ ОПЫТОВ С ПЕРВОГО по >>>. После получения коэффициентов необходимо проверить нх иа значимость. Эта проверка производится с помошщо 1.критерия г = ! с>! 1,> з(Ь!) = ! Ь! ~ 'у М>з(0), где й! — проверяемый коэффициент; зг((>) — дисперсия воспроизводимости!), считаемая по трем опытам в нулевой ~очке 224 2 3 4 5 5 7 5 9 Ра 11 + + 0 0 0 + + + + + о 0 о + + 0 0 0 + + 0 о Таблннл ЗПВ 'а,м 12,7 4,30 3,1В 2,7В 2В7 2,45 Г1ри 1)(р соо.пе7с~зующнй коэффициент признается значимым и наоборот.
Пезпачпмыс коэффициенты отбрасываются, т.е. соответствующий фактор признается неплпяющпм на выходную величину. В 13езультате получасм )равнение регрессии, описывающее исследуемын техполопщсскнй процесс. Однако необходимо убедиться в лом, что уравнение соотпстсзнует (адекватно) технологическому процессу, т. е.
экспериментальным данным. Поэтому, получив уравнение, необходимо проверить гипотезу адекватности представления результатоп исследования получе!щым уравнениям. Для этого воспользуемся Г-критерием. Подсчитаем величину Р по формуле Р =- з'„,/з' (О), где зз, — остаточная дисперсия, равная ч л=-М вЂ” а (а — число членов уравнения регрессии). Получив таким образом величину г, сравниваем ее с табличным значением Ргт, т.л для 13=0,05 (табл. 4.П.б). Если тч<зчдам то можно считать, что гипотеза адекватности подтверждается.
Если принята гипотеза адекватности, можно считать, что цель работы достигнута, "1'еперь, анализируя уравнение регрессии, можно по знаку коэффициента прн любом члене уравнения определить, как данный член влияет на выходную функцию н, изменяя факторы до гранины интервала варьирования, найти оптимальный технологический режим. Порядок выполнения работы. Всю работу можно разделить иа зксперпмептальпук> часть и расчетную, 16- 2В з (В) = 'Ь' (О„' — б)з~(Д7 — 1). л=! Здесь ˄— результат опыта в нулевой точке; Б — среднее значение в нулевой точке.
В связи с тем, что дисперсия воспроизводимости рассчитывается только в пулевой точке, при нахождении 7 и з'(В) берем )У'=3. Далее величину 1, полученную в результате расчета, сравниваем с табличным (табл, З.П.б) значением 14 ((3 — коэффициент риска, а т=й' — 1). Таблица 4205 230,2 Щ,з 9,О 6,3 5,1 215,7 ! 224,6 19,2 19,3 ч 3 9,! 6„6 ! 6,4 5.4 5,2 199,5 19,6 9,6 5,6 161,5 1 6,5 !6,1 7,7 6,6 Внимание: Воспрещается включить спиральный нагреватель, не помещенный в раствор, и вынимать его из раствора включенным.
226 Экспериментальная часть Очистить н отшлифонать 1! пластин фольгированного гетинакса. Нанести кисточкой на пластины защитные лннщ! из фоторезиста ФП-383 в середине пластины. Линни предназначены для защиты части поверхности пластин от нанесения меди. После нанесения фоторезнста просушить пластины в течение 10 мин в термостате при 130' С. Произвести осаждение меди на 1! подложек согласно табл. 1.П.5 и 2.П.5, придерживаясь следующего плана. 1. В первой ванне концентрация сернокислой меди на нижнем уровне. 1. При нижнем уровне Т С произвести осаждение; а) нри нулевом уро!зне тока (опыт № 8); б) прн верхнем уровне тока (опыт № 7).
2. Ловести температуру раствора до верхнего уровня спиральным нагренателем, подключив его к источю!ку напряженнем 30 В и произвести осаждение: а) при нижнем уровне тока (опыт № 6); б) при верхнем уровне тока (опьп № 5). П. Во второй ванне концентрация сернокнслой меди на верхнем уровне. Подпункты 1 и 2 п. 1 повторить для второй ванны.
1Н. В третьей ванне опыты делаются при нулевом уровне всех факторов. Опыты № 9, 10, 1! необходнмы для того, чтобы рассчитать дисперсию воспроизводимости зз(0). Время осажденпя меди на каждую пластину взять равным 1 мин. После осаждения меди каждую пластину необходимо немедленно промыть и высушить фнльтро«альной бумагой. Затем растворителем смыть полоску ф<порезнста, которая образует ступеньку для измерения толщины пленки меди я с помощью микроскопа МИИ-4 и1мернп толщину осажденного слоя (высоту образовавшейся ступеньки). Результаты занестн в табл.
!.П,5. Затем измерить величину зерна с помощью микроскопа МИИ-7. Результаты занести в таблицу. На этом экспериментальная часть закончена. Рйсч|'гнид чисть 1. Рассчитать скорость осаждения меди (мкмггмигг). Результаты занести в табл. 1.П,5, 2. Найти коэффициенты Со н С|. 3. Рассчитать величину д| для кахгдого опыта и занести в .табл. 1.П.5. 4. Рассчитать величину 0 для каждого опыта и занести в табл. 1.П.5. 5, Рассчитать коэффициенты Ьо, Ьг, Ьз Ьз Ьгм Ьзз, Ь!з, Ьгм уравнения регрессии, подставляя значение хг иэ табл. 1.П,5 ! — 1 или +1) и суммируя по строкам (по и).
6. Проверить коэффициенты на значимость при )(=0,05. 7. Составить окончательное уравнение регрессии и проверить гипотезу адекватности. 8. Определить оптимальный режим осаждения меди. Примечания: 1. В расчетах значения факторов подставляются в относительных едннинах. 2. Для достижения необходимого тока следует по вольтметру выпрямителя установить минималытгзе напряжение и, постепенно его увеличивая, установить ток по прибору установки. Содержание отчети 1. Табл. 1.П.5, должна быть заполнена.
2. Расчетная часть. 3. Выводы. Оеобходилте оборудование !..г)абораторная установка для нанесения меди. 2. Выпрямитель Б1-21. 3. Термостат. 4. Термометр на 0 ... 50ч С. 5. Реостат. 6. Обогреватель на 30 В. 7. Растворы. 8. Кисточка. 9. Пластины для нанесения меди. 1О. Фоторезист ФП-383 или аналогичный. 11. Растворитель фоторезиста. 12. Микроскопы МИИ-4 и МИМ-7. КОН ХРОЛЬНЫЕ ВОНРОСЫ 1. Как влияют различимо факторы иа выаодиую фуикцию и почему? 2.
Как проверить гипотезу адекватиости представлеиия результатов чкспсримситя пилучсииыч уривиси|и м и, Что гаи гс фуикпия жс |ате.|ьиосги и иочсчу к ией об|тат|гггись в даииай рано гг? 12' 227 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 1. Грудкии О. П„Обнчкня Ю. Г„Блохин В. Г. Статистические методы в технологии ировэводства радиоэлектронной аниаратуры. — Мл Энергии, 1977.— 294 с.
2. Глудкнн О. П., Черняев В, Н. Анализ и контроль технологических процес. сов производства РЭА.— Мл Радио и связь, 1983.— 296 с. 3. Кафанов Ю, Н, Теорепгческие основы конструирования, технологии и на. дежяостн радиоэлектронных средств.-- Мл Радио и связь, 199!.— 368 с, 4, КаФаров В. В. Методы кибернетики в химин н химической т~ хиологни.-- 2-е изд.— Мс Химия, 197!.--496 с. 5. Налимов В. В. Тсорна эксперимента --Мх 1!аука, !971, — 207 с. 6, Налимов В. В., Чернова Н. А.
Статистические методы плзннровавня экстремальных вкспериментов, — Мл !1вука, !965, — 340 с. 7. Лебедев А. Н. Моделврованнс в научно-технических исследованиях. — Мл Радио и свяэгь !989. — 222 с. 8. Мышкис А. Д. Элементы теории математических моделей.— Мл Изд-во «Физико-математическая литература», А. О. «Наука», 19'.)4.
— 191 с. 9. Глудкин О. П. Методы и устройства испытаний РЭС н ЭВС. — Мл Высшая акела, !991,— 336 с. 10, Управление качеством электронных средств/ О. П. Глудкнн, А. И. Гуров, А, И. Коробов и др,—.Мл Высшая школа, 1994.--4!4 с. 11. Сборник задач н упражнений но курсу «Теоретические огноны конструирования, технологии и надежности РЭА»! Г. Ф. Баканов и др. — Кишинев; Кишиневский иолнтехничсский институт, 1989, — 44 с. г.!.
Активный н пассивныб э~гсвг?эимсгмы 7.2. Проведение пассивного Аксисрнмсига в производствеоиьы условиях и информативность его результатов 7.3. г!сслсгзование ироцгссон и иргггкгиозгстиг иных условиях с ио. мОщью тг)чиосзигих диаграмм 7д, Анализ результатов пропадания пасснкиого эксисрпчснга с помопгыо теорстнчсских схсн нозиикн: н ипя производственных иогрыпностеб 75. Возможность приьи испив ~со!гетпчсгэогх схем л|я ггиалнза градиентных пгггрегпностеб в и?гогыаодствгг эдикт!нгппых средств Контрольные вопросы 7!?яыгожангс ?.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
