4 (1058667)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Составление математических моделей.Схема:Планирование эксперимента:Номер12345678X011111111Математическое описание распределения толщины пленки на подложкеот магнетронного распыления, в оборудовании карусельного типа.X1 X2 X3 X1X2 X1X3 X2X3 X1X2X3-1-1-1111-1-1-111-1-11-11-1-11-11-111-1-11-11-1-1-1-1111-11-11-1-111-11-1-1-11111111Полный факторный эксперимент.Формула:Экспериментальные данные:Номер12345678Температура Соотношение Ток смещения(с)(O/O+Ar)на подложке252525253003003003000,150,150,30,30,150,150,30,30150015001500150Скоростьосаждения(нм/мин)6,365,621,651,056,055,071,540,84,гдеПоле пробояCоотношение(МВ/см)кислорода в SiO21,611,153,1435,135,615,435,561,661,771,751,861,93222Разнотолщинность пленки:Поверхность модели:Изометрия- ф-ция распределения коррозии;n - коэффициентнт полученныйэкспериментально (n = 0.7);θ - угол между нормалью и прямойот источника до подложки;R - расстояние от центра до точкина источнике;С - расстояние от источника доподложки в иследуеммой точке;Ф - угол поворота карусели.xOyПолученные математические модели:%yOzxOzПри параметрах установки:Расстояние от оси вращения до подложки = 64 мм.Растояние от оси вращения до магнетрона = 210 мм.Размеры подложки = 60х48 мм.Результат:Не равномерность покрытия* < 4,6%.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов курсовой работы