5(2) (1058630)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Выбор оборудования для созданиятонкопленочных структурАвтоматизированная установка напыления CarolineD12AКол-во подложек, обрабатываемых за 1 цикл (шт.) 24 шт. 60х48Установка полностью автоматизированаАвтономное управление заслонками на всех позицияхнапыленияАвтономная замкнутая система водоснабжения с охлаждениемот оборотной воды предприятия1×10-3Стартовое давление в рабочей камере, ПаРасход подаваемых в камеру газов по одному каналу (л/час)0÷9Количество подаваемых (неагрессивных) газов до (шт.)3Количество устройств очистки изделий (шт.) 1Количество магнетронов в установке (шт.) 1÷4Рабочий ток магнетронов, регулируемый (А) 0,5÷8Рабочее напряжение магнетронов (В) 300÷650Размер мишеней (мишени не прямого охлаждения), мм.Ø100×4÷12Допустимое давление в камере при работе магнетронов, Па0,07÷0,3Диапазон контроля сопротивления свидетеля (кОм)0,2÷20Погрешность измерения сопротивления (%) ±1Рекомендуемая температура нагрева подложек, оС(макcимальная 300 С)50÷250Нестабильность температуры подложек (%) ±5Время подготовки установки к работе с учетом “разгона”крионасоса не более (мин.) 110Габаритные размеры агрегата вакуумного с открытой крышкойширина×глубина×высота, мм 1318×850×20001850Масса со стойкой питания и управления, кг.Установка ионно-плазменного химическоготравления Caroline PE12Кол-во-во подложек, обрабатываемых за 1 цикл (шт.) 6 шт.60х48Давление в шлюзе Па 2Время перегрузки пластин (мин) 2Количество подаваемых (неагрессивных) газов до (шт.) 4Количество подаваемых (агрессивных) газов до (шт.) 4Расход подаваемых в камеру газов по одному каналу (л/час)0÷18ВЧ мощность(Вт) до 900Допустимое рабочее давление , Па 0,9÷9Потоки ионов (мА/см^2) 5÷10Энергия ионов (эВ) 30÷200Время полного обезгаживания (мин.) 200Габаритные размеры агрегата вакуумного с открытой крышкойширина×глубина×высота, мм 1450×1385×18301600Масса со стойкой питания и управления, кг.Установка термической обработки пластин иматериалов в высоком вакууме и газовой средеОТЖИГ ТМПроизводственная автоматизированная установкаэлектронно-лучевого напыления Semiteq STE EB65GПолностью автоматизированная системаэлектронно-лучевого испарительШлюзовая система загрузкиКол-во подложек, обрабатываемых за 1 цикл (шт.) 20шт.

×3"150 ммВнутренний диаметр реактора300 ммДлина рабочей зоны реакторадо 100 ммДиаметр обрабатываемых пластинКоличество одновременно обрабатываемых пластин до 25300 — 650 °СДиапазон рабочих температурНеравномерность распределения температуры в рабочей зонене более ±2 °СНестабильность поддержания температуры в рабочей зоне неболее ±1 °СВремя разогрева до 650 °С не более 20 минПредельное остаточное давление в реакторе не более 10-4ПаЭлектропитание (3 фазы, 380 В) не более 5 КВт1020×1600×1800 ммГабаритные размеры.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов курсовой работы