3 (1058627)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Методы формирования тонкопленочных покрытийСкорость осаждения,нм/сЭнергия осаждаемыхчастицРабочее давление, ПаУдельная мощность,рассеиваемая наподложке, Вт/см^2Нагрев подложки впроцессе осаждения, КЭлектронно-лучевое осаждениеМагнетронное осаждениеПодложкаЭлектроннолучевое осаждение10-6010-600,2-100,1-0,210^-40,05-0,50,11До 770До 370Построение математической моделинанесения адгезионного слоя хрома на полиимидПолный факторный экспериментX2X1 X2+ArЗона плазмы+ArEТонкая пленкаee-e e- e e- ee-+--+9121011ee- ee- e-2++-–182122203+-+-19202021eee- e-4++++29313132e- ee- ee-МишеньТигельSNS1+Ar+ArТонкая пленкаH 2ONH 2ONNNSSH 2OH 2OeКорпусeМагнитная системаМагнитная системаВодяное охлаждениеe-ee-e ee-e- eИспаряемоевеществоe-ee-e-КатодПлан экспериментаЭнергия,[кВт], Х1УровеньПоток газа,[сксм],Х2eВодяное охлаждениеДостоинства:+Универсальность+Регулируемая скорость осаждения.+Относительно простая конструкция+Низкие температуры процессов+Сохранение стехиометрии+Длительный ресурс мишеней;+Хорошая адгезия пленок;+Однородность пленок по толщинемишень в различных положениях.Недостатки:-Невысокий коэф.

использования мишени-Поток высокоэнергетических электронов-Поток отраженных ионов аргона-Высокое давление рабочего газаДостоинства:+Испарение тугоплавких материалов;+Капельная фаза практически отсутствует;+Возможно сканирование потока электронов+Получение химически чистых покрытийНедостатки:-Дороговизна испарителя;-Высокое ускоряющее напряжение;-Относительно низкий КПД установок;-Вторичные электроны.y2y3y4ВерхнийНижнийВбезразмернойсистемекоординатуровнифакторов1,3215/60+10,6410/40-1yi10,50,6920,32,19200,5030,81,191-11G=max si2N2i.Точечный источникX1-1Расположение экспериментальных точек.| bj |tj =еsДисковый источникy1si2 ( y)e- e-SКорпусyX1ПодложкаX0Наиболее применимые методы для формированиятонкопленочных элементов и металлизацииМагнетронноеосаждение№ опытаХарактеристика2,19== 0,484,57s 2 (b j ) ,s2 ( y )s (bj ) == 7,14 Ч10-2 ,n ЧN2N2ii =1GКР(β = 0,05, N =4, n = 4) = 0,68,G < GКР, следовательно, эксперимент являетсявоспроизводимым.s 2 ( y) =еsi =1= 1,1425Nt0t1t2t1276,3019,2618,700,8976Nbj =еi=1 xij yiДисперсии адекватности:NNb0b1b2b1220,405,155,000,25Математическая модель:Профиль осаждаемой пленки в зависимостиот радиуса магнетрона a(ширина подложки)=60 мм, l=60 ммr=25мм, где r- радиус магнетронаr=50мм, где r- радиус магнетронаПрофиль осаждаемой пленки в зависимости отрасстояния между источником и подложкой (l)l=0.5a, где a- ширина подложкиl=a, где a- ширина подложкиl=2a, где a- ширина подложкиВывод: увеличение расстояния между подложкойи источником приводит к улучшению равномерности покрытия,Вывод: увеличение радиуса мишени приводит к улучшениюравномерности покрытия, но в то же время увеличивает стоимость.

но уменьшает скорость нанесения.2sад=ŷ1ŷ2е (yi- yˆi )2i =1N - a знŷ3ŷ410,25 20,55 20,25 30,55Полученнаямодельадекватнопредставляетрезультаты эксперимента.y = 20, 4 + 5,15 ЧX 1 +5 ЧX 2· Вывод:·Гипотеза об адекватности математической модели подтверждена·Факторы практически равнозначны·Их взаимодействие незначительно..

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов курсовой работы