Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 95
Текст из файла (страница 95)
Р, Ч а г а й 1, апй Н. О. Р о о(111!е, 3. Уасииш бс!. ТесЬпо!., 3, 2!4 (1966). 3(Ю. Ъро! (ег, А. й., Ю. Арр!. РЬув., 38, 2377 (1965). 3!О. К ! г с Ь п е г, Г., Ха!игчт!вв., 48, 548 (1961). 31!. Р г т е в1, Л., Н. 1.. С а з сч е ! 1, апй У, В и й о, Часишп, 12, 301 (!962в, 312. Нег 1, й, Н., Лг., Бо!Ы 5!а!е ТесЬпо1., 1! (1), 2! (!968). 313, Ъгаг1вп Часиигп Чсе»ъ, 5ер!етпЬег, 1967, Чапаи Часшип О!ч!ь!оп, Ра1о АПо, Са!П. 348 Список литературы 314. С о о Ы, Н.
С., З. Часишп Яс(, ТесЬпо!., 4, 80 (1967), 315. С!оидЬ, Р. Л., Тгапв. 4(Ь АЧЯ Яушр.,!967, р. 136, Регдашоп Ргеьь, Меи Уог)г. 3!В. 1) ау1оп, В. В., "НапдЬоо1т о1 Часишп РЬув1сз", то!. 1, р(. 1, ТЬе Масппйап Сошрапу, Меи Уог1т, 1964. 317. %!1! ! а аз, В. Л., В. Р!е1сЬег, апд З. А. Е вегу, Ргос. 465 1п1егп. Часишп Сопбг., 1968, то), 2, р, 753, ТЬе !пз(11и1е о( РЬуз(сз аид 1Ье РЬув!са1 Яос(е1у, 1.опдоп.
3!8. Ашез, 1., М. Р. бе п д гоп, апд Н. бе(т(, Тгапв, 9!Ь АЧЯ Яушр., . 1962, р. 1ЗЗ, ТЬе МасгпШап Сотрапу, Меиг Уота. 319. Свеже!1, Н. 1.„апб Л. й. Рг!еь1, Тгапв. 9(Ь АЧЯ Яушр., !962, р. !38, ТЬе Мастпйаи Сошрапу, Меи Уог1с ЗЮ. 0!еед, %. 1., 3. 8. Нт11, К. Н. Ни гееу, апд Р, й, 8(и аг1, Часишп, 18, 213 (1968). 321. Н(шее, %., В. Р. Я!о и(, апд й, Е. ТЬ и и, Тгапв. 9(Ь АЧЯ Яутпр 1962, р. !44, ТЬе Масти!Иап Согпрапу, Меть Уогй. 322. С Ь а гвсЬ ап, Я.
8., й. %. О)е пи, апд Н. %ее(ба а гд, %ев(еит Е1ес. Епаг., 7, 9 (!963), 323. В о! й е, З. %., 8. 8. С Ь а г в с Ь а и, вид 3, 3, О ! и е е п, ВеИ Яузгеш ТесЬ.,1., 43, !27 (!964). 324, Н а п1ш а и, А. М.. Яойд 81а(е ТесЬпо!., 11 (!2), 3? (1968); см, также Ргос. 41Ь 1и1егп, Часишп Сопдг., 1968, то1. 2, р. 549, ТЬе 1пз(1(и!е о( РЬуь(сь аид ТЬе РЬуз(са! Яос)е!у, 1.опдоп. 325.
Си!Ьгте, А., апй й. К. %а(гег!!ид, "Часишп Еии!ршеп! апд ТесЬп!Ииев", СЬар, 5, МсОгатт-НИ! Воо1г Сошрапу, Мечт Уог(т„1949. 326. Т и г и Ь и ! 1, А Н., тЕеаЬ (те!ее!!оп аид Ве!ес!огв", в кн А Н. В е с 3 (ед.), "НапдЬоо(т о1 Часишп РЬув!сь", то1. 1, р1. 3, ТЬе Масшй!аи Сошрапу, Меть Уогй 1964. 32?. В 1 с з г в,,!., апб 3. Н, Ь е с й, А Яс!. 1пз(г.
Яирр1., 1, Ю (1951). 328. Магие(Ь, й.. О.Я. Ра1еп13, 227, 872, 1966. 329. %огК й. Н., Тгаиз. 51Ь АЧЯ Яушр., 1958, р. 126, Регкашоп Ргеьь, Мети Хог)т. 330. В! с 1т п е1 1, С, В., Тгапв. 61Ь АЧЯ Яушр„1959, р. 98, Регдатиоп Ргевь, Меж УогЕ 331. Ьесй Л. Н.. "Ргеьвиге Меаьшешеп1 !п Часиипт Яуз(ешз", 2д ед., СЬаршап апд Най 1Лд., 1.опдои, !964; рарегЬасЬ ебИЗоп Ьу Встепсе РарегЬас)тв, 1опбоп, !967, д!ь(г!Ьи(ед Ьу Вагпев апд МоЫе, 1пс., Меж УогЬ. 332. !?! е1в, К., апд й. Л а е с Ь е 1, "1еуЬо1й Ча1гишп ТавсЬепЬисЬ", 2й ед„ рр.
96, !20, Ярг!пает-Чег1ад ОНО, Вег!!и, !962. 333.' ВгошЬа сЬег, %, О., О, Р. ЗоЬпьоп, апд Л, 1.. Сговь, Майопа1 Вигеаи о1 8(впйагдь МоподгарЬ 8, О.Я. Овраг(шеи! о( Сопипегсе, %аьйпй1оп О. С., 1960. 334. См.,' например, ТЬ ото аз, А. М., апд 1. 1, С гоев, 3.
Часииш Яс!. ' ТесЬпо!., 4, 1 (!967). 335. А1 р е г т, Тт., С. О. М а 1!а и д, апй А. О. М с С о п Ь т е у, йев. Яс(. 1пз1г., 22, 370 (1951). 336. (З1(егЬ а сЬ, М. О., апб Т. О г11111Ь, Зг., йет. Яс(. 1пь1г„37, 866 (1966). 337. Оадвоп, й. Я., К. %, Т. Е1!то11, аид Тт. М. %оодшвп, Ргос. 4(Ь 1п1егп. Часйиш Сопит., !968, уо), 2, р. 679, ТЬе !пз1!(и(е о( 1 Луз!сь аид ТЬе Рпув1са! Яос1е1у, Еопдои. 338. 1з Ь11, Н., впд К.
М а !та у а ш в, Тгапв. 81Ь АЧЯ Яуптрь 1961, р, 519, Регаашоп Ргевв, Хетт ХогЬ. Гл. 2. Техника высокого вакуума 339. 340. 341. 342. 343. 344 345 346. 347. 348. 349 350. 35!. 352. )53. 354 155 356 357 358 359. 360 36| 362.
363. 364 365 ,|66. 367 368 369. 370 371. 372. См., напРимер, Бевь)оп 111 В, Ргос. 4|Ь 1п1егп, Часшнп Соотг., 1968, р, 591, ТЬе 1пв|!(п!е о1 РЬуь(сь апб ТЬе РЬув|са! Бос|е|у, Ьоибоп., Веп зон, 3. М., Тгапв. Зд АЧЯ Бугор., 1956, р. 87, Регдап|оп Ргеьь, Хечг УогЬ. Н а г ч е у, Р. С., 3. Часнпгп Бс|. ТесЬпо|., 4, 339 (1967). Бп|||Ь, Р. Т., РЛуз. йеч., 36, 1293 (1930); 37, 808 (1931); а так же 3, Т. Т а1е апб Р. Т. Б п|11Ь, РЬуь. йеч., 39, 270 (1932).
К о гпе1зеп, Е Ч., Ргос. Зб |п|егп. Соп8г, Часпнп| ТесЬп)9пеь, 1965, чо|. 1, р. 65, Регда|поп Ргеьь, Хенч Уог|г. СгоззЬочгвК|, 3., Ргос. 4|Ь !п1егп Часпшп Соп8г., 1968, чо|, 2, р. 631, ТЬе !пв(!1п(е о1 РЬув|сь апд ТЬе РЬув|са! Бос|е1у, Сопдоп. Бои п1в, Сг.
3., апг) А. Ч. Р Ье!рв, йеч. Бс|, !пв1г., 28, !051 (1957). См., например, Ргоднс! йер1. 213-5, бгапч(1!е.РМ)1|рь Бос|е1у, Лоп- боп. В а уз г б, й. Т., апб (). А|р ег |, йеч. Бс1. 1пь(г., 2|, 571 (1950). К| п в е|1в, 3..!., Тгапв. |в1 АЧБ Бупгр., 1954, р. 65, Рег8вгпоп Ргеьь, Хечг УогК Сг го ь ь Ьоыз Ы, 3., Ргос, Зг) |п!егп.
Соотг, Часики| ТесЬпщпеь, 1965, чо|. 2, р. 241, Регдапзоп Ргеьв, Хен Уогй й е 4 Ь ее б, Р. А„йеч. Бс|. !пьгг., 31, 343 (|960). К|ор1ег, А., Тгапз. 81Ь АЧБ Бугор., 1961, р. 439, Рег8ап|оп Ргеьв, Хеы УогЬ. Н'е1|пег, 3. С., апб 'гЧ. Н. Научгагг), йеч. Бс|, |пв|г., 37, 1652 (1966) . Л в 1 | в г| у, 3. М., Тгапь. 9|Ь АЧБ Буигр., 1962, р 438, ТЬе Масси|!|ап Сои|папу, Хечч УогЬ. |.в 1|в г|у, Я.
М, йеч. Бс|. |пыг., 34, 467 (1963). йеб Ьеа 4, Р. А., Сап. 3. РЬуь., 37, 1260 (1959). йети еа6, Р. А., Адчап, Часпп|п Яс|. ТесЬпо|, р, 410, Рег8апгоп Ргезь, Хеи Уог!<, 1961 М о о г е, В. С., 3. Часппгп Бс!. Тесипо!„6, 246 (1969). Н о11а од, |., Часп!Опе, чо|. 5, по. 17, Ос!сбег, |965, Ебччагг)в Н|98 Часппгп |п|егпаВопа|, $.16., Мапог йоуа|, Сггагч!еу.
Бпььех, Еп81апд, См. ссылку 331, р. 82. Бв и1е|ег, (). 3., Тгапв. 8|Ь АЧБ Бугпр., 196|, р. 549, Регдапгоп Ргевв, Хегч УогЬ. В |е а г в, д., Ргос, йоу. Бос. Лонг)оп, А|88, 62 (1947). й е4 Ье а 6, Р. А., Тгапь. 7|Ь АЧЯ Бупгр., 1960, р 108, Рег8агпоп Ргевж Хем Уогй 9 ей Ь е а д, Р. А., Часпнпг, |3, 253 (1963. й ей Ьеа 4, Р.
А, 3. Часпнгп БсЬ ТесЬпо|., 3, 173 (1966|, Кеп б а | 1, В, й. Е., Тгапв 10|5 АЧБ Бупгр., !963, р. 278, ТЬе Мвс. ппйап Сопграпу, Хечг УогЬ. В|в и1Ь, Е. чЧ., Ргос. 41Ь |п|егп. Чвсиигп Соп8г., 1968, р. 21, ТЬе !пь(1(и(е о! РЬуь)св апб ТЬе РЬуз)са! Яос|е|у, Лонг)оп. Ы с В о гч е| 1, С. А., "Мазь Ярес|гогпе1гу", Мсйгачч-Н!11 ВооЬ Согпря- пу, Хегч Уогк, 1963. См.. например, Беввюп |11 С. Ргос. 4|Ь !п|егп.
Часипгп Сопйг., 1968, р. 685, ТЬе |пв|йу1е о1 РЬув|св апд ТЬе РЬув|св Бес)е(у, Ьопг)оп. На г г | и 8 | оп, Т) В в кн. 3. () )Чв|б гоп (еб), "Абчапсез ги Мазь Брес1говсору", р 249, Регйапгоп Ргеьь, Хегч Уог1|, 1959. В е гп р в | е г, А 3., РЬуз. йеч., |1, 316 (1918). Н|рр!ч.
З А. ьпб )Ч. В|еаЬпеу, РЬув. йеч., 49, 884 (1936), Б о гп иг е г, Н., М. А. Т Ь о п| а ь, апд 3. А. Н | р р! е, РЬув, йеч., 76, |877 (1949). Спасов литературы 373. йе1сЬ, б., апд М. Л. Мое!(ег, 3. Ап8еп, РЬуь, 9, 617 (!957). 374, 1. а 11 е г 1 у, Л. М., аид Т. А Ч а п д е г в 1! с е, Ргос, 1йЕ, 49, 1141 (1961). 375. Вага, Е., Тгапв. Зд !п1егп. Часннго Соп8г., 1965, чо!. 2. 2, р. 473, Регдааоп Ргевв, Ыечг Уогй 376. Ран!, Ж., апд Н. 51е)п веда), 2. Ха1нг!огвсЬ., 8а, 448 (1953); Р а и 1, )Ч., Н. Р. й е! и Ь а г д, апд б. ч о и 3 а Ь и, 2. РЬувЬЬ 152 (2), 143 (1958). 377. б и е п(Ь е г, К.
б., апд 1Ч. Н а е и ! е(п, Тгапв. 8(Ь АЧЗ Зугир., !961, р. 573, Тпе Масгп1Пап Согорапу, Ыеп УогЬ. 378. В г н и и е е, С., (.. )у в! 8 го а и и, вид К, К г о п е и Ь е г 9 е г, ЧаЬннгпТесЬ., 13, 35 (1964). 379. Вне!1егиапи, Н. Л., апд 1.. ()е!дгиапп, Часнна, !5, ЗО! (1965). 380.
В г н Ь а Ь е г, Чгг. М., Ек(. АЬв(г. 141Ь АЧЗ Зугпр., !967, р, 23, НегйсЬ аид Не1д Рппйпд Со., Р!ИвЬнг9Ь, Ра. 381. ч о п 2 а Ь п, ()., йечс Бс!. (пв1г., 34, 1 (!963). 382. Н н д в о п, !. В., "й. Р. Мавв Зрес!гогов(ег Рагйа! Ргеввнге Апв1увег", ТесЬп)са! йерог! гйв1пЬн1ед Ьу бепега! Е!ес1г(с Со., ЗсЬепес1аду, Х. У. 383 бгапде, й. Е., й.
Ь. (Ча!(егв, апг( Л. В. Нндвои, Л. Чвснниг ЗсЬ ТесЬпо!., 3, 329. (!966). 384. 5(ер 5 еи в. %. Е., РЬув. йеч., 89, 691 (1946). 385. К!ор(ег, А., апд (Ч. 5сЬгп!д1, Часншп, 10, 363 (!960). 386. См. ссылку (82), р. 46. 387. С ге!9, й. Р., апд Е. Н, Н в г4 еп, Часннпг, 16, 67 (1966). 388 С о н ! в о и, Л. А., й. Еп С г а 1 и, вид й, б, Л о Ь п в о п, Ех(, АЬв(г.
!41Ь АЧЗ Яугир., !967, р 73, ЙегЬ!сЬ апд Не!д Рг!п(!й8 Со., РИ!в. ЬнгдЬ, Ра. 389. (Чо од, б, М., Лг., апд й. Л, йоеп(8К Лг., Л. Часннив Зс1, ТесЬпо!., . 6, 871 (1969). Глава 3 Физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки (ионного распыления) готтфрид к. Венер, дукердльд с. Андерсон СОДЕРЖАНИЕ С Введение А. «Атомный биллиард» Б. Исторический обзор В.
Возможности применения 353 353 355 359 2. Методы ионного распыления . А. Плззма . Б. Ионные пучки 3. Коэффициенты и пороговые энергии распыления А. Коэффициенты распылении Б. Пороговые энергии распыления , 4. Скорости распыляемых атомов А. Методы экспериментального исследования . В. Результаты исследований 5. Угловое распределение распыленного материала .
А. Поликристаллические мишени Б. Монокристзллы 8. Анализ распыленного вещества А. Состояние распыленаых частиц . Б. Состав распыленных частиц . 7. изменения, происходящие на распылиемой поверхности А. Металлы В. Полупроводники В. Сплавы и составные мишени Г. Соединения........... г 8. Теоретические модели ионного распыления . 9. Разное Список литературы ° 303 363 370 372 372 375 378 376 360 364 384 366 388 368 369 390 '390 ап 39$ 399 392 397 399 1. Введение ВВВДВННВ А. «Атомный бняянардэ При бомбардировке поверхности твердого тела (или жидкости) отдельными атомами, ионами нлн молекулами, может пронзойтн множество явлений.
Какое из инх будет иметь преобладающее значение, в большоА степени зависит от кинетической энергии бомбарднрующих частиц. При очень низких кинетических энергиях (меньше 5 эВ) взаимодействие по существу ограничивается самым верхним поверкностным слоем материала мишени. Когда атом инертного газа с такой низкой кинетической энергией падает на атомарно-чистую поверхность металла, то он может либо отразиться от поверхности, либо прийти с ней в термическое равновесие н затем десорбироваться, В этой области энергий состояние описывается с помшцью коэффициентов аккомодацин, прилипания и передачи импульса. Важную роль играет потенциальная энергия бомбарднруюших чистиц (возбужденных атомов или ионов), поскольку она определяет электронные переходы, которые могут привести к эмиссии вторичных электронов иля, в случае сложных материалов или наличия примесей, адсорбированных на поверхности, — к разрыву или восстановлению химических свизей.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
