Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 92
Текст из файла (страница 92)
Арр!. РЬув., 24, 860 (!953). 33 Рон ег, В. Р., апд В. 3. Сгант!еу, Часниш, 4, 4!5 (1954). 34 М ! 1)е г о и, Х., апд Ь, К 1. е ч е и в о и, Тгапв, 785 АЧБ Бушр., 1960, р. 213, Регдзтпоп Ргеьв, Хеш Уог1т. 35. Кеп неду, Р. В., Тгапь, 81Ь АЧБ Бушр., 1961, чо), 1, р, 329, ТЬв Манш!Иап Сошрапу, Хеш Уог1т, 36. В а псе, (), й., апд Е. Н.
Нагдеп, Часншп, 15, 437 (!965). 37 То1ш!е, Е. )т., апд Ев Я. Сгант1еу, Ех1. АЬз1г. !З(Ь АЧБ Бушр., 1966, р. 97, НегЬ!сК апд НеЫ РПпИпд Со., РИ(збигИЬ, Ра. 38. М 111 е г о п, Х., апд 1. 1, 1. е ч е п в о п, Ттапв. 8(Ь АЧБ Бутпр,, 1961. чо!. 1, р 342, ТЬе Мвсш!Иап Сотпрапу, Хетт УогК.
Гл. 2. Техника вмсокого вакуума 39, О 1с а т о 1 о, Н., апд У, М и г а К а в 1. Ех1. АЬ|Ьх 141Ь АЧБ Бутр., 1967, р. 67, НегЫс)с апд Не1д Рг(пИпд Со., РИ(аЬигдЬ, Рад см. также Насииги, 17, 79 (!967). 40. й е т с Ь, О., 2. Авдею. РЬуз., Э, 23 (1957). 41.
Р ад а по, Р., Ттапз. 8!Ь АЧБ Буптр., 1961, р. 86, ТЬе Маспт!Иап Соврапу, Нею Уог1с. 42. О'Х е! 11, Н. Л., %. М. 1. а п д д о и, Л, Р г е г! с Ь в, аид А Б о в о г а, д. Часицтп БсК ТесЬпо!„3, 273 (!966). 43. А!рег 1, Р„йеч. Бс!. 1пь!т., 24, 1004 (!953). 44. )опез, Р, %., апд С. А. Тзоп!з, д. Часишп Бс!. ТесЬпо)., 1, !9 (Г984) . 45. То! все, Е. Р.„Часиив, 15, 497 (1965). 46. Стаю)еу, Р, З.„апд 3. М. М т11ег. Часиитп, 15, !83 [1965).
47. В(о п д 1, М, А., йеч. Бс!. 1пз1г.. 30, 831 (1959). 48. Ьечепвоп, 1.. )., апд Н. М!!1егои, Тгаиз. 8!Ь АНБ Бутр., 1961, р. 91, ТЬе МасицИапд Сотраиу, Ыею Уог1с. 49. Ооьье1тп, С. М., аид Р. 3. Вгуап(, А Часишп Бс1, ТесЬпо1„2, 293 (! 5). ' 50. В и Ь Ь й., апд О. %1 и 1с1 е г, Часиит, 16, 697 (1966). 51. О з сч а 1 д, й. Р., вид Р. Л.
С г а ю 1 е у„Час шип, 16, 623 (1968). 52. Н о 1!а п д, 1., 1., 1. в ц г е и з о и, апд С. Р г( е в 11 а п д, йеч. Бс) !из1г., 34, 377 (1963). 53 1 а пддоп, %. М., апд Е О. РосЬ(исаи, Тгапв. 101Ь АЧБ Бутпр., 1963, р. !28, ТЬе Мает)Иап Соврвпу, Ыею УотК. 54.
С в г1ег, 1, б., 3. А. Е)6ег, й. Р. В(г1сЬо11, апд А. К. йоесК- ! е)и, 7. Насццв Бс!. ТесЬпо!., 2, 59 (1965), 55 НиЬег, %. К., й. РоЬгоаевзКу, апд Р. Ч(еЬЬоесК, Ех1. АЬз1г. 13!Ь АЧБ Бугпр., !966, р 119, ЙегЫсК'апд Не!д Рг(пййд Со., РИ(ьЬигдЬ, Ра. 56. В а !сег, М. А., "А Соо1ед ЯиагН Сгуз(а) М!сгоЬа1апсе Мердод !аг Меазит(ид ЕИИиМоп Риитр Вас)с 8!геав(пд, "ТесЬп!са1 йерог( (втед ссу Едюагдв НгдЬ Часиигп, 1ис., бгапд 1з!апд, Ы.
У., 1966. 57. О1е)и(с ь а К, Л, 8., "!деиИИсаИои о( Боте Огдвп(с Чаротв Нот йо1агу Ригпр ОИ Ьу !Ье СоитЫпед СЬготпв!одгарЬсс-Маза Брас(тове1- г(с ТесЬп!Эие", ТесЬи(са( йерог1 (звиад Ьу Едюагдз Н!дЬ Часицт, 1пс., бгапд )з(апд, Х. У., 1968. 58. Нво! ап! аи, М. А., апд Р. 1.. Ч11Киз, Тгапз.
10Ит АЧБ Бувр„ 1963, р. 140, ТЬе МасидИап Соврапу, Ыею УогК. 59. Б с п д)е1о и, д. Н., д. Насцигп Бс(, ТесЬпо!., 3, 354 (!966). 60. 81еси с)ззег, Р., д. Часиши Бс). Тесипо!., 4, 44 (1967). 61. Т г ! с К е11, В., Часшип, 14, 397 (1964) . 62. Чеиева, А., М. Ванд г(пда, РЫИрь ТесЬ. йеч„20, 145 (1958). 63 Ч спет в, А., Часцшп, Э, 54 (!959). 64. М а!раз, Е., Неси!отсе, 5 (18), 2 (1965), Едюагда Н)дЬ Часиив !п!еги. (.(д, Стаю(еу, Биззех, Еид1аид, 65. В а т г е1 1, А 8. Р., зпд Я.
Т. М. Ре п п с з, Ргос. !ь! 1п1егп. Часшцп Сопдт. (1958), р. 2!2, Регдавоп Ргезь, Ыесч УогК. 66. ЫцИеп, 1.. О., аид М. д Н!та, д. Насиив Бс1, ТесЬпо)., 4, 219 (1967). 67. У и, а, 8., апд Б. 1.. 8 о о, 1. Часцит Бс1. ТесЬио1., 3, !! (1966). 68. Р а1а и у 1, М., Тгаиь.
Рагадау Бос., 28, 316 (1932). 69. С Ь и Ь Ь, Л. )ч., апд 1. Е. Ро)1а г 6, Насиигп, 15, 49! (1965). 70 СЬи ЬЬ, ). Х, Чзсцив, 1б, 681 (1966). 7!. 1 ечеи во п, 1.. 1, Ех(. АЬзИ. 1405 АЧБ Бувр., !967, р. 95, НегйсК апд НеЫ РппИпд Со., Р!ИьЬстгдЬ, Ра. Список лнтературм 72. Н е а 16, 3. Н., 3г., апй й. Р. В го ьг п, Ех(. АЬз1г. 1466 АЧЗ Зутр, !967, р. 63, НегЫсК апд НеЫ Рг!пйпб Зо., Р11!ьЬиг8Ь, Ра. 73а.Нейдечоьь, 3., Тгапз. Зй 1п!егп. Часиит Соп8г., !965.
чо!. 1, р. 51, Ре«8атоп Ргеьь, Хегч Уо«К. 736.Йеп2ечоьз, 3., аид Е. А. Тгепйе!епЬиг2, Чзсиит, !7, 495 (!967). 74. НоЬьои, 3. Р., апй Р. А, йейЬеай, Ргос, 41Ь 1п!егп. Часшин Сопйг., 1966, чо!. 1, р. 3. ТЬе 1пь1йи!е о( РЬуз!сз апй !Ье РЬуь(са) Зос!е1у, 1.опдоп. 75. '»Чапй, Е. Б. 3., 3. А. Со!1(пз, апй 3. О Нау8оод, Адчап.
Сгуо8еи!с Епа., 7, 44 (!966). 76. Р а чг Ь а г п, Й., Ех!. АЬь1г. 14ун АЧЗ Бугпр., 1967, р. 97, НегЫсК апд Не!й Рппйпб Со., Р!!!ьиигйЬ, Ра. 77. Но п ! 8, й. Е., айй Н, О. Но о К, ЙСА йеч., 21, 360 (!960). 78, Ме)ьзпег, С. й., Тгап. 7!Ь АЧБ Зутр., !960, р 196, Регбатои Ргеы, Хетт УогК. 79.
С а з е е1 1, Н. 1., !ВМ 3. Йез. ))ече1ор., 4, !30 (1960). 80. Но! тчгоод, й. А., апд й. О!апБ, 3. Е!есйосЬет. Зос., 1!2, 827 (1965). 8!. Но)!а ой, 1.„апй 1). 1Ч, ВагКег, Часшпп, 15, 289 (1965). 82. С а ь чг е! 1„Н, С., в кн. О, Н а а з (ед.) "РЬуь!сь о1 ТЫп РПть" чо1. 1, . 1 Асадет!с Ргеьь !пс., Хечг Уо«К, 1963. Рчсскнр перевод: «Фньнка тонких пленок», т. 1, стр. 13, «Мнр», (Ю67)]. 83. Р ог1Ь, Н.
3., Часшнп, 17, 21 (!967). 64. Га г К з»з, !., зпй О. Р. Ча и й егьсЬ т! д 1, Тгапз. 61Ь АЧЗ Зутр. 1959, р. 45, Рег8атоп Ргезь, Хеиг Уо«К. 85. З Ье)доп, О. Р., апд М. Н. НаЬ! ап1аи, Ех1, АЬзрп 141Ь АЧЗ Бутр., 1967, р. 159, НегЫсК апд Ней Рг!пйп2 Со., Р!1!ьЬигБЬ, Ра. 86. Миг а К а т 1, У„апй Н. О 1«а то(о, Тгапз, 10!Ь АЧБ Зутр, 1963, р, 93, ТЬе Мапп!!!ап Сотрапу, Хеиг УогК, 67. См„например, В г и па нег, 8» "ТЬе АйзогрИоп о1 Озьез апй Чаогз", Рг!псе!оп !)прчегьйу Ргеьь, Рппсе1оп, Х. Х., 1958.
Русский перевод: Бр у на у ар С., «Аасорбинн газов н паров», М., Л (1948)]. 88. Н о Ь ь о п, 3. Р., апй й. А. А г т ь 1 г о п 2, 3. РЬуз. СЬет., 67, 2000 (1963). 89. ЕЬ1егь, Н,, Тгьпь Зй 1п1егп. Часиши Соп9г., 1955, чо!. 2, р. 457, Ре«2атоп Ргеьь, Хечг Уо«К. 90. ВаипосК, й.
й., Часиит, 12,!О! (!962). 91, 1пК)еу, Г. А., апй 3. %. Со1етап, Чзсшнп, 15, 40! (!965), 92. Хое, Р, М. Со па(апг, апй О. Тгоайес, Ргос. 41Ь 1п1егп Часиит Соинг., 1968, чо1, 1, р, 397, ТЬе 1пьИИИе о( РЬуь!сь апд ТЬе РЬуь1са! Бос!е1у, 1.оидоп, 93. Б а и д ь, А., апд Б. М. (7 ! с К, Часиит, !6, 691 (1966). 94. В з 1)е у, 3. й., Тгапз, Зд 1й!егп.
Часшии Соийг., !965, чо!. 2, р. 447, РегБатоп Ргезз, Хею Уо«К. 95. Ваггег, й. М„ВгИ. СЬегп. Епй» 4(5),267 (1959). 96. Тиг пег, Р. Т., апй М. Ре)п!е!Ь, Тгапь. 8!Ь АЧБ Зутр» !961, чо1. 1, р. 300, ТЬе Масти!!!ап Сотрапу, Хечг Уог)с 97. 81егп, Б, А., апд Р. 8. Р1Ра о!о, 3. Часшни Зс!. ТесЬпо!» 4, 347 (1967). 98. ЬиК ей, Р., Ргос. 4!Ь !п!егп.
Часиит Сопит., 1968, чо!. 1, р, 369, ТЬе !пз!!!и!е о! РЬуз!сз апд ТЬе РЬуз)са! Бос!е1у, Бойдоп. Гл. 2. Техника высокого вакуума 99. Ч а г а д Ь Р. Г., апд К. Е11г е, Тгапв. 7ГЬ АЧЯ Яугпр., 1960, р. 248, Регдагпоп Ргеяв, Хен УогЬ. 100. Воегя, А.
1, Ргос. 4рп 1п1егп. Часишп Соибг., 1968, чо(, 1, р, 393, ТЬе !пв(1(и(е о! РЬувгсв апд ТЬе РЬувгса! Зос!е1у, Епископ. 10!. й еа д, Р. 1., Часиигп, !3, 27! (1963). 102, баге!в, Р. 3., апд Сг. Р, НадепЬасЬ, 1пг), Епд СЬеш., 57(5), 27 (1965) . !03. В о п д, б. С., "Са!а1ув!в Ьу Ме(а!в", р. 66, Асадешй Ргевя !пс., Хечг Уог1с, !962, 104. % а д е п е г, Я., Ргос. !пв(. Е)ес. Епйгв., р1.
3. 99, 135 (!952). 105. См. ссылку (6], р. 622. !06. 31оиг, Ч. б., апд М. О. б!ЬЬопв, 3. Арр1. РЬуя., 26, !488 (1955) . 107, 3 а с 2 во и, А. б., аид Т, %. Н а а в, д. Часпшп Яс!. ТесЬпо1., 4, 42 (196?). !08 М!11егои, Х., аид Е. С. Рорр, Тгапв 5рп АУЯ Зушр,, 1958, р. 153, Регбавоп Ргеяв, Хегч Уогй !09 3!Ьага, Я., С НауавЬ1, апд Н. Кошара(, Ргос. )я(. 1и(егп. Уа. синги Сои8г, 1958, р, 430, Регдагпои Ргеяя, Хечг УогЬ 1!О. С1ои д, й. %., Н, М !)де, апд 3. Г, Р Ь1!1р, Тгапв, 8рп АУЗ Яушр., !961, р. 357, ТЬе Масиийап Сошрапу, Хечг Уогй.
11!. М ос г)вон, 3., Тгапв. 6ГЬ АЧЯ Зушр., 1959, р. 291, Рег8апюп Ргевз, Хем Уогк. 112. М с С г а с Ь е п, б. М, Часииш, 15, 433 (1965). 1!3. Ьагчвоп, й. %„апд Л. %. %оодючагд, Часиигп, 17. 205 (!967). !14. Н с гЬ, й, б, й, Н. О а ч(в, А 3. О(ч а1г а, аид О Я а хоп, РЬув. Реч, 89, 897 (! 953).
115. Раи! у, Т., й О. )Че!1оп, апд й, б. НегЬ, Тгапв ?ГЬ АЧЯ Яушр, 1960, р. 51, Регдягпоп Ргевв, Хегч УогЬ. 116, бои)д, С. 1, впд Р. Ма п де 1, Тгапв. 9ГЬ АЧЗ Яушр., 1962, р. 360, ТЬс Масш)!!ап Сотраиу. Хегч УогЬ. 1!7 %аггеп, К. А., О. й Оеп!воп, аид О. б. В!1!в, Ех1.
АЬв!г. 13рп АЧЯ Яушр.,!966, р, 17, НегЬ~сЬ апд Не!д Рг)п(!пд Со., Р1йзЬиг8Ь, Ра 1!8. К1ор)ег, А., алд )Ч. Егшг!сЬ, ЧаЬишп-ТесЬ., 8, 162 (1959), 119. К)ор1ег, А., зпд 1Ч. Егшг1сЬ, Ргос 1пв1 )п1егй, Часоиш Сопбг. 1958, р. 42?, Рег2ашоп Ргеяя, Хевг УогЬ. 120. На))вид, 1... Ь. 1.а и ге пв оп, апд Р. б %. А11еп, Тгапя. Зри АЧЯ Яяшр., !961, р.
208, ТЬе Масшй!ап Сошрапу, Хезг Уог)с 121. Е)ягчог1Ь, 1, Ь. Но!!апд, апд ).. Ьаигеияоп, Часика, 13, 337 (1965), 122. С!а и в!п45 й. Е., Тгапв 81Ь АЧЗ Зугир., 1961, р, 345, ТЬе Маски!. )ап Сошрапу, Хегч УогЬ. !23. Оеп! воп, О. й., 3. Часпшп Яс!. ТесЬпо!., 4, 156 (1967), 124. й е!сЬ, б., апд Н. б. Хое!! ег, Ргос !я( !п(егп. Часиши Соотг„ 1958, р. 443, Регбатоп Ргевв, Хегч Уогй !25. Н1гвсЬ, й. Ь., 3. Часишп Зс). ТесЬпо1., 5, 61 (!968). !26. й! чгеге, 3. С., 3. В. ТЬогпрвоп, Л. Е. йеа 6, апд 1.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
