Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 94
Текст из файла (страница 94)
801, ТЬе !пь!Ии(е о1 РЬувссь впд ТЬе Раув!са! Бос!е1у, (.опдоп 220. Оедгаь, 0 А., А. 5сбгав, В Ьих, апд Ь А, Ре1егвапп, Тгапз. 81Ь АЧЗ Бувр., чо!. 1, р. 177, ТЬе Масв!!!вп Соврапу, Хечс Уогй 22!. Со11! пь, й. Н,, апд 3. С. ТигпЬи)1, Часшпп, 11, !19 (!96!).
222. Зсгаизьсг, У. Е., Ех1, АЬь!г. 14ГЬ АУБ 5увр„1967, р.!31, НегЬ!сК апд НеЫ Рг!и!(пб Со., РИНЬигбЬ, Ра. 223. Т о д д, В. Л., 3, Арр!. РЬуь., 26, !238 (1955). 224. 3 Ь е г сч о о д, Сг., 3. Ав. СЬев. Бос., 40, 1645 (!968). 226. Егеп1ь, К., апд Сс. С аг1ег, Часиив, 15, 573 (1965). 226.
В 111ь, б. Сс., апд А. А. Е ч е(1, 3. Арр(. РЬуз., ЗО, 564 (!959), 227. Б с п д ! е1 оп, 3. Н., апд %, 3, Ь а и не, 3. Часишп Зсс. Тесбпо)., 2. 93 (1966). 228. 0 а с»вон, Р. Н., апд Х. й. % Ь е11 си, 3, Часиив Зс1, Тесппо!., 4. 382 (1967). 229. Н о 1 ! а п д, К„ В г с 1. 3. Арр!.
РЬуь., 9, 410 (1958). 230. БсЬгес пег, О. Сс., Ех!. АЬв(г, 14(Ь АЧБ 5увр.,!967, р.!27, НегЫс)г апд Не!д Рг!пйпд Зэ., РИ!ьбигВЬ, Ра. 231. РагКавь, 1., апд Е. 3. Ваггу, Тгапь. 7ГЬ АУБ 5увр., 1960, р. 35. Регбавоп Ргеьь, Хекс УогК. 232. В а г!о п, й. 3., впд й.
Р. Сс о ч1е г, 3. Часишп Бс!., ТесЬпо1., 2, ! !3 (!965). 233. На 11, Р. %., Ех1. АЬь(г. 13рп АЧБ Буспр., 1966, р. 125, НегЫс!с апд НеЫ РПпбпб Со., РИ(вЬигдЬ, Ра. 234. МвгК)еу, Г., й. йовай, апд й. ЧовесеК, Тгапв. 8(Ь АЧБ Бувр., 1961, чо!. 1, р, 78, ТЬе Масв)йап Соврапу, Хесч Уогй 235. В гочс п, й. О., Часипв, 17, 505 (1967) 236, де С веги а1о ну, Ь., Ех1.
АЬь!г. 1Зрп АЧБ Бувр., !966, р. !23. НегЬссК апд НеЫ Рг1п1!й9 Со., РИ(збшВЬ, Ра. 237. д е С в е г и а 1 о и у, 1... Чвсишп, 16, 13; 129, 247 (1966). 238. Аддсвь, й. й., Ь. РепьаК, апд Х, 3. Бсо11, Тгапь.. 7(Ь АЧБ Зувр., !960, р 39, Рег9авоп Ргеьв, Хеис УогК. 239. Хог1оп, Р. 3., Тгапь. Врп АЧБ Зугпр., 1961, чо!.
1, р. В, ТЬе Мас. сп01вп Соврапу, !чесч УогЫ 240. йобегь, %. А., й. 5. Виг)1ь, апд О, А!рег1, 3. Арр!. РЬуь., 25, 868 (!954). 24!. Рг а и ем (е! с( е г, й., Ех(, АЬЫг. 13ГЬ АУБ Бугпр., 1966, р, !01, НегЫс(с апд Не10 Рг!пйпд Со., РИ!ьбигаЬ, Рв. 242. Х о г1 о п, Г.
Ю., Я. Арр!. РЬуь., 28, 34 (!957). 243. См, ссылку (6). 244. Со!!с па, й, Н,, апд Л. С ТигпЬи)1, Часишп, 11, !14 (196!). 245. %Ье1(еп, Х, й., апд 3, й. Уоипб, йеч. Бс1. !пь!г., 30, 472 (1959). 246. (.ес Ь у, С. С., апс( С 1., С Ьеп, Л Арр! РЬуз, 31, 268 (1960). 247. А(рег1, О., апд й. 5. В иг)(х, Л. Арр!. РЬуь., 25, 202 (1954), 248.
йо(Ь, А., "Часпив Беайпд Те«Ьп!с(алев", Регдапюп Ргевв, Хеис Уог1с, ! 966. с(русский переаол: Рот А., «Вакуумные уплотнители», Мч «Энергия», (!97!)!. !Генсек литературы 249. свисав(ег, ). Р., "ТЬе Ме1аИиг2у о1 %е1сИп2„Вгах)п6, апй Бо1- йег!пб", Реог2е АПеп апй ()пгч!и, 1Лй., 1.опйоп, 1965 250, Ра11оп, %. 3., "ТЬе Зс!енсе апй РгасИсе о1 %еЫ)п2", РгепИсеНаИ, !пс., Еи2!е чоод СИИз, Х. 3., 1967. 251. РЬ!111рв, А.
1.. (егЦ, "%е!й(ик НапдЬооЫ', бй ей., Агиег1сап %е!- й)иб Зос!е1у, Хегч УогЬ,!962. 252. Р!1)рвЬг, Б. Р., %еЫ!п63.,43(1),937 (!964). 253. %е!й!п2 Ме)а!з РаЬпсаИои, 34 (5), !62 (1966). 254. БсЬигаг(г, Н., Тгапз. 8й АЧЗ Бутр., 1961, р, 699, Регбатои Ргем, Хеиг Уог1«. 255. Ме1ег, й, %., Тгапв. 8й АНЗ Зутр., 1961, р. 670, Регдатоп Ргмв, Хек УогЫ 256. 1.апдег, Н.
3., %. Т. Неьь, И. ВаЬ)вЬ, апд Б, 3, %Ь11е, Тгапв. 8й АЧЗ Бутр., 1961, р. 685, Рег2атоп Ргем, Хе»ч УогЬ. 257. Н е в в, %. Т., Н, 3, 1. а п й е г, Б Б % Ь! 1 е, апй 1.. МсР. 3 с Ь е ! Ь у, Тгапк 8й АЧЗ Бутр„!961, р. 679, Регдатои Ргезз, Хеъ Уог)г. 258. 11 о, Сг., Н. 3 и г и Ь 1, Т. Н а з Ь ! гп о 1 о, а од Р, М а !в и д а, Тгапз. 8й АЧБ Бутр., 1961, р. 693, Рег2атои Ргевв, Хеиг Уогн. 259.
Ме)ег, 3. %., %е!й!пд 3., 43 (11), 925 (!964), 260. Р и Ь а т е 1, (с )т., %е!д!пй Л., 44 (6), 465 (!965). 261. В1гп)е, 3. Ч., %е!д!п6 Ме1ай РаЬг!саИоп, 31 (1), 27 (!966). 262. К о Ь 1, %. Н., Часшнп, !4, 175 (1964). 263. К оЬ 1, %. Н,, "НапйЬоо)г о1 Ма1ег!а!з апй ТесЬп!циев 1ог Часиит Рсч!сеь", Ие!пЬо!д Ри(И!ьЬ!п6 СогрогаИоп, Хегч УогК 1967. 264. Реп ! оп, Е. А., "Зо!дег!п2 МапиаГ', Атег1сап %еЫ!п2 Бос!е1у, Хем Уог)г, 1959, 265.
В а г Ь ег, С. Ь., "Зо!йег, Ив Рипйатеп1а!в апд ()ьабе", 26 ей., Кеыег ЗоЫег Со., 1961. 266, Евре, »Ч., "Ма!ег!а!ь о1 Н!2Ь Насиит ТесЬпо1обу", чо!. 1, Рег2атоп Ргеьь, Хечг Уог1«, 1966. (Русский перевод: Эс не В., «Телнол кня злектрозакуумных матерна. лов». М. — Л., Госвнергонвдат, (1962)!.
267. Реп1о и, Е. А., "Вгагйпб МапиаГ', Агпег!сап %е!й!п2 Бос!е1у, Хеи УОГК !963. 268. См., например, й. Е. Реей-НЬИ "РЬув!са1 Ме!аИигбу Рг!пс!р!ев" Р. Чап Хоыгапд Сотраиу, !пс., Рг)исе(ои, Х, д., !964; В г1с2, И. М., ((. В. Сгогдоп, апд А. РЬ1!11рв, "З(гис(иге апй РгорегИез о! АИоуь", МсСггачг-Н!П ВооЬ Сотрапу, Хегч УогК !965. 269. СЬапн, %. Н., %е!й(п2 3., чо!. 35, гев. вирр!. 622 — 3, !956, 270. Ма!ег, Мейодв, 43 (1), 129 (1956). 271. Н о и «е Ь н е р е г, %. Сг., 3, Ат.
!пз(. Е!ес. Еп2гв, 42, 870 (1923). 272. КоЬ1,%., Часишп, 14, 333 (1964). 273, Е в р е, %., Часшнп, !6, ! (1966). 274. Ва! а)п, К. Б., Тгапз. 8й АЧЗ Зутр., 1961, р. !300. Регбатоп Ргем, Хем Уог1г. 275. Атепсап Часиит Зос!е(у, СоттЬИее оп З(апдагйв, д. Часиит Зс( ТесЬпо!., 3, !70 (1966), 276.
Ра г)«а за, 1., апд Е, 3. В а гг у, Тгапз. 81Ь АЧЗ Бутр., 1961, чо!. 1, р. 66, Рег2атои Ргем, Хеиг Уогн. 277. Й а игг у1а 2, И, А, 3. Насиит Бс( ТесЬпо1., 4, 364 (1967). 278. %Ь ее1ег, Н. И., Тгапв, !ОИг АЧЗ Зутр., !963, р, !59, ТЬе Маснд!- !ап Сотрайу, Хеиг УогЬ. 279. %Ь ее!ег, Н. )!., апд М, С а г)зон, Тгапв.
8й АЧБ Зутр., )961, р. 1309, Рег2атои Ргем, Хеиг Уогй 280. %! 1з о п, й. И., Иеч. Зс(. 1пв(г., 12, 91 (1941). Гл 2. Техикка высокого вакуума 281. С и! Ь г ! е, А., "Часшип ТесЬпо!оду", р, 380, ЗоЬп ЪЧПеу апй 5опз, 1пс., Хесч УогК, 1963. 282. НоЬьоп, Л. Р., Тгапв. 8!Ь АЧ5 5ушр,, 1961, чо!. 1, р. 26, ТЬе Мвс шП!ап Сошрапу, Хесе Уотк. 283. Кгаиз, Т., Тгапв. б!Ь АЧ5 Яушр., 1959, р. 204, Регкашоп Ргевв, Мест УогК.
284. О в у1о и, В, В., Тгапв. 81Ь АЧ5 5ушр., 1961, чо!. 1, р. 42, ТЬе Мас. гп1Пап Сошрапу, Хесе Уогй 285. Кгаив, Т., Тгаиь. 10(Ь АЧ5 Зутпр,, 1963, р. 77, ТЬе Маса!Пап Сотрапу, Иесч УогК. 286. НоЬвоп, 3. Р., Ех1. АЬь!г. 14!Ь АЧ5 буяр., 1967, р. 51, НегЫсК апй НеЫ Рг!пйпд Со., РП!зЬигкЬ, Ра. 287, ЕагпьЬа»; Л. Ыт., апй А Р. Нобвоп, 3. Чвсшип 5с(.
ТесЬпо1., 6, 19 (1968). 288. Ашегссвп Уасиит 5ос!е1у, Сошшй1ее оп 5(апйатйь, "С)извету о1 Теппв Узей (п Часииш ТесЬпо)оду", Регбашоп Ргеьв, Хесе УогК. 1958. 289. В тип пег, ЪЧ. Р., Зг., апй Т. Н, В а1в ег, "РгасПса! Часишп ТесЬ п!оиев", р. 77, йе!пЬоЫ РиЫ!ьЫп6 Согрога!!оп, Хесе УогК, 1965. 290. С г е 2 2, А, Н., апй Р, 3.
й е ! й. ЪЫе, 122, 171 (!966). 291, М а у п а г й, С. Р., Часишп, 15, 239.(1965). 292. Н ! с К т о 11, Т. %., ). Арр1. РЬуь., 31, 128 (!960). Ж3. Тот пег, 5, А., й. М. Р)сКатй, впй С. й, Но(!тпвп, 3. Вс1. 1пв1г 39, 26 (1962). 294. Но!!а ой, Ь., 3. 5с!.!пв(г., 39, 241 (1962). 295. Ай1ег,д, Е. М., 3. Часишп 5с!. ТесЬпо1., 2, 209 (1965). 296. йе! в(пкег, Й., Ва!хегь Н)дЬ Часииш 'йер!. Н, Аидов!, 1967. 297.
ЕврЬг(горо»!оь, й., апй Р. йе Т ай йее, Ттапв, Зй 1и!егп. Ъасиигп Сопдг., 1965, чо1, 2, 2 р. 373, Ретдагиоп Ргеьь, Месч УогК. 298. С ге 1 х, й. О., ч. Ъасшип Зсс. ТесЬпо!., 5, 49 (1968). 299, Уоип8, 3. й., апй Р. Р. Нева!оп, ), Часшпп Зс!. ТесЬпо!., 1, 65 (1964) .
300. В а ! ь е г, Т. Н., апс1 д. Р, й у а п, Тгапь. 10!Ь АЧ5 5ушр., 1963, р. 166, ТЛе МашпП!ап Соптрапу, Мест УогК. 301, Росчег, В, О., И. Т. М. Репи)в, апй ).. йе Свети а!оп у, Тгапв. 10!Ь АЧ5 Яушр., 1963, р, 141, 'ТЬе Масп»Пап Сошрапу, Мем УогК. 302. Но! !а ой, 1, Тгапь. 7!Ь АЧ5 5утр., !960, р. 168, Регдашоп Ргезв, Месч УогК. 303. Но!КеЬоег, ).. Н., Ргос. 4ра 1п!егп Часшпп Сопдг., !968, чо1. 1, р. 405, ТЬе 1пьП!и!е о! РЬуь!сз апй ТЬе РЬув)са! Зос!е!у, 1.опйоп 304.
Сазсче11, Н. 1., Тгапв. 6!Ь АЧЗ 5ушр., !959, р. 65, Рег9ашоп Ргеьв, Хесч УогК. 305. Воебе1, С, Р., апй 5 Л, ВаЬ)аК, Ех!. АЬМг. 13!Ь АЧ5 5успр., 1966, р. 129, НегМсК апй Не!й Рг(пйпк Со., Р11!вЬиг2Ь, Ра. 306. В! а Ь и т К, С, Е., д. Часишп 5с(, Тесйпо!., 4, 378 (1967). 307. ЪЧа хе пег, Л. %., апй Р. Т, Ма г1Ь, ). Арр( РЬув., 28, 1027 (1957). 308. К т г 1с е и й а 11, Т. О., Р.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
