Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 93
Текст из файла (страница 93)
%1! воп, Часиииг, 15, 353 (1965). 127. О аз, К. В., Ех1. АЬв(г. 141Ь АЧЯ Зубр., 1967, р. 161, НегЬ)с1г апд НеЫ Рг1пВпй Со., Р!!(яЬигйЬ, Ра. 128. Репи)пи, Р. М, РЬув)са, 4, 71 (1937). 129. й е д Ь е з д, Р. А., 3, Р. Н о Ь в о и, апд Е, Ч. К о г п е ! в е и, Адчап, Е!ес(гоп. РЬув., 17, 323 (1962). 130. б г а п 1, %. А., апд б. С а г1 е г, Часишп, 15, 477 (1965). 842 Список литературы 131, Т е1о у, Е., Тгапв.
Зй )п1егп, Часишп Сопбг., 1965, чо), 2. 3, р. 613, Регдатоп Ргезз, Хе~ч Уог)г. 132. Чагпег!п, 1.. Л,, апд Л. Н. СагпггсЬае!, Л, Арр1, РЬуз., 28, 9!3 (1957). 133. Бтеа(оп, О. Р., апд О. Саг(ег. Л. Часиит Бс$. Тесбпо!., 3, 208 (!966). 134. В (ой 9е1$, К, В., апй Т. А. Ча п бег ь1! се, Л. Арр!. РЬуь., 31, 1017 (!960). 135. АтЬг(дде, Т., А. К. Вау(у, К. Егепбь апд Сг Саг(ег, Часишп, 17, 329 (!967).
136 Ласс)ге1, К., апй Е. Те)оу, Тгапь 8!Ь АЧБ Бутр., !961, р. 406, ТЬе Мает)Пай Сотрапу, Хею Уог)с. 137. См. например (7]. 138. Н о 11 а и д, 1, 1.. 1. в и г е и з оп, апй М, Л, Р и 1)с е г, Часиигп, 16, 663 (1966). 139. В ! ! ! з, О О., 'Л. Часишп Бс). ТесЬпо)., 4, 149 ($967). 140. О а ч $ ь, К. Н., апс$ А. Б, О г ч а ! $ а, Кеч. Бс!. !пз(г., 26, 193 (1954). 141. Не гЬ, К. б., Ргос. !па!.
!п(егп. Чвссит Сопбг, 1958, чо), 1, р, 45, Регдатоп Ргезь, Хеъ УогЬ. 142. Б маг! х, Л. С., Тгапь 2й АЧБ Бутр., 1955, р. 83„регбатоп Ргеьв, Хе~ч Уог)г. 143. Ооид(аь, К. А., Л. 2аЬг)(ьЬ), апй К. О. НегЬ, Кеч, Бс!. )пв(г., 36, 1 ($965). 144. Ха(1г, Р. К., апй К. С.
НегЬ, Л. Часиигп Бс), ТесЬпо!., б, 42 (1968). 145. Ада т, Н., апд %. В а есЬ!ег, Тгапз. 8$5 АЧБ Бугпр,, 1961, р, 374, ТЬе )Ч(аспгП)ап Сотрапу, Хегч Уог1г. 146. М а 1!а )с а 1, Л, С., Ех1. АЬв(г. !4$Ь АЧБ Бутр., 1967, р. 89, НегЬгсб апд Не1й Рг]пбпг( Со., Р(ПвбигбЬ, Ра. 147.
Ь а $ $ е г 1 у, Л. М., апд Т. А. Ч а и й е г з 1!с е, Ргос. 1КЕ, 49, 1136 (!961). 148. Н а 1 1, $,. О., Кеч. Бс(, 1пз1г., 29, 367 (1958). 149. В ее сЬ1ег, %., Тгапз. Зй !п(егп. Часишп Согщг,, 1965, чо!. 2. 3, р. 609, Регбатоп Ргевв, Хечг УогК. 150. ЛасЬзоп, А, О, апд Т. )Ч. Наав, Л, Часишп Бс(. Тесбпо!., 3, 80 (1966). 151. В а и с е, $$.
К,, апй К. О. С г а! д, Часишп, 16, 647 (1966) 152 Лерееп К $, А. В. Гга по! в, Б. Ь. К и(Ьег(огй, апд В Е К]е(хтапп,' Тгапз. 7$5 АЧБ Бутр., 1960, р, 45, Регдатоо Ргеьв, Хем Уог(с. 153. С а г1е г, О., Тгапв. 9(Ь АЧБ Бутр., 1962, р.
351, ТЬе МаспППап Согпрапу, Хе~ч Уог)г. 154. Т о т. Т., апд В. О. Л а т е з, Л. Часиит Бс$. ТесЬпо1., 6, 304 (1969). 155. ВгиЬа)сег, )Ч. М., Тгапв. 6$Ь АЧБ Бугпр., $959, р, 302, Регдагпоп Ргеьз, Хеьч Уогн. 156. Наш)11оп, А. В., Тгапз. 8$Ь Л)ЧБ Бутр., 1961, р. 388, ТЬе МастП- !ап Согпрвпу, Хе~ч Уог)г. 157. Апд гехч, О., Часишп, 16, 653 (1966). 158. Н о 11 а п д, 1, М, Л Р и 1 Ь е г, апй $.. $. а и г е п з о п, Бирр( Хиочо С(теп(о, б, 242 (1967). 159. $ а топ 1, $.. Т., Лг., Ех$.
АЬь(г. 14$Ь АЧБ Бутр., 1967, р. 149, НегЫсЬ апд НеЫ Рг(пбпб Со., Р$$(вЬиг6Ь, Ра. 160. Ки1Ьег1огд, Б. $., Тгапз. 10$Ь АЧБ Бутр., 1963, р. 185, ТЬе Мас. пнПап Сотрапу, Хею УогЬ. 161. У о и п 8, Л. К., Л, Часиит Бс!. ТесЬпо)., 5, 102 (1968). 343 Гл. 2. Техника высокого вакуума 162. Кот!уа, 5., Н. За1о, апд С. Нв у авЬ1, Ех1. АЬзЬп 13й АЧБ Бутр» 1966, р. 19, НегЫс!г алд НеЫ Рг(п((ин Со., Р!$$збигнЬ, Ра.
!63, Наги!1(ой, А, й., Ех1. АЬз(г, 14й АЧБ Бутр., !967, р. 91, Нш'ЬЫК аид НеЫ Рг1п(!пи Со., Р!$(вбигкЬ, Ра, 164. Зер вел, й, 1., Ргос, 4й 1п1егп. Часиот Соибг,, 1968, чо!. 1, р. 317, ТЛе 1п*$!(и(е о$ РЬуз!св апд ТЬе РЬуз!са) Зос!е$у, 1опдоп. 165. Вго1Ьегв, С. Р., Т. Тот, апд О.
еи. М инго, Тгапз. !бй АЧБ Бутр., 1963, р. 202, ТЬе МаспиПап Сатрапу, Ь)еиг УогК 166. Мечг(оп, Б. %., апд 3. ОЬ)е!1!. Часиит, 16, 677 (1966). 167, Ке!1у, 3. Е., апд Т. А. Чапдегв! (се, Часиши, 11, 205 (!961). !68. % а г д, В. 3» апд 3. С. В ! ! 1, Часишп, 16, 659 (1966). 169. 1.!сЬ(та и, О., 3. Часиши Бс1, ТесЬпо1., 1, 23, (1964). 170. й1Ч(дгк 3. С., апд 3, О. А1!!изои, Часиши, 14, 97 (!964), 171. Обч(в, %, О., Тгапз. 9й АЧБ Зутр., 1962, р, 363, ТЬе Мастй1ап Сатрапу, Ь)ем ХогК. 172. 3 а е с К е 1, й., Тгаиз. 81Ь АЧБ Бутр., 1961, чо!. 1, р.
17, ТЬе Мвстб. 1ап Согирапу, Р)ем УогК 173. Паз ! и!, А, б., аид Р. й ! с с а, Тгапз. 8(Ь АЧ5 Зупзр. 1951, чо1. 1, р. !60, $Ье МаспйПап Соглраиу, Ь)ею УогК. 174. ЗасЬ$1ег, %. М. Н., Тгапз. Зд 1пгеги. Часииги Соибг., !965, чо1. 1, р. 41, Регбатоп Ргет, Яегч УогК.
175. См.. например, Тгарпе11, В. М. %., "СЬет!зор(!оп", Ви((егмаг(Ь алд Со. (РиЬПвЬегз), 1пс., Ьоидоп, !955., Русский перевод; Треп вел Б., еХомисорбцнн», М., ИЛ (1958) нлн . Р. НоЬвоп апд Р..А. йедЛеад !п Ргос, 4й !и(егп, Часити Сопдг., 1968, чо1. 1. р. 3, ТЬе 1пЫПШе о! РЬуысз апд ТЬе РЬув$са! Бос!е$у, 1.опдоп. 176. О!1!оп, 3.
А., Тгапз. 8й АЧБ Бутр., 1961, чо1, 1, р, 113, ТЬе Мастй!ап Сатрапу, Ь(ею УогК. 177. На1веу, б. О., Зг., Тгапв. 8й АЧБ Бугпр., 1961, чо!. 1, р, !!9, ТЬе Мастб!аи Сотрапу, Ь)еиг УогК. !78. ЕЬг)!сЬ, б., Тгапз 8$Ь АЧБ Бутр., 1961, чо!. 1, р. 126, ТЬв Мас тП!ап Сатрапу, Нем УогК. 179. Вес Лег, 3. А., Бо(Ы 5(а(е РЬуз., 7, 379 (!958), 180. Н и а и'й, А.
В., 3. Часишп Бс(. ТесЬпо!., 2, б (1965), !81. Н о Ь з о и, 3. Р., 3. Часиит Бс!. Тесбпо!., 3, 281 (!966). 182. О и в Ь т а и, Б., (б) . 183. Ь а п д т и ! г, 1., БЬет. йеч., $3, 147 (1933). 184. В г и п а и е г, Б., Р. Н, Е и| п1 е 1 $, вид Е, Т е! 1 е г, 3. Аги. СЬет.- Зос., 60, 309 (!938). 185. Райн по, Р., Ех$. АЬз(г. 13й АУБ Бутр., 1966, р. 103, НегЫсК апд Не!д Рг(иПик Со!,, Р!ПзЬигйЬ, Ра. 186. 1аЬлсКе, Е., злд Р. Ет де, "ТаЫез о1 Рипсбопз", 41Ь ед., р. 1, Оочег РиЫ(са1!опз, (пс., Ь)ею УогК, !945.
!87. бган!, %. А., айд б, Саг1ег, Часишп, $5, $3 (1965). !88. Егеп1в, К., %. Л. бгап$, лпд 3, Саг!ег, Часиит, !5, 529 (!965). 189. К аттег, О. ЪЧ., 3. Н, 1.ес1г, апс( Е, Е бои а1дзоп, Ех(, АЬз1г. 14й АЧБ Бутр., 1967, р, 121, НегЫсК апд НеЫ РНпбпд Со., Р!$(в. ЬигПЬ, Ра. 190. йедЬеад, Р. А., Тгапз. бй АЧБ Зутр., 1959, р. 12, Регдатоп Ргевв, Ь)еиг УогК. 191. й1сЬа г 6 в оп, О. М., апд й. Л, Б !геЬ1о и, Тгалв, 10$!г АЧБ Бутр. !963, р. 97, ТЬе Мает!!!ап Сатрапу, Ь)ечч УогК. Синова литературы 192.
)о в!, %., ТО(Ншюп (и Зо(Ыв, Ыои)дв, Оавев", Асадепйс Ргевв 1пс„ Хем Чогй, 1952. 193. См„например, Са ге! а чг, Н, 8., аий Л С. У а сбег, "СопдисНоп о1 Неа1 !и Зобйьи', р. 3!О, Ох1огд Оп(четь!(у Ргеьв, Ра(г Нами, Х. «' 195. [Русский перевод: Карело у Г. н Егер Д., «Теплопроводность твердых тел». М., «Наука» (1964)). 194. Сг а и К «., "ТЛе Ма!Ьетабсь о( ОИ(иь!оп", р, 45, Ох1огй Оп!четв!17 Ргеа, Ра!г Лег»и, Х, й., 1956. 195. Ьегч(п, О., Ех1. АЬь!г, 14!Ь АУЗ Зуар., 1967, р.
117, )!егЬ)сй апд Не1д Рг1пИпб Со., Р!1(вбигбЬ, Ра. 196. )(обегв, К. %. Тгапь. 101Ь АЧЗ Зутр» 1963, р, 84, ТЛе Мает!! ° !ап Согирапу, Хехч УогЫ 197. Е о гч, М. 1, Ь., апд Е. 8, А г 2 а п о, Л Часииа Зс(. ТесЬпо1., 8, 324 (1966). 198 Майи)х„Н. 3,, апй М, А. А!1еп, Тгапв. 10!Л АЧЗ Зуар» 1963, р. 197, ТЛе Масвб!ап Согпрапу, Хем УогЫ 199. Е ге п(ь, К., Н Р. %. Ьаувоп, впд О. С ах(ег, », Уасишп Зс). Тесбпо!., 4, 252 (1967). 200. Раг ге! 1, О., апй О.
Саг1ег, Часишп, 17, 15 (1967). 201. Р а г г е 1 1, О., %, А. О г а и 1, К, Е г е п 1 в, вид О, С а г 1 е г, 3. Частилп Зс!. Тесбпо(., 16, 295 (1966). 202. Коп)еч!с, й., %. А. Оса п1, апд О. Свг1ег, Часишп, 17, 501 (1967). 203. Тги Л)аг, 3, Р., апд Е. Е. 1)оиа)6 вон, Ех(, АЬв(г 14!Л АЧЗ Зутр, 1967, р.
119, НегЫсй апд Не!д Рг!ибод Со., Р1!1вбигбЛ, Ра. 204. Оау1оп, В. В., Тгапв. 6(Л АЧЗ Зутр» 1959, р. 101, Региатоп Ргеьь, Хейг Уогй. 205. 811 е гп о в е. Ч. О., д. Арр!. РЬуь» 82, 1309 (196Ц. 206. За11Ье11ь, С. д., "Оььев апд Ме(в!в", СЬартап апд НаИ, Ыд, 1.опдоп, 1937. 207. В а г ге г, ((. М., "ВН(иь!оп !и апд (ЬгоггдЬ Зобдь", р. 146, СавЬг!дсе Оп!четв)(у Ргеьь, 1,опдоп, 1951.
208. См. [6). 209, Авегкап Часииа Зос1е1у, Теп1абче 8(апдагд (ог Нерогбпб о1 Ои1. дава(пб Оа(а, Я. Частил Зс1. ТесЬпо!., 2, 314 (Ибб). 2!О. С г а гч !с у, О. Я., апд 1.. д е С ь е г й а 1 о п у, Часишп, 14, 7 (!964). 211. Р аг8 а ьв, !., "РгоЫетв о1 Ргодис!иб а С)еап Зиг1асе !п ОИга-Л18(г -Уасишп", ргеьеп1ед а1 ИЛе Зесопд Апииа! Зуароь!иа оп Рипдатеп 1а( Ма(ег(а(в )и Зс!епсев, Вов1оп, 1964.
212. Ра гй а в'в, 1., 1., д. Вон!в, апд С. %, Ноги, ргевеп1ед а1 1Ье е)е мепРЛ АЧЗ Зутров!ит, СЫсадо, 111., 1964; аЫо ПП«оп Рарег АЧЗ 64 213. Ра гйа вь, 1., РгоЫевв о1 Ргодис!пй а С)еап ЗиНасе Ьу Ои!9авмпй (и ОИга-Л!2Л Часиив, в кн. 1.. ». В оп)в апд Н. Н, Н а и ь п ег (едь >, ."Рипдааеп1а! РЛеиотепа гп Гпе Ма(еНь1э Зс1епсеь", чо!. 2, "Зиг1асе РЬепопгепа", Р)епшп Ргеьь, Хем Уогй, 1965; См.
также Ра г Лаев, 1., ).. 1. Во и (ь, аид О. %. Ноги, 1ИЬоп Рарег 1Ч 65. 214. НоЬьоп, 3. Р» апд 1. %. Еагивбачч, ». Часииа Зс!. Тесипо1» 4, 267 (1967). 215. Но! 1а пд, 1, "ТЫп Рба М(сгое1ес1гоась", р. 116, йобп %!!еу апд Зопь, 1пс., Хеи ЧогЫ 1965. [Русский перевод: Х о л л э н д Л., «Тонкопленочнав мнкроэлектро.
ника», М,,'«Мир», (1968). 216. Са1дег, )!., апд О. Еечч(п, Ек1. АЬЫг. 13(Ь АУЗ Зушр., 1966, р. 107, НегЫсй апд Не(6 Рг!пИиб Со., РПЫЬигбЛ, Ра. Гл. 2. Техника высокого вакуума 217, Р!есКеп, Р. А., апд Н. Сг, Хое!(ег, Тгапь, 81Ь АЧБ Бувр., !961, чо1, 1, р. 58, ТЬе Маспп!!ап Соврапу, Хесч уогК. 218. Ч а г а д Ь Р. Р., Тгапь. Врп АУБ 5уврь 1961, чо), 1, р, 73, ТЬе Мас. пийап Соврапу, Хесч УогК. 219. Жилннн В. С., Жнлннна Л. П. н Кузьмин А. А., Ргос. 4(Ь 1п1егп Часиигп Сопдг., 1968, чо). 2, р.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
