Фролов Е.С. - Вакуумная техника (1037534), страница 5
Текст из файла (страница 5)
Течеисяание — процесс обнаружения течей, Техника течеисканил — область техники выявления нарушений герметичности, связанных с наличием течей. Локализация течи — выделение не- герметичного участка н (илн) опреде. ление места расположения течи. Перекрылигз течи — прекращение или уменьшение потока вещества через течь вследствие ее закупорки нли деформации.
Контроль еерметичности — технический контроль с целью установления соответствия изделия норме герметичности. Рабочее тимслив — вещество, запоя. ншощее гермегиэироваииое иэделие при эксплуатации или храпении. Пробное вещество — вещество, проникновение которого через течь обнаруживают при течеискаиии.
Контрольная среда — среда, содержащая определенное холичество пробного вещества. 15 Пвинчнпнальнма какэимнма екамм ОБЩНЕ СВЕЕЕННЯ Балластное вещеснию — вещество, используемое для повышения полного давления с целью увеличения расхода пробного эещетлэа через течь. Индикаторное средство — индикатор, содержащий индикаторное вещество, его носитель ч (илн) технологнче. ские добавки. Бзщасныа-носитель — вещество, используемое для транспортирования пробного вещества к индикаторному средству. Индикаторное вещество — вещество, в результате взаимодействия которого с пробным веществом формируется сигнал о нели<ни течи. Онрессааса — выдержка изделия под избыточным давлением при течеискаини н (или) подготовке к нему.
Течеискатель — прибор или устрой-' ство для обнаружения течей. Масс-слактрометрический течеискавел» вЂ” течеискатель, действие которого основано иа обнаружении пробного вещества разделением его ионов по отношениям нх массы к заряду. Галовнный течеискатель — течь искатель, действие которого основано "иа обнаружении галогеносодержащего пробног9 вещества по увеличению эмиссии положительных ионов нагретой металлической поверхностью. Катараметрический течеискатель— течеискатель, действие которого основано на регистрации изменения теп.
лопроводности газовой среды прн поступлении в нее пробного вещества. Злектронно.захватный течеиска. тель — течеискатель, действие ното. рого основано не обнаружении пробных веществ, склонных к образованию отрицательных ионов. Манзмктринеский течеискатель— течеискатель, действие ноторого ос. иозаио на регистрации изменения дав.
пения. Злектроразрлдный течеискатель— течеискатель, действие которого ос. иоваио на обнаружении течи по возбуждению разряда или изменению его характеристик. Радиоактивный течеискатель течеискатель, действие которого основано на регистрации интенсивности излучения радиоактивного вещества. йкрктичаккий тгчзигввыль — тече. искатель, действие которого основано иа репгстрацин упругих колебаний, возбуждаемых при перетекаиии веществ через течи в герметизированиом изделии (при регистрации упругих колебаний ультразвукового диапазона допустимо применение термина «ультразвуковой»).
Калиброванная течь — устройство, воспроизводящее определенный рас. ход вещества череа течь. Обдрзалыль — устройство для соз. дания струн пробного газа или кон. трольиой среды и подачи ее иа поверхность герметкзнроваииого изделия прн течеискаиии. Щун течеискателя — устройство для сканирования поверхности герметиаированиого изделия при течеискаини. Уувствивельнасть течеискателя— отношение изменения сигнала течеискателя к вызывающему его изменению расхода пробного вещества через течи. Порок чуеснминыльности течеискателя — наименьший расход пробного вещества или наименьшее изменение давлении, регистрируемые теченскателем.
Постоянная времени натекания произведение объема изделия на отношение разности давлений по обе стороны от течи к расходу вещества через течь. 1.3. Усяовиые проходы элементов вакуумных систем Номинальные условные проходы установлены ГОСТ 18626 †(СТ СЗВ 1078 †), который распространяется иа элементы вакуумного оборудования и вакуумных систем, работающих в диапазоне давлений от !0э до 10 ь Па. !. Номинальные условные проходы для средств получения вакуума (иа. сосы, агрегаты, ...), элементов вакуумных систем (клапаны, ловушки, натенатели, ...) н флаицевых соединений маиомкгрическнх преобразователей, вакуумных анодов должны соответствовать ряду нормальных линейных размеров йаб по ГОСТ 6б36 — 69 (СТ СЭВ 514 — 77): 10; 15; 25; 40; 63; 100; 160; 250; 400; 630; 1000; 1600; 2500; 4000; б300 мм.
Пример обозначения условного прокола 100 мы: ()г100. 2. Лля специальных технологических конструкций вакуумных установок, систем (напрнмер, фланцезых, штуцерных соединений и элементов трубопроводов) допускается применять номинальные условные проходы ряда )(а10; 8; !2; 20; 32; 50; 80; 125; 200; 320; 500; 800; 1250; 3150; 5000 мм.
1.4. Принципиальные вакуумные схемы Правила выполнения принципиальных вакуумных схем регламентированы ГОСТ 2.797 — 81 (СТ СЭВ 2517 †). На принципиальной схеме изображают все вакуумные элементы илн устройства, необходимые для реализации и контроля в установке заданных вакуумных процессов, н все заку мные связи между ними. ементы и устройства на принципиальной вакуумной схеме изображают с помощью условных графических обозначений в соответствии с ГОСТ 2.721 †, ГОСТ 2.784 †, ГОСТ 2.785 — 70, ГОСТ 2.787 — 71, ГОСТ 2.795 — 81, ГОСТ 2.797 — 81 (табл. 1.!). Размеры основных графических обозначений элементов по схемам вакуумных систем приведены в табл.
1.2. Вакуумные связи изображают с помощью линий связи, трубопроводы на схеме показывают сплошными основными линиями, независимо от функционального назначения. Каждый элемент (устройство) вакуумной системы, изображенный иа схеме, должен иметь буквенно-цифро. все позиционное обозначение, состояпгее из буквенного обозначения (кода), соответствующего виду элемента, и порядкового номера, проставляемого после буквенного кода.
Буквенный код элемента (устройства) должен включать одну прописную букву (общий буквенный код — обязательный) или несколько прописных букв латинского алфавита. Первая буква кода элемента (общий буквенный код) должна соответствовать виду группы элементов, к которой принадлежит данный элемент (например, клапан тарельчатый т7Т принадлежит к клапанам вида Ч), Буквейные коды наиболее распространенных видов элементов (уст- ройств приведены ниже: Устройство (общее обозначе- ние) Насос вакуумный: механический вращательный объемный беа газобалласта вращательный объемный газобалластный двухроторный (насос Рутса) 'турбомолекулярный водоксльцевой, стр уйн ый зжекторный диффузионный сорбцнонный адсорбпионный нспарительный гетгерный. хрносорбцнонный испарнтельный ионный.
магнитный электроразрядный крногеииый комбинированный Лавушка (отражатель); охлаждаемая циркуляцией жидкости охлаждаемая воздухам . охлаждаемая жидкостью, заливаемой в резервуар термоэлектрическая сорбциоиная ионная Вакуумметр: деформациоиный . жидкостный ионнзациоииый магнитный влектроразрядиый тепловой Течеискатель Масс-спектрометр Камера; вакуумная колпак вакуумный прогреваемая часть вакуумной системы Вентиль, клапан, затвор: тарельчатый (дисковый) регулировочный, дозирующий .
с ручным приводом с дистанционным управлеииеы с пиевмо- нли гидроприводом с влектромагинтным прнводом с электроприводом А 5)1 )г))( Х1. )92 )9й )9% ХВ 5(Н 5()) )98 5)А 5)О )(С 5(Е КМ )9К 5)Р В% ВА ВБ ВТ ВБ ВЕ Р)) Р1 РА РМ РТ О $ СЧ Сг) СТ ч7Т УР ЧП Чй ЧР ЧЕ ЧМ оищил спидимия Рд При»Чаи»седее» есиууии»е ееел» Таблица 1! Усиоеисе графическое еасбражееие собра»еаза .» !з ю с ф Ц ф в е! ФФ9 Ф6Ф д! е! Ед бд г) Течеискатель б уу самед! ПЙН4й ~й=Ю 6 а! щ б! Вис»еат веауу»еев све»» Насос вакуумный. Общее назначение Примечание, Стрелки можно не изображать, если зто не приведет к неправильному пониманию обозна- чения Насос вакуумный механический: а — общее назначение б — вращательный объемный (пластин чато.роторный, пласгннчатостгтариый, плунжерный) без газо- балласта и газабалласгный з — двухргторный (насос Ругов) е — турбомолекулярный д — водокольцевой в — вращательный объемный, трех- ступенчатый Насос вакуумный сорбцианный: а — общее обозначение б — адсорбцноиный е — нспарнтельный гегтерный и — криосарбпнонный д — испарительпый ионный в — магнитный влектроразрядный аи — криогенный е — комбинированный (камбнна.
цяи геттерного и магнитного влек. троразряднога насосов, размещенных в едином корпусе) Примечание. Вместо знака х можно указывать химическую формулу сорбента д! п е! и Ловушка (отражатель) ! а — общее обозначение б — охлаждаемая циркулирующей жидкостью з — охлаждаемая воздухом г — охлаждаемая жидкостью, аалнваемой в резервуар д — термоэлектрическая е — сорбцяонная ас — ванная Примечание. Вместо анака х можно указывать температуру охлаждаемой поверхности Вакуумметр: а — общее обозначенве б — дефор мационный в — жидкостный а — ионизацноиный д — магнитный влектроразрядный е — тепловой Камера вакуумная: в — общее обозначение б — колпак вакуумный з — прогреваеман часть вакуумной системы Продолжение табл, 1.1 19 оыцин снндинин )В Првкввлееьькмь ьскурлвмь схьлм Элемент векуумвоа схемы условвое греэеческьм вьоаремевве Условвое грейвееское ввобривевве Влемевт еевуумвоа схемы Сосуд Дьюара: ' а — открытые 6 — закрытый О Трубопровод вакуумный П р н м е ч а н и е.