Фролов Е.С. - Вакуумная техника (1037534), страница 4
Текст из файла (страница 4)
Измерительный арвоораэоватвль давления — первичный измерительный преобразователь, воспринимающий непосредственно измеряемое давление и преобразующий его в другую физическую величину. Открытый ирвобразсватвль давления — преобразователь давления, электродная система которого не имеет герметизированного корпуса и (илн) проводимость между центром электродной системы и входным сечением присоедннительиого патрубка равна или превышает 2 !О з мз/с. Закрытый преобразователь давке. иия — преобразоватечь давления, электродная система которого заключена в герметизнрованный корпус и проводимость между ее центром и выходным сечением прнсоедннительного натрубив меньше 2 (О в мз)с.
Ичмврииюльиый блок вакуумметра— часть вакуумметра, ксггорая предназначена для выработки сигнала измерн. тельной информации в форме, доступной для непосредственного восприятия наблюдателем, и содержит блан питания н все электрические цепи, необходимые для работы прибора. Овичвтиов устройство вакуум- метра — часть измерительного блока вакуумметра, предназначенного для регистрации значений измеряемого параметра. Масс-совктромвтр — прибор для количественного и (или) качественного определения состава и структуры веществ, научения физико-хнмическях процессов и явлений по масс-спектрам этих веществ.
Индикатор с разрядной трубкой— прозрачная гаэоразрядиая трубка, позволяющая по цвету и форме свечения разряда определить вид газа и его давление. Жиокостиый вакууммвтр — вакуумметр полного давления, действие которого основано иа уравновешивании измеряемого давления нлн раз. ОБЩИЕ СВЕЛЕНИЯ Геяяыие и Онаеее иняз ности давлений давлениеы столба жидкости. \3-образный вакуумметр — жидкостный вакуунметр, состоящий из сообщающихся сосудов, давление в которых определяют по одному нлн нескольким уровням жидкости. Дефорлационный еакуумметр вакуумметр полного давления, дейст.
вие которого основано нз зависимости деформации чувствительного элемента нлн развиваемой им силы от измеряемого давления. Мембранный еакуумметр — деформациоиный вакуумметр, в котором чувствительным элементом ивляется мембрана нлн мембранная коробка. Компрессионный еакуумметр жидкостный вакуумметр, в котором для измерения давления разреженного газа последний предварительно сжимается. Влэкостиый еакруммапр — вакуум- метр полного давления, действие ко. торого основано на зависимости вяв.
кости разреженного газа от скорости движения в нем твердого тела и измеряемого давления. Теллоеой вакуумметр — вакуумметр полного, давления, действие которого основано на зависимости теплопроводности разреженного газа от давления. Термоларный еакуумметр — тепловой вакууммегр, в котором использована зависимость электродвнжущей силы термопары от измеряемого давления. Вакуумметр солротиеления — тепловой вакуумметр, действие которого основано иа зависиьтсти электрического сопротивления иагреваемого током элемента от давления газа.
Термомолекулярный еакуумметр— вакуумметр полного давления, действие которого основано иа передаче чувствительному элементу суммарного импульса молекул газа, отражающихся от поверхностей с различными темпера. ту >ами. онизацизнный еакцуммзтр — вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости нои. ного тока, возникшего в газе в результате иоиизации молекул разреженного газа, от давления. Радиоиэотонный ионизационный еакуумметр — иоиизациоиный вакуум.
метр, в котором для иоиизации газа применяют излучение радиоактивных источников. Магнитный электроратрядный еакурмметр — ионизациониый вакуум. ме1р, действие которого основано иа зависимости ионного тока электрнче. ского разряда в магнитном поле от измеряемого давления. Вакуумметр Пеннинза — магнитный электрораэрядный вакууммегр, в преобразователе которого один из электродов состоит иэ двух соединенных между собой пластин, а другой ~обычно анод1 помещен между ними и имеет форму замкнутой рамки; при этом направление магнитного поля перпендикулярно плоскости анодной рамки. Электронный ионизационный за. крумметр — ионизациониый вакуум. метр, в преобразователе которого газ ионизируется электронами, ускоряв.
мыми электрическим полем. Этктронный ионизационный вакрумметр с осевым коллектором электронный ионнзационный вакуум- метр с уменьшенным фоновым давлением благодаря, использованию в качестве коллектора ионов тонкой проволоки, помещенной соосно с цилиндрической сеткой, и укрепленного снаружи сетки катода. Экстракторный еакуумметр электронный иониэациоииый вакуум. метр, в преобразователе которого фоновой ток уменьшен использованием в качестве коллектора ионов короткой и тонкой проволоки, находящейся иа оси анода и выведенной из области ионнзацин. Электронный ионизационный еа.
куумметр с мознитным нолем — алек. тронный ионнзацноиный вакууммегр, преобразователь давления которого представляет собой цилиндрический магнетрои, в котором под действием магнитного поля увеличены траекто. рия электронов н число образующихся ионов. Радиочастотный масс.сгыктромеглр — масс-спектромегр, в котором ноны разделяются в радиочастотном продольном электрическом поле, образованном последовательно расположеииымн сетчатыми электродамн (радиочастотными каскадами); прн этом к коллектору проходят только ионы, ускоренные в радиочастотных каскадах.
Квадрулольный масс-спектрометр— масс-сне ктрометр, в котором ионы разделяются в высокочастотном электрическом поле анализатора, образованного четырьмя параллельнымн цилиндрическими электродами. Монополярный масс-спектрометр— масс-спектрометр, в котором ионы разделяются в высокочастотном влектрическом поле аналиаатора, состоящего из двух электродов, Масс-слектраметр с магнитным отклонением — масс-спектромегр, в котором ускоренные ноны, имеющие равные массы, под действием магнитного поля движутся по различным круговым траекториям.
Цикзоидальный мисс-спектра. метр — масс-спектрометр, в котором ионы разделяются скрещенными электрическим и магнитным полями, в которых они следуют по различным циклоидиым траекториям, в результате чего ионы фокусируются в разных точках в зависимости от отношения массы к заряду.
Омегатронный масс-саетпрометр— масс-спектрометр, в котором ионы разделяются при движении по спиральным траекториям, в радиочастотном электрическом и постоянном магнитном полях, перпендикулярных одно другому. Времялролетиый масс.слектрометр — масс.спектрометр, в котором гаа понизируется электронным пучком с импульсной модуляцией, и ускоряющиеся в пространстве дрейфа ноны разделяются по времени прибытия иэ кол. лектор в зависимости от отношения массы иона к заряда. Диапазон измерений закуумметра— область давлений, в который нормированы допускаемые погрешности измерений. Чуеспыительность еакуумметра— отношение изменения сигнала иа выходе вакуумметра к вызывающему его изменению давления.
Экеизатнтное азотное давление давление чистого азота, которое давало бы показание вакуумметра, равное показанию, вызванному воздействующим иа него газом. Фоновое дазтниз заяуумметра — ус- ловиое давление чистого азота. соответствующее такому же показанию иоиизапиониого вакуумметра, как при остаточном токе, независящем отдавления. Техника теченскання Герметичность — свойство изделия нли его элементов, исключающее проникновение через иих газообразных п (или) жидких веществ. Течь — канал или пористый участок изделия или его элементов, нарушающий их герметичность. Степень негерметичности изделия— характеристика герметиэироваииого изделия, определяемая суммарным расходом вещества через течи.
Норма герметичности изделия наибольший суммарный расход вещества через течи герметнзироваиного из. делив, обеспечивающий его работоспособное состояние и установленный нормативно-технической документацией. Натекание — проникновение вещества через течи внутрь герметизированиого изделия под действием перепада полного или парциального давления. ,Уличка — проникновение вещества нз герметиэированного изделия через течи под действием перепада полного нлн парцнальиого давления.