Фролов Е.С. - Вакуумная техника (1037534), страница 35
Текст из файла (страница 35)
стий в соплах подбирают так, чтобы ыаряду с достаточиой задержкой по. ступлеиия воздуха была обеспечеиз иеооходимая проводимость устройства, которая для рассматриваемой схемы составляет (3...4) 1О э ма/с при среднем давлении в системе 7,5 Па. На рис. 7.20, б дана схема защитного устроиства, действие которого осиоваио иа прииципе торможеиия потока. Прк прорыве атмосферкого воздуха со атаровы техиологическога обарудоваиии али ЦФС гзэ некоторое время изкапливается в камере 2 блока зэдервски.
В области электрораэрядиого датчика / дазлеиие в момент прорыва увеличи. веется практически мгиовеиио до 5... 8 Па. При атом появляется разряд ц срабатывает тиристориое спусковое устройство в блоке управлеиия защитой, освобождая стопор 4 крапа Ю, который перекрывает форвакуумиую магистраль. Время срабатывания устройства 4...7 мс. В устройстве. В.
С. Кондрашева (рис. 7,20, и) испалыительиым элемептоы с высоким быстродействием служит сэободио висящая заслонка /, эыполэеэизя из очень тонкой и прачиой полиэталеитерефталатиой пленки толщиной 10 ..!2 мкм. Пад действием удариой возим заслоика мгиовеаио прижимаетсз к перегородке 2 илв 8 (в зависи"асти от направления потока) с мела """ш сквоэиыми отверстиями и перермзэет поток иа время, достаточиое "аа закрытия аварийиого клапана 4.
Суммэриза проводимость отверстий в перегородках близка проводимости входиого отверстия узла задержки, поэтому последний практически ие сиижает общей проводимости вакуумной системы в период нормальной (безэиарийиой) откачки. Сигнал для закрытия аварийного клапаиа поступает от электрораарядиого безыиерциоииога датчики 5. Так как узел задержки рассчитан иа защиту от прорыва виезапынх потоков противопалажиаго иаправлеиия, поиията симметркчиая отиосятельио заслоики коиструкция, в каждой цоловиие которой устаиазлеи независимый сигиализирующкй Лшчик„ На этом принципе осиазэкы устройства защиты типа СЗ-80 и СЗ-32, техкическые характеристики которых приведеин в табл.
7.16. Для иапуска в взкуумиые сисгемы воздуха и иеагрессиэиых газов при давлении (0,85...1,05) 10' Па применяют серийиые напускные проходные клапаны типа КМПН с электромагнитиым приводом. Техиическэя хзракте. ристика клапаиав этого типа приведена "ФР Мввннв венин вннэзлив» вввд» 172 Таблица 7.!8 механические вакуумные насосы, прн отключении электроэнергии. Клапаны работают от импульса электрического тока и потребляют электроэнергию только в момент срабатывания, Знвнвннв дврв- нвтрв для клвввяв Пвзв»етр ЦМАН.4 кмдн-!а !О 75 4 100 1!у, мм Средний ресурс гмс.
циклов гзбзритные раз- меры, мм ОХ55Х Х 150 90Х55Х Х 150 П р и и е ч а н и е. Для укаэанных клапанов: лоток нвтекаиня ие более 7,5.10 в Па мв1с; время срабатынания !с;мощиосл 25 Вт; иапряжение 220 В; наработка на отказ 2000 циклов. 1'л а в а 8. Конструнцнонные элементы вакуумных устанонои 8 1. Механические вакуумные вводы через сплошную стенву вакуумной яамеры (29, 35]. Принципиальные схемм вакуумныи вводов приведены в табл. 8.1.
Основные элементы механизма передачи движения через отверстне— сплошной вал или шток, проходящий из окружшащей среды с атмосферным Для передачи движения механизмам " Узлам, иакодящимся в вакуумныв камерах технологических установок, используют вакуумные вводы. Движе"ие в вакуумную камеру можно пере. девать через отверстие в стенке или ЗЛ ПОРНО-РЛГ7УЛПРЭГ7ОЩЛ Д ДППЛ РЛ УУГЕЛ Рис. 7.22. Рвспртдвлиг лви» ° устройства ввтиых ив»ею 7, 2 — валвтниковыв дневи: 4 — гнездо; 4 — изслвннв; 4 — пружине в табл.
7.!7. Клапан (рис. 7.21) имеет корпус 1 с фланцами 2 и седло, герметн. зируемое резиновым уплотиителем 8, который закреплен иа икаре б. Между якорем б и магиитопроводом б катушки 7 злектромагнита размещена возвратная пружина 4. При пропускаиии тока через катушку 7 сердечник якоря б втягивается, сжимая пружину 4, н открывает проход для иапускаемого газа. При отсутствии тока под действием пружины 4 сердечник воззращаекя в исходное положение, проходное отверстие перекрывается с усилием, развиваемым уплотиительиой пружиной. Питание к электромагниту подается через электрический разъем 8.
Клапаны можно эксплуатировать в любам пространственном полажеиян. В качестве аварийно-напускных исяользуют клапаны типа КМАН с электромагнитным приводом. (табл. 7.18). Их применяют для иапуска газов в вакуумные сисшмы, в частности в 7.8. Распределительные устройства Распределительные устройства являются коммутирующими элементами мнагопозициониых карусельных откачиых машин и представляют собой прнжатме одна к другому диски 1, 2 с притертыми поверхностями. В конструкции распределительного устройства. показаииого иа рис.
7.22, а, диск 1 неподвижен, а диск 2 периодически , поворачивается каруселью откачиой машины. Прн неподвижной карусели отверстия дисков совмещены, н откач. яые гнезда 3 через образовавшиеся в распределительном устройстве сквозные каналы сообщаются с вакуумной системой или с системой иапуска рабочего газа. Распределительные устройства откачиых машин различают по форме поверхностей шлнфа (плоскне— рнс. 7.22, а — е, сферические рис. 7.22, г) и по способу осуществле. иия уплотнения разъема (в виде коль. цевых лроточек — рис.
7.22, а, б) и кольцевых масляных затворов (рис. 7.22, е, в). Более надежное уплат. пение мажет быть достигнуто при ком. бинацин периферийного масляного затвора и канавок с промежуточной откачкой. В некоторых случаях для повышения надежности прилегания дисков подвижнмй диск поджимают пружинами б. Диски изготовляют из стали 20Х, цемеитозаиной и закаленной. Рабочие поверхиостн дисков притярают. Таблица 8.! Способ передачи движения м;!о Н. и(ы н, с-' р, Пе !О-а 70 Пла- стичное Сальнн- ковое Через отверстие в стенке ! 15 ' 10 ° Комби- ннро- ванное 10 !О-е Капал. лярное 0,2 Через отверстие в стенке )Кид- костное Снфон- иое И)-а 10-е Импел- лерное 70 100 Приипнпиеяьиея сиама Ориентировочные допускаемые значения Особенности передача Уплотнители — фторопласт, асбест, вакуумные резины.
Недоста. ток — необходимость пернодиче. ского поджнма сальника Высокие вакуумные свойства зластомеров в сочетании с каким-либо устройством (антимкграционные пояски, кольцевые сорбцнонные ловушки, поджимы н др,), позволяющим уменынить поток выделяющихся яхн иатехающях газов Явление капиллярности позволяег уплотняющей жидкости удерживать атмосферное давление. Применяют хорошо смачивающне жнд. кости, в частности, легкоплавкие металлы и сплавы (ртутеч галлий, индий, олово, сплав, содержащий 62 5ей йа 21,52е 1п, 16е(е Бп и др) Гидростатическое давление столба жидкости компенсирует разность давлений в сообщающихся сосудах. Для уменьшения размеров предусмотрена форвакуумная по.
лость. Работает только в вертикальном положении Включает устройства для принудительной подачи жидкости к краю илн середине зазора, где иято. днтся резервуар с этой жндкоглью. Необходимы дополаитель. ные уплотнения для обеспечения герметичности в статических уело. виях Увдстеееве Соособ осрсдсче двемсяея м,. уо-', Н. и/и Ввд Гндро- руй- )Кид- костное Через от- верстие в стенке Коническое смазы- ваемое уу уу о Ф о уч )О Д ффу Газ боб. разное зиоиио шел евое у у 5 .у гм Ц ' труг чатое упругодсфор" мнруе- мое Пусувявввсдьесв сисис ЛЕЕВ~ ~~юд- Орвсе«еросочевс дооуснссммс сесчсвес Продолжение табл. 8.1 Оссбсеяостя осрсдсчв Струя уплотияющей жидкости вытекает нз кольцевого сопла„перекрывает зазор н исключает цроннкновеиие воздуха в вакуумную . камеру.
Вал имеет специальное профнлироваииое утолщение,обеспечивающее непрерывность струн у края зазора Притертое коническое соединение с использованием вакуумного мас- ла Ограничение газового потока (дифференциальная откачка при бы. отроге откйчкн 5» 5м ..., 5о г), проходящего через зааор между отверсткем и валом Принцип пневматических пружин (трубок Бурдона).
При подаче знергоиосителя (воздуха или жидкости) с повышенным давлением во внутреннюю полость трубки оиа стремится выпрямиться, н ко. иеп трубки, являющийся ведомым звеном механизма, совершает движение по определенной траектории и о ч а м хс Продолжение табл, 8.1 Оряснтнроначиыс Аопусиаемыс значения Уплсчненяс Особенности передачи Сносна передачи дэнжсния Прияиипинльиая схема М ° 10 ', о' Н. м!и и, Пс л,с-с Тип 10 э 50 Мембраны из эластомериых мате.
риалов 1часто иэ вакуумной ре- зины) Мем. бранное С властичиой стенкой Через сплошную стенку 0,05 10 ' 50 Магнит- ное С жест- кой стенкой 10-с 100 0,05 Элек- трома- гнитное Ваку Через сплош иую стенку Элек- троста- тиче- ское 10-а 0,03 Принпип магнитного притяжения разноименных полюсов постоянных магнитов, разделенных не- магнитной герметивярующей стен. кой, один иэ которых закреплен на ведущем валу в атмосфере, а другой — ка ведомом валу в ва- кууме Приндип коротковамкнутого асинхронного двигателя, у которого ротор с валом отделены от статора и атмосферы герметичной стенкой нз материала с ннзкимн электрической проводимостью и магнитной проиидаемостью Электростатическое взаимодей.
стане во вращающемся электростатическом поле в статоре нли при подведении постоянного потеипиала л вращающемуся многолепестковому ведущему валу при наличии ведомого вала подобной формы П р им еч а и не. д — частота вржцеиия нли число возвратно-поступательных движений в единицу времени; М о— отиосательный крутягцнй момент, Н м/м (отношение передаваемого момента к диаметру наиболее удаленной вращающейся илн колеблющейся точки). рс О га 'и эч О м сч о и о с И Ф 6 ел»аз»»е» мед» !80 кансткккцноннык злнмянты алкккмных кстлнавок 18! /О " з 1 т у е 5 а 7 Рлс.
З. ь Сель»ел»еыя ееоа езлженнл с»ел»етом» у»лот»елее» давлением и передающий требуемое усилие или крутящий момент, и уплотнение, герметианрующее зазор между отверстием н подвижным взлом. Механические вакуумные вводы для передачи движения череа отверстие применяют обычно в динамических вакуумных системах, тах ках они обладают значительным газовыделением. Эти вводы позволяют передавать прахтнчески любые усилия н крутящие моменты н обеспечивать высокие хинематичесхую точность и жесткость. Наиболее широко используют вакуумныр вводы с сальниковыми уплотнениями, реже — с жидкостными и газообразными.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
