Фролов Е.С. - Вакуумная техника (1037534), страница 37
Текст из файла (страница 37)
Угол поворота отсчиты пают по шкале; положение образца может быть зафиксировано винтом !2 Комбинированный манипулятор обеспечивает перемещение образцов по осям к, у, к (рис. 8.11, а), попо»рот иа угол а, а также вржценяе на 360 . Длр враще. ния образцов предназначея маиипулвтор врыцення ! (по конструкции идентичный показанному на рис. 8.10)— Рнс.
8.11, б. Манипулятор перемещения 12 с приводным маховичком я шкалой отсчета на штоке 11 позволяет перемещать образец в вертикальном исправления. Движение в направлении осей к и Р обеспечивает каретка !О, перемещаемая по поверхности Б с помощью винта 8 н пружинного подпора б. Угловые движения образца определяются движением сферической шайбы 3 по сферической поверхности жн .з каретки с помощью винта Р и прупиного подпора 4. Для герметизации 2, "апипулятора предназначен снльфон ' На фланце 6 манипулятора возможна установка и других элементов, наприие ер электрического ввода 7.
Электрические вакуумные вводы служат для подачи электропитания к нагревательным устройствам, датчикам, двигателям' н другим объектам, расположенным в вакуумных камерах. ИХ подсоединяют к вакуумным камерам стандартными вакуумными соединенинми. Материал для токоподводящих элементов и изоляторов, а также вид вакуумного уплотнения выбирают всоответствии с конкретными условиями эксплуатации: наяряжепием, силой тока, частотой н температурой ввода. В зависимости от электрических параметров ввадм подразделяют на низковольтные («сильиоточные» и «слаботочиые»), высоковольтные и высокочастотные. Конструкции электрических вводов показаны на рис.8.12.
Плотность тока низковольтных (до 250 В) иеохлаждаемых вводов пе должна пре- Эаситритсаиие аииэеииис ассам 186 констрркинонные элементы влкррмных астлновок 187 Таблица 82 4 ~ 4 Б 14 20 18 560 20 10 ~!О ~ 10 ( !О) 4 Ь 7 — 2 45 РО 27 24 ) 24 )— 560 560 е) Рис. а.!Э. Варианты вэвитрвчсскик вводов 560 вышать: для меди и стали 5, для алюминия 4, для никеля и молибдена 3 Аlммв. Конструкция разборного сильноточного ввода (до нескольких десятков ампер) показана иа рис.
8.12,а. Изолирующими и уплотняющнми влементами между шпилькой н фланцем 7 в таких вводах являются резиновое кольца 3 н втулка 2. Низковольтные вводы, предназна. ченные для пропускания тока силой более 100 А, как Правило, снабжают водяным охлаждением токоввода ! (рис. 8.12, б). При этом плотность тока не должна превышать 10...12 А1мм ° уплотняющими и изолирующими эле' ментами являются кольцо 2 н вту"' ка 3. Вааууммсм сама 189 188 КОНСТРУКЦИОННЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК га ' МЮ Таблица 83 ТВ 10 1В В э Е,з 'гд газ(м' Рмс. ЗЛЗ.
Сосхмамтсаь тмяа ЗРМГ Для прогреваемых высоковакуумных установок используют металлоке. рамнческне вводы (рис. 8.12, з). состоящие из штыря 3 н керамичесной трубки Д к концам которой вануумноплстно припаяны втулки 2 нз козара. Пайку выполняют твердьши припоями з вакуумных или водородных печах. Ввод с помощью переходной втулки прнваривзют к фланцу. Конструктивные размеры, мм, металлокерамических взодоз, применяемых при напряжении 4 кВ и силе тока соответственно 35, 250 н 850 А, приведены ниже: О, ...........
510!5 04,........., 20;45;55 Оз ... °....... 22;46;57 В ........... 35;40;45 У.мкч........... 30; 50; 50 7~........... 8:,8 8 П р и и е ч а н и я 1. Размеры в миллиметрах. 2. Резьба О левая. 3. При диаметре контактов 1,0 н 1,5 мм длина 5 =- 26 мм, при диаметре контактов 2 н 3 мм — 5= 28 мм. Металлостеклянные вводы (рис. 8.!2 з), используемые в электровакуумном приборостроении, представляют собой вакуумно-плотные спаи стеклянного элемента 2 с металлическим элементом 1 я переходной втулкой 3. Для металло.
стеклянных вводов наиболее часто используют платинит, ковар, воль. фрам. Примевяют также многоштырь. козые вводы, расположенные иа единоч изоляторе или в одном фланца (рис. 8. б, д). Высоковольтные вводы (рис. 8.!2, е) применяют при напряжении более 250 В, а также при необходимости исключить утечки в измерительных цепях. При напряжении больше 1,5 кВ изоляторы 7 выполняют ребристыми для увеличения площади изолирующей поверхности. Для защиты изолирую.
щнх поверхностей от пыли устанавливают экраны 2. Высокочастотные вакуумные вводы (рис. 8.12, ж) используют для подвода тока высокой. частоты (свыше 1500 Гц) к нндуктору, помещенному в вакуумной камере. Такой ввод состоит из фланца 2, к которому приварена втул. ка 3. В керамической изолирующей шайбе 4, вакуумно-плотно припаянной к втулке, имеется два отверстия, через которые введены концы трубок индуктора!.
Через них подается ток высокой частоты и вода для охлаждения. Часто высокочастотные вводы конст. руктивно выполняют коакснальными для уменьшения потерь энергии. В цепях с наприжением до 700 В постоянного и переменного тока я частотой до 3 МГц применяют вакуум. но-плотные серийные соединители типа 2РМГ, Они имеют блочные герметичные вилки и сочленяются с кабельными иегерметнчными розетками соедините. лей типа 2РМ. Блочные и кабельные части соединителей могут быть без патрубка и с прямым патрубком Кабельнце части имеют прямые или угловые патрубки.
Техническая харак' теристика соединителей 2РМГ дана э табл. 8.2. Размеры блочной части сошщ' яителей без патрубка (рис. 8.13) пря' ведены в табл. 8.3. условия эксплуа тации: температура окружающей среды 2!3...473 К; перепад давлений 1.5 )( Х 1ба Па. 8 4. Вакуумные окна Вакуумные окна служат для пропусхания излучений (видимого света, инфракрасного, ультрафиолетового, рентгеновского, гамма-, альфа-, бета-нейтронного) из вакуумной камеры в окружающее пространство (илн нз окружающего пространства в камеру) без нарушения вакуумных условий.
Окна должны удовлетворять следующим требованиям: выдерживать перепады давлений; допускать применение уплотнений без образования течей; не пропускать нежелательные виды язлучений; обладать высокой устойчивостью к воздействиям, вызывающим изменение прозрачности. Окна изготовляют в виде плоских вли выпуклых пластин и закрепляют на вакуумных камерах с помощью уплотнений, обычно используемых в вакуумной технике н электровакуум. нем приборостроении.
Некоторые спепиальные уплотнения рассмотрены в работе (38). Материалы, применнемые для изготовления окон при излучении различных видов, указаны в табл. 8.4. Зависимость прозрачности стекла от энергии электронов приведена ва рис. 8.!4. Окна для пропускания видимого света (смотровые) используют в вакуумно-технических установках дли постоянного или периодического из. бзюдения за процессами или работой устройств в вакуумных камерах.
Через смотровые окна по цвету электрического разряда можно визуально оценить, в каком газе происходит разряд, а также по свечению разогретого тела ориентировочно определить его температуру. Свечение в положительной области (плазме) возникает при рекомбинации ионов с образованием нейтральных атомов. Ниже указаны цвета электрического разряда в различных газах; йоздух . , Голубой Аг,, Фиолетовый СО,, Голубовато-зеленый СО ,, Белый Не От красно-фиолетового до желтовато-розоватого 1 . . „ От красновато-розово го до оранжевого )г(е ... Кроваво-красный й(з...... Оранжевый или крас-, но-желтый Оа,...,, Желтый с красноватым от1енком Пары воды,, Голубовато-белый В табл.
8.5 указаны длины волн Х, при которых пластина из соответствующего материала толщиной 5 мм пропускает примерно 50сб инфракрасного излучения, а в табл. 8.6 — толщины пластин рацзичных материалов, пропускающих оо и 80% электронов различной энергии. Типичная конструкции смотрового окна для непрогреваемых снесем показана иа рис.
8.15. Толщину Лс смотрового стекла выбирают в завйсимостн от диаметра!)с свободной поверхности Лс аа (0,15.. 0 20) 0с. В прогреваемых сверхвысоковакчумных системах стекла смотровых окон впаивают в металлические оправы (стаканы), причем температурные коэффициенты линейного расширения стекла н материала оправы должны быть достаточно блиакн (16).
В глзах, прогреваемых до температуры 523... 573 К, используют плоские стекла (рис. 8.16), в спаях, прогреваемых до Рэс. З.14. Зазнснмссть атмссмтсаьаса араэрачаоста стекзаммоа азастамы ст ° ваагна эзектзаасэ Е пам Эазаачмоа э тсащнме Ь ааастмаьч «и: ! — арм Ь < 1 ам. à — прн а = 210 нм: 3 — аэн а зао мм; с — прн ь = тео нм: 3 — арм Ь = ЗЗО нм Ваняэнньы окна 191 Таблица 85 Мате- риал Мате- ря аз Х. ны д, вм Внднмый свет Ультра- фиолетовое Таблица 86 и цж ы нн о йоя ЯЬ~ толшннц, ыны аластнны 1 из й шж О О ( Ъ Инфра- красное См. табл.
8.5 1,6 0,12 80 3,2 0,60 6,4 1,90 12,8 6,60 0.08 0,43 1.20 4.20 0,07 0,37 1,00 3,60 0,05 0,26 0,74 2,50 Рентге- новскоее 1,6 0,55 3,2 1,80 6,4 5.80 12,8 17,80 0,35 1,10 3,70 ! 1,30 0,30 0,96 3,10 9,60 0,20 0,68 2,20 6,80 Поток -частиц электра. нов) Поток ж-частнц г .г Поток нейтронов Стекло (обычное, оптическое жаропрочное), кварц, пласт массы Для длины волны Х = 0„3 ... 0,4 мкм слюда, специальные фосфатные стекла, акриловые пластмассы (плексяглас); прн Х вЂ” —.
0,2 ... 0,3 мкм кварц, са'- фнр, соли (хлориды натрия и калия, фториды кальция н лития) Бараснликатные стекла (не бо- лее !0% 5!Оз н ВзОз! Ззуа Л1зОз)! кварц, слюда, сапфир, различ- ные соли Фольга нз легких металлов, алюминий, бериллий, окснды легких металлов (бора, лития, бернллня), слюда, пластмассы, цветные стекла фойьга толщиной несколько микрометров (слюда, алюминий н его оксиды, тантал, валата, стекло) фольга толщиной несколько микрометров (целлофан, алюминий, слюда, тантал, золото, тон кне стекла) Обычные стекла, содержащие окснды кремния, алюыиния, свинца н магння Потеря нзлучення составляют 6 ...20; !О ...30 н 20... 40',4 при толщине обычного стекла соответственно ! ... 2; 2 ...4 я 4 ... 8 мм. Для оптических сте.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
