Фролов Е.С. - Вакуумная техника (1037534), страница 32
Текст из файла (страница 32)
что позволяет диску 8 самоустанавливаться относительно седла 4 не только при углоном, но и ярн параллельном смещении осей н значительно повышает надежность клапана, а также упрощает его сборку. Завморм ЗАПОРНО-РЕГУЛИРУЯ>ЩАЯ АППАРАТУРА 154 й 12 ! г Рас. 1,3. уявотнвтеаькмв пары сесрхвмсововевуумвых к с акснвльвмм усилием гсрмвтвввнн 7.2. Затворы Рвс.
>,4, Вмсовавасуумвмв затвор типа ЗЭП» В уплотинтельной паре, показанной на рис. 7.3, 6, уплоткительиый диск 8 имеет глухую диафрагму б из меди или алюминия, снабженную выравнивающим кольцом б, которое уплоткяется коническим седлом 4. В уплотинтельной паре, показанной на рис. 7.3, з, уплотнительиый диск 8 с У>рокладкой 7 соединен со штоком 8 через плоские пружины 9, которые под действием усилия уплотнения упираются в проточку в седле 4 и обеспечивают его герметизацию.
Особеикость уплоткительиогоднска8 уплотнительиой папы, показанной на рис, 7.3, г, — упругое воздействие на седло 4 с небольшим осевым усилием. В уплотиительиой паре, покаэаикой на рис. 7.3, д, уплотнительный диск 8 имеет дэа выступа, объем между которыми откачивается через выполненные в седле 4 каналы, что значительно уменьшает иатекаине и усилие герметизации.
Сзмоустаиовка диска 8 отно'сительно седла 4 обеспечивается сферическим шарниром 10. Как отмечено, сверхвысоковакуумные клапаны дли поддержания постояикого усилия герметизации при изменении температуры эксплуатации снабжают компенсирующими элементами. повышающими надежность и увеличивающими срок службы уплотиительных пар, Чаще всего в качестве компеисаторов используют пружины, подпружиненные седла, пружинные штоки, Пружинные компенсаторы должкы иметь пологую упругую харзктеристину и небольшие размеры, что трудно получить прн больших усилиях герметизации. Недостатки сверхвысоковакуумкых клапакиых соединений — большие усилия герметизации, малая долго.
вечность, высокая точность изготовления. Этих недостатков можно кз. бежать, используя металлические уплотнители из легкоплавких материалов. Для перекрытие трубопроводов больших сечений устанавливают за. творы, оказывающие минимальное со. протнвленне потоку откачиваемых газов. Серийно выпускают затворы ие. скольких тинов, предназначенные длк использования в вакуумных системах со средним, высоким и сверхвысоким вакуумом. Вакуумные затворы ЗЭПл (затворы С электромеханическим приводом пло окне) предназначены дли герметичного перекрытии высоковакуумиых сис>е М в диапазоне давлений 10л .
„6,55Х Х!О л Па, в интервале условных про' ходов 100 ... 400 мл> (рис. 7.4). 0ог беиность затвора этого типа — перс' пенная книематическан структура ск' с>емы перемещеийя и уплотнення клапана. Клапан 1 перемещается крниошипио. "олзуниым механизмом 2, уплотняется "улзчково-рычажвым механизмом, дейсшуюп>им от кулачка 8.
Все перемеще ння ня обеспечивает электромеханический пРивод 4 стик Основные технические характерники затворов типа ЗЭПл привеДены в табл. 7.2, Хате При перепаде давлений О,! МПа хворы типа ЗЭПл обеспечивают гер- метичиость (поток газа через уплотнение заслонки 10 в Па мв)с) с любой стороны уплотнительного диска. Время срабатывания затвора 7 с.
Конструкция электромеханического привода обеспечивает возможность точного н легкого регулирования усн. лия герметизации и рассчитана на создание крутящих моментов, иеобходн. мых для герметизации эластичного уплотнения. Затворы этого типа поставляются в нсполнеини У, категории 4.2 зл поеио-еееелиерятгдлд л пил ел грел 157 Таблица 72 Таблица 73 "срсиесрс кли ээтиорс !си рис т М Параметр Ткв затвори Гсбсритнме рсоисрм, ии ЗПТ-! 00 ЗПТ-100 ЗПТ-Гба о- Ц 1,5 160 1,0 100 Проводимость (ие менее), мз!с мм Присоедииительиые размеры': р, мм а, мм л Габзритиые размеры (Е Х ВХ ХН), мм Масса, кг, ие более ЗЭПл-! 00 306 М!О 32 690 Х 665 Х 265 ЗЗОХ 24 5Х Х 195 430Х 275Х Х 200 635Х 360Х Х 225 905Х 500Х Х 245 1,5 130 МВ !6 430Х 400Х 200 192 МВ 20 518 Х 440Х 220 Зэпл-160 17 ЗЭПл-250 15,0 35 36 116,5 ЗЭПл-400 52,0 (ГОСТ ! 5150 — 69) для работы при температуре 281 ...
283 К, относительной влажности воздуха 65 ... 80% (при 293 К). Затвор можно эксплуатировать Таблица 74 Зисчеиие периметре дли ости Рс Параметр ЗПП-!00 зпп-!00 ЗПП.ЗЗ0 ЗПП;саа 250 !5,0 5 1О ы 160 2,5 6,65 10 гз 100 1,0 2,2 10 хт р, мм Проводимое мз(с Па"ак натекания через узлагннтель, Па. мз(с Г Время срабатывания, с збарнтиые размеры мм Масса, кг 400 46,0 5 10!' 3,0 605Х 670Х Х! 52 43 4,0 785Х 89ОХ Х 152 78 2,5 507 Х 540Х Х !70 30 2,5 410Х 442Х Х !60 20 Рис. т.в. Плоский иаигиииоиый сэтоор типа зпТ в средах, ие воздействующих иа материал конструкции при вибрации в диапазоне частот до 3 Гц. Затвор ЗЭПл можно использовать в АСУТП, Затворы ЗПТ (рнс.
7.5) предназначены для герметичного перекрытия вакуумных коммуникаций в диапазоне давлений 1 1Ос ... 6,65 1О ' Па. В корпусе 1 затвора расположены заслонка 2 и рычажная система, состоящан из рычагов 3, 5, б, 11. С одной стороны рычажная система эакаичинается ра. ликом 4, с другой — роликом, взаимодействующим с копиром 7.
Последний связан с приводом кардэниым шарниром 0 и пружиной 1О. При включении электродвигателя В начинает вра. щаться копир 7, происходят разгерметизация затвора и отведение заслонки 2. В крайних положениях прн. вод затвора автоматически отклю. чаетси сдвоенными конечными выключателями, один из которых подает сигнал на управляющее устройство (например, ЭВМ). В табл, 7.3 приведены основные технические характеристики затворов типа ЗПТ. Длн перекрытия вакуумных ком.
муиикаций в диапазоне давлений !Х Х 10с ... 1 1О с Пэ применяют затворы типа ЗПП и 23ВЭ, по конструкции во многом идентичные затворам типа ЗПТ. Технические характеристики затворов типа ЗПП приведены в табл. 7.4. Затвор типа 23ВЭ (рис. 7.6) состоит иэ корпуса 2, электромеханическою привода 7, приводной шток б каторага снабжен сильфоииым узлом (или уп.
лотнекием), рычагов Б и 1, заслонки 12, обоймы 4, втулки 11, в пазах которой расположены шарики 2 и !О. йри движении штока привода рычаг б, вращаясь вокруг осн Р, поворачивает обойму 4. При этом шарики опускают или поднимают заслонку, в результате чего происходит уплотнение или раз уплотнение затвора. При дальнейшем движении штока система рычагов пава рачивается вокруг оси В и отводит за славку. Закрытие происходит в аб' ратном порндке.
Технические характеристики творов типа 23ВЭ приведены в табл. диаметр осевой окружности; б и и — диаметр и число крепежных отверстий. П р и меч аз не. Для всех приведенных в таблице моделей затворов: допускаемый поток иатекаиия в вакуумную полость затвора не более 1,33Х Х !О 'с Па. м'1с! время открытия (закрытия) затвора не более 40 с; максимэльиак мощность, напряжение и частота для электродвигателя и нагревателя сает. ветственио ие более 30 Вт, 380 В и 50 Гц и 2000 Вт, 30 В и 50 Гц; наработка на отказ ие менее !000 циклов, средний ресурс ие менее !О 000 циклов, среднее время восстановления ие более 8 ч.
П Р н и е ч а н и е. Для всех указанных в таблице типов затворов: привод алекс вость 8 ропневматический; питание настоянным током (24 В); потребляемая маш- 8 Вт; иаработкатса отказ 20 000 циклов; средний ресурс 120 тыс. циклон Кллллл» 159 7.3. Клапаны -) А Рнс. 7.Е. вагнер тапа хэвв Р« . 7.7. В««уумнмз «папан типа КПУ Угловые клапаны типа КВУМ (кла. пан вакуумный угловой магнитный) с электромагнитным приводом предназначены для работы в там же диапззоне давлений, что и клапаны тина Таблица 75 Таблица 76 значение параметра дла клапана 630 6,6.10 з 146,0 400 8107 46,25 250 4.10 7 13,4 160 2,66 1О 7 3,34 100 2,66 1О"7 1,2 /)у, мм Поток натекаиии, Па ма/с Проводимость (псх воздуху), мз/с Бремя срабатывания, с Потребляемая мощность, Вт Присаединительные раз.
меры (см. Рис. 7.6): )7, мм А, мм и Габаритные размеры, мм Параметр КПУ.25Л Кпу-зал Кпу-азл 30 200 25 100 !5 100, 15 63 Ву мм раэаднмость в молекулярном режиме (не менее), мз/с Реня срабатывания, с, не более Габаритные размеры, мм Масса, кг, не более 25 0,016 0,2 170 Х 75Х Х 210 2,2 40 0,030 63 0,045 0,3 !95Х 90Х Х 260 3,6 0,5 245Х 135Х Х 355 7,5 455 М16 8 1400 Х Х750Х Х 160 115 300 М!2 8 780 Х Х 510Х Х 140 46 210 М10 8 660Х Х 370Х Х 100 22 145 М10 4 570Х Х 290 Х Х 100 17 М!5 12 1890 Х Х 1130Х Х В)0 350 Масса, к1' злпарна.РЛГулируку/лля АЛЛАРАтуРА П р и м е ч а и и е. Для всех указанных в таблице тищж затворов: напра' жение 220/380 В, средний ресурс 3200 циклов, Для геРметичного перекрытия вакуумных коммуникаций при давлении !0-«,.6,55 1О ' Па широка применяют вакуумные клапаны различных типов, серийно выпускаемые отечественной промышленностью.
На рис. 7.7 наказан угловой клапан типа КПУ (клапан пневматический угловой) с электро. пневматическим приводом для герметичного перекрытия коммуникаций прн давлении 1О ...!О «Па. При открытии клапана через влектромагнитное золотниконае устройство у поступает сжатый воздух, который, воздействуя на поршень 2 цилиндра В, поднимает диск 7 с уплотияющей рези. новой прокладкой В. В крайнем положении штока 4, герметично уплотнен. ного сильфоиам б, конечный выключа. тель / подает сигнал об открытии нла. пана.
Длн закрытия клапана подается так на устройство р, которое выпускает сжатый воздух, н шток 4 с диском 7 под воздействием пружины В опусиа. ется, герметично уплотняя прокладкой В седло клапана. В табл. 7.6 приведены технические ха актеристики клапанов типа КЯУ. лектропневматический привод обеспечивает рабату клапанон типа КПУ а любом пространственном положении.
перел П р н м е ч а н и е. Для всех указанных в таблице клапанов: допускаелп~э китель -уе ад давлений не более 102 Па; дапускаел|ый поток натекания через уплотзь 5.!О- Па мз/с; максимальная потребляемая мощность 7,2 и 12,7 Бт „рн напряжении постоянного тона соответственна 24 и !27 В, напряжение переенног нссста о тока.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
