15_avt_svid_EAD_1161761 (1033184)
Текст из файла
(211 84750681".)5.08 ~.22~ 26,07.82 146) 15.06).85, Вк)л. % 22 Г721 О И. Мирон)кин, В. И, Хазов, В, А, Деуь)ин н И. В. Панкратов )7И МВТУ нм И. Э. Ввумани 16$) 62-7621088.8) 4561 Хрунич)В Ю. !). и .ц). Расист пе~)е дач йвижепии в вакуум, М., МВТУ им. И.' Э. Баумана, И)77, с. 5, табл, 1543 а7) 1. УПДВПИВНИВ ВВОДА ДВИ- )КЕБИЯ В ВЫ12ОКОВАКУУ)МНУК) КАМЕ РУ, сч)держаисее ОННВтыва)О1иуго с аяаороы подии)иный эл).мсит ВВОда камеру п1)едва~и). телыиио 1)ВЗ~)ежения н средство дпя сО3ди ° няя импульса, побу)к)1))к)и)ег)) двигксние мо- ЛЕКУЛ СРЕДЫ В Звво~)С и СТ(АФОНУ, ПРО) НИО- полоисиуи) де))сгиук))нему иа чгьчо)'пиине пе- репаду 1)аи))еиий, Отличпго1и))ноя тем, с 1)ельк) повыьчения )ФФ)*ктнвносги уплот.
иения В днвпаЗОне ниакик дзвлеиин при уменьшении его габаритов. средство Выпил. нено В виде устаиовлеииоб параллельно подиигкному ')л1'мснту ВВОЛВ системы Влектро. дон н соосной с иим маГпитной си)т1'м1Я, ПО" верхиос)и полкмов коти)рой обрааугот с ПО- ве~)кностьк) гк)дви)иного Влемента ВВоди уплОтняемый 3И.)ор. 2. Уплогиеиие по п. И отличогоы1)еся тем, что одип и3 члектро)1ОВ - нст'О')ник ')л).'ктрО ИОВ раамеиген перед упло)няемым Заао~и)м и камере предввр)сгельного ~)аа~)е)кении. и другоб -- коллек~ор алект))онов в вы- СОКОИНКУУМИОИ КНЫЕР1 ЗИ УЧ)ЛО1 ИИСМЫМ Зн. 3О1)оы, О61)а )ук)п)и«пов))ркиост)1 кото|)ого НОКР)ИТ)1 и)НЬ))ГИТРИ~МОКИН МИТС Рив))ОМ.
В ! !6176! и й е и. е (',ос(вин(ель Г И1уреж«о Редактор М Днами Техред Р) Иерее Корр«ит р 3 Гасил Заказ Зязз!41 3'краж Вая 1)один же ВНИИГ)И Государственного комитета 6(Х'Р ио делам изоаре«еииа и отк))мтий 113033, Москва, Ж вЂ” 33, Раушсваи наа., д, 4,'о Филиал ППП -Патента, г. 3(жгород, ул. Г!роек)иди, 4 Изобретение Относится к ВакуумноЙ тех. инке, В частности к Вакуумиым у'плОти(' киям Вращак)и(ихся или поступатеиьно пе. ремещаккцихся элементов привода в вакуум, и мбжет быть использовано в сверхвысоко- вакуумных установках для нанесения тонких планок н покрытий, электронно-лучевой обработки фоторезистов, рент(еко)!Ито.
графин и других технологических установках для изготовлении полупроводниковых приборов н интегральных схем. Цель изобретения .— повышение эффек. тквности уплотнения В диапазоне низких дкв "!СниЙ путем умеиьшекия иотокд иктекак). (него газа, Нд фиГ. ! Изобрджеио уплотнение Ввода, разрез; на фиг. 2 - разрез А--й на фнг. !. Уплотнение анода содержи) вращающийси )нли возвратно-поступательно переме. (цаккцнйся) вал ! Привода движения нз камеры 2 предаарятельноГО разрсжекия. Откачиваемой до давления не ныпн: 5 !б'11а, в камеру 3, откачннаемук) до высокого н сверхвысокого вакуума )киже 5 16 '!1а), эмнттер электронов -- катод 4, компенси тор )нить ндкдла, разогреВВ()мая источником 5), размещенный в камере 2, коллек)т)р электронов — анод 6, размещенный в камере 3.
и магнитную систему с полюснымн иакОиечкиками 7 для щ)здания В уплотпяемом зазоре 8 азимутально).о замкнутого радиального магнитного поля, изображенного векторами магнитной индукции Й. (,.(енин вала ! и камер 2 и 3 Выполнены нз диэлек трического материала -- втулок П). Устрой. ство снабжено источником электропитания 11, положительнь!Й полюс ко(прото нодкли) 2 ч(.н и анод(» 6, а Отрицат(лы1ый "- к католу 4. 1!р(!Ици)) уплотнскю)»)ск(зк()н па (ф(гкесснх .«ффйктнвной и(кензакнн молекул газа, п(»р«»тска10ш(,'ГО через упиотняемыЙ зазор зн 3 сч(""г разности даял(.'нии а камепах 2 н 3, ускорения Образ)ющихся В )гез(льтате ио- КИЗГК1НИ КОИОВ ЭЛЕКТРИЧСЕКИМ ПОЛ('М В СТО- рону камеры предварительного разрежения, нейтрализации ионов и удилення Вновь об- 10 разуюшяхся молекул наьекаюп(еы! !Вза форвакуумным насосом, размещенным в как()ре призна)жтелькОГО разрежения.
Йфф('к. тканая Йони.3ация МОлекул катскающеГО Гл за Об(сп(«чнвается В разрядке дреифующнмк по азимуту в сире!3(еииых Е,КЗ -- БОлях, соз)(знаемых 13 у(33!Отняемом з)3!(оре (и СГО )ории) Й со с(орокы исто ганка электро(юв прнлож(."ни(гм раз1К)сти Ф)1екпиклои м!.'жд» нно,'1ОМ б н катодО" 1 4 (.у'к(ествуиз(ци)11 0613и«нь!й поток (яза за с'и"'1 ди())фу(ик н(Й)'ральных молек)3! Вновь поди(*ргается ионизация н выбрасыванюо НОЮЮ ЭЛЕКТРНЧССКЯМ ПОЛ('М НЗ «Ч131ОТКЯ«»МО1'О с посл()дующая исйтралязацк()Й но нов н удалению и( в атмосферу форвакуум. ным насосом). Таким образом, облисю .(р(й.
фт(ок(их по азимут) ')лент;)Онов иы«:ОХОЙ ПЛОтнОстк явля(тся сво(образным еэлектрнчес1 им днтворомз Для нормальной рабОты устрой( «юз сген. кн уплотню«мого зазора ло.(жкы бь:ть !)ыпо.!. иены из днзлекгрич(ского мятсрязлз, нрн обеспечивается !юстояпстио зл()к) рн!сского потенциала вдоль з)агин(иой сило- ВОЙ линни я (стОЙ«1пкяя рабо)В )с)ройстви бе: . -; 6)о и 31ебд Й рззр»31 .
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
