13_avt_svid_EAD_1134044 (1033182)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

СФо ~~Заж На основании полномочий, предоставленных Правительством СССР, Гасударственный комитет СССР по делам изобретений и открытий вцдал настоящее авторское свидетельство на изобретение: "Устройство лла перемейениа наделай преимущеотвенно в вэм77мных изм~фбх Автор ( авторы ): Зиноуранов аил Иванович Йиенев био ивановичу Латнмев рх' Панкратов рь Витальевич, Оатаров Герман Хабирович и Зиников Владимир Яковлевич Заявитель ." За~~к~ № 8 оантабвн 1984г Действие авторского свидетельства страняется на всю территорию Союза ССР. хор»лжаа~иеаъ Ломка»ежа мпФ о»»н»»».

1979. 3»». 78-3083. Изобретение ОтноситсЯ к Области производства полупроводниковых приборов, в частности к устройствам для перемецения изделий в вакуумиж камерах и может быть использовано в злек- У тронной промышленности в составе различного оборудования, нап- ример в оборудовании для электронно-лучевой, ионно-лучевой и р6нтгенОВской литогра~~ии, к изобретениВ Наиболее близким по технической сушностимявляется уст- ройство для переме~Ления изделий преимул~ественно В вакуумных камерах, содержзлее Основание, на к~т~ром устзиовленм ка-- ретка и гидропрОВОлы для подачи жидкости В гидродвигатель» Закрепленный на каретке» при этОм гидропроводы выполнены В виде гибких трубопроводов из полимерного материала Ш . НедОстзтком дзнногО устрОйстВЗ яВляется низкая надежность в работе Вследствие того, что трубопровод из полимерного материала ограничивает давление в гидросистеме» а процесс старения п~л~мерн~г~ Трубопр~~~да в условиях в~~ского Вакууавзрийнььли прорыв~~ ~ид~~сти в Обьем Вакуумной камеры» 6 также полимернькА М6териалзм сВОЙственны гззОВыделения, которые снижашт качество Обработки ИзделиЙ в вакуумной камере имущественно в вакуумных камерах, содержацем основание, на котором установлени кар8тка и гидропроводы для подачи жидкости в гидродвигател~ закрепленуьгй на каретке гидропровол; выполнен в виде двух сильфонов, расположенных ОООсно Один относительно другого с противоположных сторон каретки, при этОИ каждый сильфон Одним кОнцом соединен с кареткой» а другим концом - с основанием.

На 4иг. 1 показан схематически обп~ий вид устройства. На фир, 3 вид Д, ф~г, Устройство содержит установленное в вакуумной камере 1 основание 2 , на котором установлена каретка 3, на каретке 3 устанОвлена ДополнительнаЯ каретка 4, преДназначеннаЯ ДлЯ перемео~ениЯ Обр~б~тыв~~мых изделий. На каретке 3 закреплен гидродвигат8ль ~ предназначенный для перемецения дополнительной каретки 4, который выполнен в виде сильфонов 5. ДЛЯ подачи жидкости в гидродвигатель выполненный в виде СИЛЬРО- нов 5 , предназначены гидропроводы, выполненные в виде двух силь~онов 6 и 7 , расположенных соосно один относительно другого с противоположных сторон каретки 3, при етом каждый из сильфонов б и 7 одним концом соединен с кареткой 3 „ а другим конпом- с основанием 2. Сильфоны б и 7 гидропровода соединены с напорной магистралыа 8.

Из силь$онов 6 жидкость поступает в сильфоны 5 гидродвигателн через жесткий трубо- провОД 9 ДЯЯ перемЩениЯ каретки 3 предназначен гидродвига тель , выполненный в виде сильжонов 1О,соединенких одним ьь ти В гиДРОДВигатель , Внполненнмй В ВиД8 сильфонОВ 10» иэделие перемеиается по ОД~ОЙ иа координат Вместе с каретками 3 и 4, а пРИ подаче еидкости В гиДРОДВигательь Вмполненнмй В Виде йильфоноВ 6»иаделие перемеиается по другоЙ координате Вместе с кареткОЙ 4.

При этом перемещение каретки 2 сопроВокдается Д8фОРмапией сильфоноВ О и 7 гиДРОпРОВОДаь Один иа котормх скимаетсЯ , а другой растЯгиаается» суммарный Объ8м гидропровода при деформации сильфоноа 6 и 7 остается неиа- М8НННМ» так Как УВЕЛИЧЕНИЕ ОбЪем~ ОДНОГО ИВ СильфОНОВ КОМПЕН- сируетсЯ уменьлением Объема ДругогО сильфона. Лспользоаание иэобретения поэаоляет поамсить надекность В Оаботе УстРОЙстиаь так как исключает ВВРОЯтность ПОВРекде.ь ния трубопроаода и 7меньиает его пороимделение» а такие поаВоляет поамсить рабочее Д~ВЛе~и~ В гидросистеме.

Устройстао для переме~цения И~Д~~~Й преимул~естаенно В ВВКУ7МНМХ КВМЕРВХ» СОДЕРЗВЦ88 ОСНОВВНИЕ» На КОтоРОМ УСтаНОВ- лени каретка и гидропроаодн для подачи жидкости В гидродаи- ГатЕЛЬ» ааКРЕПЛЕННЫЙ На КВРЕтКЕ» ОтЛИЧВОЦЕ СЯ -Ем» Что» пельй покмления надеености В Работе» каедмй гиДРОПРОВОД Внполнен В Виде даух сильфОнОВ, располоиенннх соосно Один ОтнО- сительно другого с противополоклых сторон каретки, при этом какдьГЛ сильфон ОДним конЦом сОВДинен с каРеткОЙ» а ДРУгим кбнцОм — с Осноаанием .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов учебной работы