6_avt_svid_EAD_684930 (1033174)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

маетеиик тииасини баии ~9484930 аа жтиии' 1ии ВФФ Фпжа Ю.А.Хруннчен, Я.А.Деулин, С.А.Апннон Москонское Ордена Ленина и О))дена:(ОудОВОГО Краснох"О Знамени ннс)368 техническое учили)38 им. Н.З.Баумана еииж 3 процессе нанесения тОнких пленок В накууме, Езнестно устдойотзо длн Размецення подложек, ннп(уяенное В Виде карусВлн нл$ барабана ~~~. устройстно просто по конст))унции, няд8кно, ОднакО при обеспечннает т))ебуемой ренноме))ности ~~~ПНИ. Наиболее близко к предлагаемому устройстно Для нанесения пои~и(тий н накууме, ООДершл(ее Рабочуй камеру, испарителн, пОДлоикодериатель, механизм планетарнохо перемещения подлоекб (б))Доаолиителъиое к авт. свил.ву (З3) Заявлено 48.04,78(к1) 2607ВИЯ8-Ж с ирисоелииеиием заавки № (23) Приоритет— (43) Опубликовано —:, Бюллетень №вЂ” (33) УДК 621.793Я4.002.52 088.8) У етого устройства сложнан конструкции.

Годарн тому, что в устроЙстве длн нанесении Покрытий Б Ваку- уме, Содержащем рабочув камеру, испарите~п, подлоекодереатель, механизм пл6нетаонОГО переи848ния подлоекодержателя, последний выпячен в виде коаксиально располоеенного изогнутого БЕАа и ГибкОГО зл8мента, ОДин тореЦ которОГО закреплен на рабочей камере, а друГОЙ-на подлоекодереателе ° На черт 8же привед8на сх8ма у стройстве ~ Ба присОединительном фланце 4 размеДены подлоекод8реатели на которых закрепляют обрабатываемые подложки 3.

~~ееанизм 4 плане- :тарного перемеп~енин подлоекодержателей свнзан с Балами 5. Один из езцов приводных валов 5 отогнут под углом "о~ " ~значение которого -:зеиисит От требуемОЙ равномерности наносимой пленки) к продольн~Й "оси подиоеконссителя» На ОтоГнутых концах Валов соссно с ними сво бодно устанавливаются подлоекодержатели 2. Последние могут быть плоскими, ~ферическими ~выпуклыми или вогнутыми), пирамидальными, ' ИОНИЧЕСКИМИ И ПР. Валы 5 размецены внутри Гибких и попер6чном направлении упругих злементозэ например силь1онов 6$ герметично прикрепленных к подлоекодереател.пх 2 и присоединительному фланПу Х.

6 помощью крыщек 8 происжодит с устройство работает следу~й„им образом. В .процессе нанесения пленки подложкодержатели при непре- ву риком вращении валов О от механизм анетарного перемеще- вое перемещение, ввиду того, что они застопорен от вращения силт4онами 6. При этом угол накпона подложкодержателей к плоск ~сти исперителей '7 непоеонвно и,ффеняется в пределах К +4~м~, т.е. через полоборота приводжОГО Вала 5.

Точки АБ Яа 1-1 Фложкодержателе 2 переместятся и положение А Б . Благодаря такому иирернвному изменений ~гла наклона подложкодержателя, а также яепре~Й$яому изменению пОлОжения подлОжкодержателя ОтчосительнО испаоите- Источники иБформации, интеГральнмк скем, Ц,, "Эиертил",,тр~~, -Я ФЯ~ (прот ' я . тем» чтО с целью упроцекля констяъхяи, механ23м плане- тарного перемецения подлоккодеркателн ишолнен в аиде коак- 2. Авторское сиидетельстео СССР $47с826, кл.

С ! .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов учебной работы