XDS5-10_rus_V2 (1032061), страница 5
Текст из файла (страница 5)
Установите 4 болта (410) и 4 шайбы (412) и затяните болты.15. Подключите насос к источнику электропитания и по наличию воздушного потокаубедитесь, что вентилятор работает.Для достижения заявленных рабочих характеристик насоса после замены уплотненийспирали может потребоваться некоторое время. С новыми уплотнениями спирали вакуум может увеличиться на порядок по сравнению с вакуумом, достигаемым с расслоившимися рабочими уплотнениями. В первое время после замены уплотненийвозможно появление частиц уплотнения.
По возможности рекомендуется повести дополнительную продувку насоса через входной или газобалластный клапан. Убедитесь, что выхлопная магистраль насоса соединена с выхлопным глушителем длясбора частиц уплотнения (см. раздел 7.3.5).265.7Проверка состояния двигателяПроверьте целостность цепи заземления и изоляционное сопротивление двигателянасоса в соответствии с региональными инструкциями для периодических проверокэлектрического оборудования.Однофазный двигатель насоса XDS соответствует требованиям EN61010. Мы рекомендуем Вам в соответствии с EN61010 устанавливать цепь заземления проводимостью менее 0,1 Ом и изоляционное сопротивление более 10 МОм. Если двигатель невыдерживает этих требований, то Вы должны обратиться к вашему поставщику илиВОС Edwards.5.8Поиск неисправностей5.8.1Насос не запускается••••Насос не подключен к электропитанию (сгорел предохранитель и т.п.)напряжение питающей сети не подходит для данного двигателянеисправен двигательнасос перегрелся5.8.2••••••••Существует течь в вакуумной системе.Ваши средства измерения или преобразователи не подходят для измерения данного диапазона давлений, или неисправны.Вакуумные соединения загрязнились или повреждены.Входной фильтр заблокирован.Насос содержит следы паров технологических веществНасос не находится в рабочем состоянии.Газобалластное устройство не закрыто.Необходимо заменить рабочее уплотнение спирали.5.8.3••Температура поверхности насоса выше 100°СОкружающая температура слишком высокаПоток охлаждающего воздуха недостаточен или воздух слишком горячийНапряжение питающей сети слишком высокоОткачиваемый газ слишком горячий или его поток слишком высокВентилятор не работает5.8.5••••Шум насосаПовреждены подшипники двигателяНасос загрязнен твердыми частицами5.8.4•••••Насос не обеспечивает откачки до предельного давленияНизкая быстрота действияСоединительный трубопровод имеет слишком маленький диаметрСоединительный трубопровод слишком длинныйВходной фильтр засоренЗаблокирован выхлопной трубопровод276ХРАНЕНИЕ И УТИЛИЗАЦИЯ6.1ХранениеПри хранении насоса выполните следующие действия:1.
Выключите насос как описано в разделе 4.2. Отсоедините насос от электропитания.3. Продуйте вакуумную систему и насос сухим азотом и отсоедините насос от вакуумной системы.4. Восстановите защитные покрытия входного и выходного фланцев.5. Храните в чистом сухом месте до момента использования. Соблюдайте диапазонтемпературы хранения, указанный в разделе 2. Установку насоса проводите согласно разделу 3.6.2УтилизацияУтилизируйте насос в соответствии с национальными требованиями по защите окружающей среды.Следует уделить особое внимание всем компонентам насоса, которые могли получить загрязнения при работе с опасными веществами.Не сжигайте уплотнения и кольца из фторэластомера.287ЗАПЧАСТИ И ПРИНАДЛЕЖНОСТИ7.1ВведениеПродукция ВОС Edwards, запчасти и принадлежности поставляются нашими представителями в России и во всем мире.
В наших центрах работают инженеры прошедшиевсестороннюю подготовку в BOC Edwards.Заказывайте запасные части и принадлежности в России:ЗАО «ИНТЕК ВАКЗАО «Интек Аналитика»Адрес: 197374, г.Санкт-Петербург, ул.Оптиков, д. 4, корп. 2, лит. А, оф. 209Санкт-Петербург, тел. +7 (812) 493-2480Москва, тел. +7 (495) 626-19-13Зеленоград: +7 (495) 228-0788 Новосибирск: +7 (383) 335-61-05Киев: +38 (044) 569-8485e-mail: info@invac.ru http://www.invac.ruПри заказе, пожалуйста, учтите, что при обращении требуются:••модель, наименование оборудования, номер изделия или запасных частейсерийный номер (если есть)7.2Запасные частиНаименованиеРабочее уплотнение спиралиНомер изделияА726-01-8057.3Принадлежности7.3.1Электромагнитный форвакуумный клапанЭлектромагнитный форвакуумный клапан устанавливается между вакуумной системой и насосом для дополнительной защиты вакуумной системы после выключениянасоса.НаименованиеЭлектропитаниеPV25EKPV25EK220-240 В, 50/60 Гц100-127 В, 50/60 Гц7.3.2Номер изделияАлюминийНержавеющая стальС413-01-000С413-02-000С413-03-000С413-04-000Адаптер газобалластаУстановите адаптер вместо переключателя газобалласта на вашем насосе.
Адаптерпозволяет установить электромагнитный газобалластный клапан или осуществлятьподачу инертного газа в насос.НаименованиеАдаптер газобалластаНомер изделияА505-02-000297.3.3ВиброизоляторыВиброизоляторы уменьшают вибрацию и шум при установке насоса на полу или закреплении на раме, а также помогают уменьшить напряжение, если насос установленна неровную поверхность.НаименованиеВиброизоляторы (4 шт)7.3.4Номер изделияА248-01-404Выхлопной штуцерВыхлопной штуцер устанавливается вместо выходного фланца. Используется дляподсоединения выхлопа насоса к пластиковому шлангу с внутренним диаметром 12мм.НаименованиеВыхлопной штуцер7.3.5Номер изделияА505-09-000Глушитель XDSГлушитель XDS может использоваться для снижения шума во время откачки и работы газобалласта.НаименованиеГлушитель XDSНомер изделияА505-97-00030ПРИЛОЖЕНИЕ П.1Возврат оборудования ВОС Edwards – инструкция(Форма HS1)ВведениеПеред тем как вернуть оборудование, Вы должны информировать своего поставщика о том, было ли это оборудование в контакте с опасными веществами.
Это необходимо для обеспечения требований закона о безопасностивыполнения работ на производстве.Вы должны заполнить Декларацию (HS2) на следующей странице и послать ее своему поставщику, преждечем Вы отправите оборудование. Если Вы не выполните это требование, Ваше оборудование будет считатьсяопасным и поставщик может отказаться принять его. Если Декларация будет неправильно заполнена, то при работе с Вашим оборудованием могут быть задержки.Правила заполненияОбратите внимание на следующие правила заполнения Декларации:•••Ваше оборудование будет «не загрязнено», если оно не использовалось или при работе с ним не использовались опасные вещества. Ваше оборудование будет «загрязнено», если при работе с ним использовались опасные вещества.Если при работе с данным оборудованием использовались радиоактивные вещества, то Вы должны очиститьего перед тем, как возвратите оборудование поставщику. Вы должны выслать своему поставщику независимоеподтверждение об очистке (например сертификаты анализов) вместе с Декларацией (HS2).
Вы можете обратиться к поставщику за советом.Мы предполагаем, что загрязненное оборудование транспортируется в таком транспортном средстве, в котором перевозчик не находится в одном помещении с оборудованием.ПРОЦЕДУРАИспользуйте следующие операции:1.2.3.Свяжитесь с Вашим поставщиком и получите Номер Авторизации Возврата для Вашего оборудования.Переверните страницу, сделайте ксерокопию следующей страницы и заполните Декларацию (HS2).Удалите следы всех опасных газов: пропустите инертный газ через оборудование и любые принадлежности,которые будут возвращены поставщику. Слейте все жидкости и смазочные материалы из оборудования и егопринадлежностей.4. Отсоедините все принадлежности от оборудования. Осторожно снимите фильтрующие элементы со всехфильтров масляного тумана.5. Запечатайте/закройте все входные и выходные отверстия (включая те, к которым присоединялись принадлежности).
Вы можете закрыть входные и выходные отверстия с помощью заглушек или полихлорвиниловой ленты.6. Поместите загрязненное оборудование в толстый полиэтиленовый пакет. Если у вас нет подходящих пакетов,Вы можете завернуть его в толстую полиэтиленовую пленку.7.
Если оборудование имеет большие габаритные размеры, поместите оборудование и его принадлежности в деревянный ящик. Желательно, чтобы размеры ящика были не более 510 мм × 915 мм; свяжитесь с поставщиком, если вы не можете обеспечить выполнение этого требования.8. Если оборудование слишком мало для подобного ящика, то упакуйте его в подходящую крепкую коробку.9. Если оборудование загрязнено, то пометьте коробку (ящик) в соответствии с правилами транспортировкиопасных веществ.10.
Вышлете по факсу или почтой копию Декларации Вашему поставщику. Декларация должна прийти раньше,чем оборудование.11. Предоставьте копию Декларации перевозчику. Вы должны сообщить перевозчику о загрязненности оборудования.12. Поместите оригинал Декларации в конверт; надежно прикрепите конверт к внутренней стороне упаковки оборудования.
ЧЕТКО НАПИШИТЕ НОМЕР АВТОРИЗАЦИИ ВОЗВРАТА НА ВНУТРЕННЕЙ СТОРОНЕКОНВЕРТА ИЛИ НА ВНУТРЕННЕЙ СТОРОНЕ УПАКОВКИ ОБОРУДОВАНИЯ.31Возврат оборудования ВОС Edwards – Декларация(Форма HS2)Номер Авторизации Возврата:РАЗДЕЛ 1: ОБОРУДОВАНИЕТОЛЬКО ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВМодель оборудования___________________________Номер базового инструмента_______________________Серийный номер_______________________________Процесс__________________________________________Было ли оборудование использовано, тестировано?Дата появления неисправности_______________________Серийный номерДа(далее в раздел 2)Нет(далее в раздел 4)Возвращаемого оборудования________________________РАЗДЕЛ 2: ВЕЩЕСТВА, КОНТАКТИРОВАВШИЕ С ОБОРУДОВАНИЕМУкажите, с какими веществами соприкасалось оборудованиеВаш поставщик не примет оборудование, еслионо загрязнено радиоактивными веществами,• РадиоактивныеДаНетпока Вы не:• произведете его очистку• Биологически активныеДаНет• предоставите подтверждающие это докумен• Опасные для здоровья иДаНеттыбезопасности человекаВЫ ДОЛЖНЫ ПОСОВЕТОВАТЬСЯ С ПОЕсли Вы ответили «Нет» на все вопросы, переходитеСТАВЩИКОМ, ПРЕЖДЕ ЧЕМ ВОЗВРАЩАТЬк разделу 4.ПОДОБНОЕ ОБОРУДОВАНИЕРАЗДЕЛ 3: ПЕРЕЧЕНЬ ВЕЩЕСТВ, КОНТАКТИРОВАВШИХ С ОБОРУДОВАНИЕМНазваниеХимический Меры предосторожности (например Действия в случае утечки илииспользование защитных перчаток) при контакте с человекомсимвол123456РАЗДЕЛ 4: ИНФОРМАЦИЯ ПО ВОЗВРАТУПричина возврата и описание неисправности_____________________________________________________________________________________________________________________________________________________________Если у вас есть гарантийное обязательство• у кого Вы покупали оборудование?________________________________________________________________• номер счет-фактуры Вашего поставшика___________________________________________________________РАЗДЕЛ 5: ДЕКЛАРАЦИЯФ.И.О.______________________________________Должность_____________________________________________Организация_______________________________________________________________________________________Адресс________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________Телефон ____________________________ дата поставки оборудования_____________________________________Я осуществляю обоснованные действия и предоставляю точную информацию в этой Декларации.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
