Проблемы металлизации и способы их устранения
2020-06-032021-03-09zzyxelСтудИзба
Проблемы металлизации и способы их устранения
К проблемам металлизации относятся:
- достижение равномерного распределения рельефа на поверхности подложки;
- осаждение пленок на основе сплавов металлов заданного состава;
- устранение подтравливания металла под слоем резиста;
- снижение сопротивления контакта;
- загрязнение пленок инородными частицами.
Способы решения проблем металлизации:
- Для обеспечения равномерности покрытия ступенек повышают температуру подложки до 300 °С, а также оптимизируют ориентацию подложек относительно источника. Последнее очень важно при использовании точечных источников, применяемых при электронно-лучевом или индукционном нагреве расплава.
- Пленки сплавов получают как осаждением из разных источников (при этом требуется высокая точность управления), так и из сплава. В последнем случае содержание пленки и сплава примерно идентичны.
- Для уменьшения внедрения в растущую пленку загрязняющих частиц устраняют турбулентные потоки газов при откачке и напуске газов в камеру. В системах стремятся свести к минимуму осаждение пленок на вращающихся деталях конструкции.
- Для уменьшения содержания паров масла в пленке, проникающими из механического и диффузионного насосов, используют криогенные ловушки и турбомолекулярные насосы.
- Для устранения процессов подтравливания металлов используют анизотропное травление (плазменное или реактивное ионное). При использовании сплавов нетрадиционного состава применяют "взрывную" металлизацию.
Методы металлизации