Технология изделий интегральной техники - лекции
1 Введение
2 Физическая природа свойств твёрдых тел
3 Фазовые диаграммы и твердые растворы
4 Структура твердотельных интегральных микросхем
5 Диффузионные процессы в твердых телах
6 Основы ионного легирования
7 Технологические основы микроэлектроники
8 Литература