Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Технология и оборудование микро и наноэлектроникиДЗ вариант 39 (тонкопленочный конденсатор с емкостью)ДЗ вариант 39 (тонкопленочный конденсатор с емкостью)
2022-05-282022-05-28СтудИзба
ДЗ 1: ДЗ вариант 39 (тонкопленочный конденсатор с емкостью) вариант 39
-42%
Описание
Условия:
Начертить схему тонкопленочного конденсатора с емкостью C= 3,5.10-3 ± 2.10-4 пФ, в котором диэлектрическая пленка выполнена из SiO2, с площадью металлических обкладок S=3,5.10-5 см2. Составить технологическую схему процесса нанесения тонкой пленки на подложку Ø 150 мм, выбрав наиболее рациональный метод осаждения диэлектрической пленки. Рассчитать режимы нанесения тонкой диэлектрической пленки, обеспечивающие технологическую производительность
Qт= 10 пластин/час.
Характеристики домашнего задания
Учебное заведение
Семестр
Номер задания
Вариант
Программы
Просмотров
51
Покупок
3
Качество
Идеальное компьютерное
Размер
259,11 Kb
Список файлов
- dz.docx 259,11 Kb
Привет всем! Я автор на Студизбе. Я надеюсь что, не только дам Вам файлы с ответом но и знание. Не только копировать, а нужно понимать! Вставьте 5 звезд и позитивные комментарии сразу дам Вам подарок