071a-concl (Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники), страница 3

В результате применения методовматематического моделирования исследованы условия и динамикапроцесса саморазогрева микрореактора для травления кремния.-Впервые предложен способ создания статически уравновешенногомикрофлюидного мостика в пластине "кремний-на-стекле" путемизменения гидравлического сопротивления канала при его травлении вмикрореакторе. Разработана конструкция датчика дифференциальногодавления, основанная на использовании свойств микрофлюидногомостика.12Применительнокпроблематикедиссертацииэффективноиспользован ряд современных теоретических методов исследования,включающийразработкукаканалитическихмоделейхимическихмикрореакторов, так и детальных моделей, основанных на системе уравненийдинамики химически реагирующего газа, для решения которых применялисьизвестные численные методы и программные коды.

Одновременно с этимиспользовались экспериментальные методы, адаптированные для работы сжидкостными химическими микрореакторами и другими микросистемами.Значение полученных соискателем результатов исследования дляпрактики состоит в том, что:Предложенная методика аналитического расчета позволяет проводитьпредварительное проектирование и расчет основных параметровхимическихмикрореакторов,предназначенныхдляпроведениягетерогенных процессов осаждения или травления.Даны практические рекомендации по применению микрореакторовдля локального осаждения функциональных слоев при производствеполупроводниковых газовых датчиков и микромеханических систем.Реализован метод изготовления микрофлюидных структур сзаданным гидравлическим сопротивлением каналов в пластинах "кремнийна-стекле", основанный на контролируемом изменении геометрии сеченияканала во время проведения процесса травления в микрореакторе.Результаты работы рекомендуются для использования в научных ипроизводственных подразделениях предприятий, работающих в областиразработки и производства устройств электронной и микросистемнойтехники,вчастностиАО«ГИРООПТИКА»(Санкт-Петербург),ОАО «Авангард» (Санкт-Петербург), АО «Светлана» (Санкт-Петербург),ООО «Маппер» (Москва), ОАО ВЗПП «Микрон» (Воронеж), АО «ЗНТЦ»(Зеленоград), АО "НПП "ЭЛАР" (Санкт-Петербург), АО НТО (СанктПетербург), ОАО «НПП Радар ММС» (Санкт-Петербург), ФГУП «ВНИИАимени Н.

Л. Духова» (Москва), НПФ «Микран» (Томск), ГНЦ РФ13АО "Концерн "ЦНИИ "Электроприбор" (Санкт-Петербург), МГУ (Москва),НИУ ИТМО (Санкт-Петербург), МИЭТ (Зеленоград), ФТИ им. А.Ф. Иоффе(Санкт-Петербург), МФТИ (Москва) и др.Оценка достоверности результатов исследования выявила, что:- результаты получены как за счет комплексного использования различныхметодов математического моделирования и построения моделей, решаемыханалитически и численными методами при помощи средств вычислительнойтехники, так и по итогам выполнения ряда натурных экспериментов смикрореакторами и микрофлюидными системами;- достоверность результатов подтверждается непротиворечивостью исогласованностью полученных с помощью математического моделированияи экспериментального исследования результатов между собой, а так же симеющимися литературными данными.Личный вклад автора состоит в выборе объекта и методикисследования, постановке цели и задач, анализе и систематизациилитературных источников по теме диссертации, непосредственном участииво всех этапах исследования: разработке моделей, проведении аналитическихрасчетов и численных экспериментов, получении и обработке данных,создании и исследовании экспериментальных образцов жидкофазныхмикрореакторов, обсуждении результатов, в подготовке публикаций поматериалам исследования и в личном представлении результатов намеждународныхи всероссийскихнаучно-техническихконференциях,форумах.Диссертационный совет считает, что диссертация С.А.

Конаковапредставляет собой цельную завершенную квалификационную работу,выполненную на высоком научном уровне, в которой решена актуальнаязадача в технологии производства изделий микросистемной техники, аименно,исследованымикрореактороввопросырасчетадля осуществления14иразработкитехнологическиххимическихпроцессов15.