071a-concl (Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники)

ЗАКЛЮЧЕНИЕДИССЕРТАЦИОННОГО СОВЕТА Д 212.229.02, СОЗДАННОГОНА БАЗЕ ФЕДЕРАЛЬНОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО АВТОНОМНОГООБРАЗОВАТЕЛЬНОГО УЧРЕЖДЕНИЯ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ«САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТПЕТРА ВЕЛИКОГО» МИНИСТЕРСТВА ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИРОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИПО ДИССЕРТАЦИИНА СОИСКАНИЕ УЧЕНОЙ СТЕПЕНИ КАНДИДАТА НАУКаттестационное дело № ________________________решение диссертационного совета от 27.09.2018 протокол №14О присуждении Конакову Степану Андреевичу, гражданину РФ, ученойстепени кандидата технических наук.Диссертация «Проектирование и расчет химических микрореакторовдля использования в технологии устройств микросистемной техники» поспециальности 05.27.06 – «Технология и оборудование для производстваполупроводников, материалов и приборов электронной техники» принята кзащите 26 июня 2018 года, протокол №13, диссертационным советомД 212.229.02 на базе Федерального государственного автономногообразовательного учреждения высшего образования «Санкт-Петербургскийполитехнический университет Петра Великого» Министерства образованияи науки Российской Федерации (ул.

Политехническая, д. 29, г. СанктПетербург, 195251), приказ о создании диссертационного совета 816 н/к от18.11.2013 года.Соискатель, Конаков Степан Андреевич, 1991 г. рождения, в периодподготовки диссертации (2013-2017 гг.) обучался в очной аспирантуре накафедре «Физико-химия и технологии микросистемной техники» институтаметаллургии машиностроения и транспорта Федерального государственного1автономного образовательного учреждении высшего образования «СанктПетербургскийполитехническийуниверситетПетраВеликого»Удостоверение о сдаче кандидатских экзаменов выдано в 2018 г.федеральным государственным автономным образовательным учреждениемвысшего образования «Санкт-Петербургский политехнический университетПетра Великого» Министерства образования и науки Российской Федерации.В 2013 году С.А.

Конаков с отличием окончил Федеральноегосударственноебюджетноеобразовательноеучреждениевысшегопрофессионального образования «Санкт-Петербургский государственныйполитехнический университет» с присуждением квалификации инженер поспециальности «Наноматериалы».Диссертация выполнена в Федеральном государственном автономномобразовательном учреждении высшего образования «Санкт-Петербургскийполитехнический университет Петра Великого» Министерства образованияи науки Российской ФедерацииНаучная специальность и отрасль науки, которой соответствуетдиссертация.Материалы диссертации соответствуют следующим пунктам паспортаспециальности 05.27.06 «Технология и оборудование для производстваполупроводников, материалов и приборов электронной техники»:п.1.

Разработка и исследование физико-технологических и физикохимических принципов создания новых и совершенствования традиционныхматериалов и приборов электронной техники, включая полупроводники,диэлектрики, металлы, технологические среды и приборы микроэлектроникии функциональной электроники.п.6.Исследованиеимоделированиефункциональныхиэксплуатационных характеристик оборудования, материалов и изделий по п.1, включая вопросы качества, долговечности, надежности и стойкости квнешним воздействующим факторам, а также вопросы эффективногоприменения.2Отрасль наук: технические науки.Научныйруководитель–кандидаттехническихнаук,Кржижановская Валерия Владимировна, гражданка РФ, доцент кафедрывысокопроизводительныхвычисленийфакультетаинформационныхтехнологий и программирования Санкт-Петербургского национальногоисследовательского университета информационных технологий, механики иоптики.Официальные оппоненты:1.

ГорбачевЮрийматематическихЕвгеньевич,наук,гражданинпрофессор,старшийРФ,докторнаучныйфизикосотрудник,руководитель отдела исследований ООО «Коддан Текнолоджис», г. СанктПетербург;2. Корляков Андрей Владимирович, гражданин РФ, доктор техническихнаук, директор НОЦ «Нанотехнологии», профессор кафедры микро- инаноэлектроникифедеральногогосударственногоавтономногообразовательного учреждения высшего образования Санкт-Петербургскийгосударственныйэлектротехническийуниверситет«ЛЭТИ»им.В.И.Ульянова, г.

Санкт-Петербургдали положительные отзывы о диссертации.Замечания официальных оппонентов:Горбачев Юрий Евгеньевич отмечает, что:1.Приведенные во второй главе оценки числа Кнудсена Kn~0,06соответствуютпереходномурежимутечения,когдаэффектыпроскальзывания и скачка температуры могут быть существенными,однако при численном анализе эти эффекты не анализировались.2.При исследовании влияния диффузии на работу микрореактора3утверждается, что вариация числа Шмидта определяет конкуренциюпроцессов массопереноса за счет диффузии и химических реакций. Темне менее, такой анализ удобнее проводить, используя второе числоДамкелера.

Анализ зависимости от этого параметра представляетбольшой интерес и дает важную информацию о вкладе различныхкомпонентов смеси в рост пленок.3.В пятой главе при записи химической модели ряд реакций записан какобратимые, однако приведены данные только для констант скоростейпрямых реакций.Корляков Андрей Владимирович в качестве основных замечаний отмечаетследующие:1.В тексте диссертации не указан программный пакет, использованныйдля моделирования процессов в микрореакторе, что важно дляобоснования достоверности полученных результатов моделирования.2.Текст диссертации, включающий 240 страниц, избыточно подробен,особенно в части описания выбора сетки для моделированияраспределенных гетерогенных процессов (глава 3).3.РазработкаконструкциимикрореакторовдляХОГФноситпредварительный, эскизный характер и требует конструкторской итехнологической доработки.4.Допущения при решении тепловой задачи в главе 6 носят ограниченныйхарактеринеучитываютособенноститеплопередачивмикромасштабах.Навсезамечанияофициальныхоппонентовсоискателемданыисчерпывающие ответы.Ведущая организация, Федеральное государственное бюджетноеобразовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский4государственный технологический институт (технический университет)", г.Санкт-Петербург, в своем положительном заключении, подписанномпрофессоромкафедрыхимическойнанотехнологиииматериаловэлектронной техники, доктором химических наук, профессором ЕжовскимЮрием Константиновичем и утвержденном проректором по научной работеСанкт-Петербургскогогосударственноготехнологическогоинститута(технического университета), доктором химических наук, профессоромАлександром Васильевичем Гарабаджиу, указала, что диссертационнаяработа Конакова С.А.

посвящена актуальной научной проблеме, являетсязаконченной научно-квалификационной работой, выполненной авторомсамостоятельно на высоком уровне, содержит новые научные результаты,имеет практическое применение.В отзыве подчеркнуто, что диссертационная работа Конакова С.А. поактуальности, научной новизне, практической значимости и уровнюпроведения исследования полностью соответствует всем требованиям ВАКРФ (в т.ч. пп. 9-10 «Положения о порядке присуждения ученых степеней»,утвержденного Постановлением правительства Российской Федерации от 24сентября 2013 г.

№842 (с изменениями Постановления от 28 августа 2017 г.N 1024), предъявляемым к кандидатским диссертациям, а её автор, КонаковСтепан Андреевич, заслуживает присуждения учёной степени кандидататехнических наук по специальности 05.27.06 — «Технология и оборудованиедля производства полупроводников, материалов и приборов электроннойтехники».В качестве основных замечаний в отзыве отмечено:1.В работе представлено несколько графиков, на которых при большихрадиусах показана скорость осаждения менее 1 нм/мин.

К сожалению,для них подробно не расписано, как эти данные соответствуютфизическому процессу осаждения тонкой пленки. Можно ли говорить о5вероятности нарушения сплошности пленки, ожидать смену механизмаеё роста в этих областях?2.В главе 5 при описании возможных конструкций микрореактора длялокального химического осаждения из газовой фазы не сказано онеобходимости и способе контроля давления в зазоре междумикрореактором и подложкой.

Этот момент достаточно важен, т.к.процесс ХОГФ является чувствительным к давлению.3.В главе 6 при описании технологии жидкостного анизотропноготравления кремния в микрореакторе в пластине кремний-на-стекле нерассматривается вопрос о влиянии напряженного слоя на границе.Исходя из описанной технологии анодного соединения пластин, можноожидать, что на границе кремния и стекла образуется промежуточныйслой оксида кремния. Из-за разницы в свойствах этих материалов впластине имеются остаточные напряжения, которые могут влиять как наскорость травления, так и, возможно, на анизотропию.

К сожалению,автор работы не уделил внимание этому вопросу.4.Для предложенной технологии жидкостного анизотропного травления вмикроканале приведены результаты расчетов и экспериментальныеданные о геометрии сечения канала, но практически ничего не сказано отом, существует ли изменение этого сечения вдоль оси канала.На все замечания и вопросы ведущей организации соискателем даныисчерпывающие ответы.Соискатель имеет 14 печатных работ по теме диссертации,опубликованных в реферируемых отечественных и зарубежных изданиях, втом числе в 12-х статьях в ведущих рецензируемых отечественных изарубежных журналах, входящих в список ВАК и базы данных Scopus,получено 3 патента РФ на полезную модель.