071a-6-freview (Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники)
Описание файла
Файл "071a-6-freview" внутри архива находится в папке "Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники". PDF-файл из архива "Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве СПбПУ Петра Великого. Не смотря на прямую связь этого архива с СПбПУ Петра Великого, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
t-oTЗЬIBIIa aBTopефеpaтДиссrpTaции КOHAкOBACтепaнa Aндpеевиua<<ПpoектиpoBaние и paсЧrT хиlvlиЧrских МикpopеaкTopoв ДЛяlvlикpoсисTrшIнoйyсTpoйсTBисПoЛЬЗoBaIIия B TrхнoЛoгииTrxники>>нa сoискaниr yчeнoй с.гrIIrHи кaнДиДaTa TrхниЧeскихrrayк Пo сПециaЛьнoсTи 05.27.06- TrхIIoЛoгия и oбopyДoBaниr ДЛяMaTеpиaЛoB I| Прибopo3ПpoизBo.цсTBa ПoЛyПpoBoДнllкoB'ЭЛекTpoннoй TrхHики.aкTyа"TЬI{oЙ зaДaчи'{исcеpтaция Кoнaкoвa C.A. rroсBященa prшrниiоMaTеpиirЛoBTpaBЛениЯpaзpaбoтки I{oBЬIх TехнoЛoГий лoкaльнoгo oсa}к.ценИЯИЛI4и}ITегpaлЬнЬIxпpoизBoДсTBa ПoЛyПpo3o.цникoBьIх пpибopoв,B ПpoцrсcrчToсooTBетсTByеT(MЭMC),МикpoсxrМ и Микpo-эЛrкTpoМrxaниЧескиx сисTеМПaспopTy сrrrциaЛЬнoсTи 05'21.06 - TехIIoлoгия И oбopy,Цoвaние ДЛяПpoизBoДсTBa ПoЛyПpoBoДI{икoB' МaTеpиaЛoB и пpибopoв эЛекTpol{нoй теxники.B слyuaях кoг.цa Tpa.цициoннЬIe TrxнoJIoГии oсaж.цения и ТpaBЛения МaTеpиaJIoB'oсI{oBaIIнЬIе нa фopмиpoвallии зaщиTI{ЬIx Мaсoк МеTo,цoМ фoтoлитoгpaфии, неaBTop Пpе.цлaгaеT исIIoЛЬзoBaTЬ специaПЬнЬIепpиМениМьIМoГyT бьlтьMикpopraкTopЬI, yсTaIiaBЛиBaеМЬIr в тpебyемoе МесTo ПoлyПpoBoДникoвoйIIЛaсTиI1ЬI.Taкoй пoДхo,ц Mo)кеT исПoЛЬзoBaTЬся Пpи иЗгoToBлении r,циничI{ЬIхoбpaзцoв yникaJIЬIIЬIхyстpойсTB и в Пpoцессr нayчнo-исслrДoBaTrлЬскиx paбoтпo paзpaбoTке IIoBЬIх пpибopoB Микpoсистeмнoй Trхнике.
B связи с низкoйIIpoизBo.циTrJIЬIIocTЬIоTaкoГo ПoДxo.цa rгo ПpиМrнение B МacсoBoМ ПpoизBoДcTBrкpaйне oгpal{ичrнo.oснoвнoй yПop B ,циссrpTaцИИ ДeЛaeТcЯ Ha MoTo,цЬI МaTrNilaTическoгoN{o.цeЛиpoBaЯI4ЯДЛЯ paсЧеTa и oпTиМизaЦИИ napaМеTpoB МикpopеaкTopoB .цЛяxиМическoГo oоant,цrnИЯ уIз гaзoвoй фaзьr и }ки.цкoсTIIoГo TpaBЛеI{ия.
B глaве 3aBTop paзpaбoтaл и oбoснoвaJl МaTrМaTическyю МoДlЛЬ, oписьIBaIoщyю физикoB МикpopraкTopеДЛЯ JIoкaJTЬI{oгoПpoцессЬI' ПpoTекaющиехиМическиroсaж.цеIiия МaTrpиaЛoB из гaзoBoй фaзьi. B глaве 4 и глaве 5 aвтop ПpиМrниJIIIoсTpoеннyЮ Мo,цrЛЬ ДЛЯ иссЛеДoBaI{ия oсalк.цения Из гaзoвoй фaзьl BoсесиМMец)ичI{oM МикpopеaкTopе B зaвисиMoсTи oT пapaМеTpoB ПpoцессaснaчaЛa в oбщем в.klДe,a зaTrМ ПpиМеIIиTелЬнo к pеaкцияМ oсaж'цения кpеMния иapсениДa гaлЛия. B ГЛaве 6 aвтop paоcМaTpиBaеT aI{aJIиTическyЮ Mo.цеЛЬхtиДкoсTнoГo TpaBЛения кpеМния B МикpopraкTopr и пpиBo,циT prзyjIЬTaTЬI ееэкспеpиМrl{TaЛЬнoй тrpoBrpки.Cледyет oTМеTиTЬ' ЧTo aBTop Пpr.цЛaГaеT пrpспrкTиB}IЬIе BapиaнTЬIПpиМrнrния ПprДлoжeннЬIх иМ кoнcTpyкций микpopraкToрoB. B чaстнoсти в 7гЛaBr ПpеДЛoя(енo испoЛЬзoBaTЬ TехI{oJIoгиIoaнизoTpoпнoГo TpaBлeния кpeМния.цЛясoз.цaнИЯ ДuTЧI4КaдиффеpенциaЛЬнoгo ДaBЛеI{иянa oсI{oBе микpoфлroи.цнoгoМoсTa Уинстoнa и TепЛoпpoBo.цящrГo Мo,цyJUI нa oсIIoBе TеПJIoBЬIх тpyбoк'Изoбpетения aBTopa ЗaщищrнЬI пaтентaми PФ.К aвтоpефеpaT.y ДиссrpTaцI{и иМrк)Tся сЛr.Цyющиe Зaшrrчaния :1.
B paбoте нr yкaзaнo кaк oПреДеЛяTЬ ПapaМеTp пpoскЕUIЬзЬIвaния ДЛЯМoДелиpoBaния кoнкpеTHoГo TеХнoЛoгическoгo Пpoцессa. 14з TексTaaвтopефеpaTa I{r яснo исПoлЬзoвiulся Ли пapaМrTp IIpoскaЛьзЬIBaния пpиoTlИcaНI4уLПpoцrсcoBxиMичrскoГo oсa)к,ценI4ЯИTpaBrIения B МикpopraкTopax.2 . B paбoTе oTсyTсTByrT сpaB}Irниr ПapaМеTpoB ПpoцrссoB oсaж,цения И5.TpaвJIеIIия МaTеpиaЛoB B МикpopеaкTopax с ПapaМеTpaМи aнaлoгичныxпpoцеосoB B TpaДициoннЬIх реaкTopax ' Из-зa эToГo невoЗМoжI{o oцениTЬсЛo}кнoсTЬ aДan.IaЦ|4|4 кoIIкprTIIoГo Tеxl{oлoГиЧrcкoгoпpoцrссaДЛяпpиМенeния B МикpopraкTopr.Aвтopoм пpе.цЛoх(енo фopмиpoBallиr MикpoреaкTopoB с IIoMoщЬЮ МеToДazlнo.цнoГo сBяЗЬIBaния кprМния сo cTrклoМ, ЧTo I{aкJIaДЬIBaеTсyщeсTBеIIнЬIеoгpaничения нa oблaсть иx пpиМенeния BBиДy нrpzrзЪeМнoсTи TaкoГoсoeдинrния.
'.{pyгие BapиaIITЬI peaлиЗaции МикpopеaкTopoB в paбoте неIIpедсTaBленЬI и эксПеpиМенTaJIЬнo не иссле.цoBaIIЬI.B целoм yкaзaнIrЬIе ЗaMеЧaния нoсяT в бoльшeй сTепени pекoМенДaTельньrйxapaкTep и нaпpaBлеI{ЬI нa ,цaльнейшее paзBиTие paбoтьr и ее ПpaкTиЧrскoеиспoлЬзoвal{иr пpи сoз,цaнии yстpoйств МикpocисTемнoй TеХники. .{иссеpтaцияяBJUIеTся сaМoсToяTелЬнЬIМ' зaкoнчeннЬIМ 14 aкTyaлЬнЬIМ иссЛе.цoBal{иlМ'BЬIIIoлненнЬIМ нa BЬIсoкoМ нayЧI{oМ ypoBне. oснoвньIе pезyЛьTaTЬI ДиссrpTaцииoпyбликoвaнЬI B 12 сTaTЬяx B )кypнiulax' BxoДящих B IIеprчень BAК илиин,цeксирyеMЬIх Sсopus' и ПpеДсTaBлеIIЬIнa Mехqцyнapo.цнЬIxкoнфеpенцияx.flисcеpтaция ПoЛнoсTЬIo oTвечarT BсеM тpебoвaнияM II.
9 кПoлoжени,l o[pисyя(.цении yченЬIx сTrпеней> (yтв. ПостaнoвлениеМ Пpaвительствa PФ oт24'09'20|Зг. J\Ъ842, prД. oT 28.О8.2О17г.), пpедъявляеМЬIМк ДиссеpTaцияМнaсoиокaние y.rенoй сTrПrни кaнДиДaTaнayк' a ее aBTop КoHAКoB CтепaнAндpеевиv зaслy}киBaеT Пpисyх(Дения yченoй степени кaнДиДaTa Teхническиxнayк Пo специЕrлЬнocти 05,27.06 _ теxнoлoгии и oбopyдoBill{ие ДЛя ПpoизBo,цсTBaпoJryПpoBo.цI{икoB,МaTrpиaлoв и пpибopoB элекTpoннoй теxники.HayнньIй сoTpyДник лaбoрaтopии нaнoбиoтехнoлoгий,-,l o^, \нaнoбиoтеxнoлoгий.цoцеIIT кaфедpьIСaнкт{IS- Ч ( --'Петеpбypгскoгo нaциoнuulьнoгo иссЛеДoвaTелЬскoгo/ LAкaдеминеcкoГoyнивеpсиTетaPAH, к.ф.-м.н.A.C. Бyкaтин|9402I, Caнкт-Петеpбypг,yл. Хлoпи ттa8l З лит.Aтел.8 (812)448-69-80еmail:offiсе@spbau.ruaшцr|а,с/J,Lrf /,Lo rr?f/аe}/.
