071a-5-freview (Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники)

oTЗЬIBнa aBTopефеpaтДиcсеpTaции КoнaкoBa Cтепaнa AндpеевиvaI{a TеМy <<ПpoектиpoBallие и paсЧеT XиMиЧескиX MикpopеaкTopoB ДIIЯисПoЛЬЗoBaъIИЯB TrХHoЛoГии ycTpoисTB МикpocисTеМI{oиTеxI{ики))'Пpr.цсTaBленнoйнa сoискaние yuёнoй степен И КaНДИДaTaTеxHиЧескиx нayкПo сПеци€ ш ЬнoсTи 05.27.06 <<TеxнoлoГИЯИ oбopyдoвa*Иe ДЛя ПpoИЗBoДcTBaГIoЛytlpoBoДникoB'МaTеpиaЛoви пpибopoB ЭЛекTpoннoй теxн ИКИ>>{иссеpтaциoннaЯ paбoтa Кoнaкoвa С.A. oсвещarT Ba}кнЬIеBoПpoсЬI,cBяЗaH.нЬIе c нoBЬIMи МеToДaI\4иB TеxнoЛoГkIИI]poизBoДсТBaиЗДелий микpoсистемнoйTеХники. Aвтop ПpеДЛaГarTПo.цxoД'ocHoBaнньIй нa ПpиМенеHИИXИуIИЧескиxМикpopеaкTopoB .цЛЯoсyщесTBIIэHИЯбезмaсoчнЬIx ГеTеpoГенньIХПpoцеccoB oсax(ДrътИЯИTpaBЛrния. Эти ПpoцессЬI ПoЗBoЛЯIoTpеI]]иTЬpяД TrxнoЛoГическиx пpoблемПo сoзДaнию фyнкциoн€ L ЛьнЬIx сЛoеB IIa МеМ6paнax ГaЗoBЬIXсенсopoB' ПoДBижHЬIxчaсTяХ МикpoМеxaниЧеских сTpyктyp.

ПpедЛaгaеMЬIеTеxrloЛoГичеcкиr pешrHИЯ, pLЗpaбoтaнньrе B xo.це paбoтьl HaД Диссеpтaцией' paсшиpяIoT BoЗМox{нocTиКoнсTpyкTopoB Пo сoЗДaниIo нoBЬIХ изДеЛий микpoсисTеМнoй теxники' ПoэToMyвьIбpaннaя TrМa .циссrpTaЦИИЯBЛЯетсябезyсЛoBнo aкTyaЛЬнoй и вaжной.{иссеpтaциoIIHaЯ p aбoтa иМееT l{ескoЛЬкo кЛIoчеBЬIx Пoк€ t зaтелей ПpaкTиЧескoй З}IaчиМoсTи.B o.пеpвьIx' aBTopoМ ПpeДЛaГaloTся кoнкprTII ЬIe BapИaнTЬI pешения TrкyщиxTеxнoЛoГическиx зaДaч. ПpименяЯ МикpopraкTopЬI, Mo)lшo ПpoBo.циTьocax{ДениrгaЗoчyBсTBиTеЛЬнЬIxсЛorB B сенсopaХ' oсyщесTBЛяTЬМrTaJIЛизaЦиЮЭЛекTpoДoBBМикpoМrxaническиx BЧ кЛIoЧaХи oПTиЧrcкиХ сисTеI\4aХ.Cтoит oTМеTиTЬpешениеЗaДaЧИфopмиpoBanИЯ MикpoкaнaЛoB с ToЧнo Зa.цaннЬIМгиДpaBЛичrскиМ сoПpo.TиBЛениеMB МикpoфлroидньIx сTpyкTypaх.Bo-втopьIx' B ДиccеpТaции .цaеTсядеTaЛЬнoе oПисaние Мo.цrЛейxимическиxMикpopеaкTopoB, oПисьIBaеTсЯMrToДИКa иx paсЧетoв, oбсy}кДaloTсяBoПpoсЬI и3ГoToBЛеI{иЯи ЭксПЛУaTaЦИИ.lрннaя ПpaкTиЧrски Baжнaя инфopМaЦИЯ ПoЗBoЛяеTIIpoBoДиTьpaзpaбoTкy yсTpoйств, кoTopЬIХ Мoxtнo oTнесTи к IIoBoМy кЛaссy иЗДелий микpoсисTеМнoй теxники - MикpopеaкTopoB ДЛя хиMиЧескoГo oсa)кДeНИЯklЗгaзoвoй фaзьI.

Пpиведенt{ЬIеB paбoте prЗyЛьTaTЬIЯBЛЯIoTcяTеoprTиЧескиМ бaзeуcoМ' нa кoTopoМ MoryT в дaльнейшIеMoснoBЬIBaTьсяpaбoтьr Пo сoзДaниЮ МикpopraкTopoB p€ l зЛичнЬIх кol{сTpyкЦии' opиrHTиpoBaIIHЬIX Ha pешениr сПециaJlиЗиpoBaнIIЬIx TrxнoЛoгиЧескиxЗa.Цaч.BьIшепеpечиcЛrHIIЬIе Пoкulзa.ГeIIkIПpaкTическoйЗнaчиМoсти paбoтЬI ПoЗBo-ляIoT сДеЛaTЬ BЬIBO.цo ToМ' ЧTo ПoЛyченнЬIе B хoДе BЬIПoлненИЯ ДИacepTaциoннoГoисcлr.цoBaътИЯpеЗyJIЬTaTЬIMoГyT бьrть исПoлЬЗoBaI{ьI B ПpoиЗBoДсTBенI{ЬIx лaбopa-Topияx ПpеДПpиятиЙ, зaниМaЮщиxся paзpaбoткoй и кoHсTpyиpoBaI{иеM'a TaЮкеПpoизBoДсTBoMycTpoйсTB MикpoсисTеMI{oйTrxIIики.

oсoбеннo инTеpесHo ПpиМе.B Микpopr.нение ПpеДЛoxtеннЬIxTrxнoЛoГий лoкaлЬнoгo oсa}к.цrнияи TpaBЛеНI4ЯaкTopax ПpиMеIIиTrJIЬнoк ПpoцессaM жиДкoсTнoГo TpaBЛrния кpеМния.Hayннaя знaчиМoсть paбoтЬI o[pе.цеЛяеTсяI{oBЬIМиpеЗyЛЬTaTaМи'BПеpBЬIеIIoJIyЧrнHЬIМиaBТopoM B xoДr BЬIПOЛне]fl{уIЯДИcaеpTaциoннoГoисcЛе.цoBaния.Bескaя Мo.цеЛЬМикpop r aкTopoB, кoTop aЯ yЧиTЬIBarTч aсTIIoсTи, Пo сTpo eкa aъIaЛkITичГpaничнЬIе ycЛoBия ПpoскaЛЬзЬIBaHияскopoсTи нa Гpaницax IIoToкa.Bпеpвьtе ис.сЛе.цoBaнЬIзaкoнoМеp}IoсTиМo.цеJIи'oПисЬIBaIoщейпpoцесс xиМическoГo oсa)к.це.HИЯ vтЗгaзoвoй фaзьr B МикpopеaкTopе.

CyЩественнoй ЗHaчиMocтьrо oблaДaетМеToДpешrния ЗaДaЧИoПTиМизaцииПpoЦессaxиМичrскoГo oсaПpе.цЛoxtенньtйж.цrниЯиз гaЗoBoйфaзьtПpи Пoмoщи МикpopеaкTopa.3 (тpи) ПoJIyченнЬIХ ПaTrIITa Пo pеЗyJIьTaTaМ BЬIПoЛнrния Дaннoй paбoтьl пoд.TBеp}к.цaЮTее ПpaкTическyЮ ценнoсTЬ, a oПИcaЕ}laЯ aHaJIИTИЧескaяМo.цеЛЬ,pе.зyЛЬTaTЬIиcсЛе.цoBalИЯ ЗaкoнoМеpнoстей её пoве.цeьИЯи ПpеДЛoженньtй MеToДoIITиМизaЦииПpoцессa xиМичrскoгo oсa}к.ценияB сoBoкyПнoсTи MoГyT сTaTЬ oснoвoй .цJIя.ц€LЛЬнейшrиxнayчнЬIx иссЛrДoB aниЙ.HесмотpЯ Нa вьtсoкий ypoBеHЬ Пpе.цсTaBЛеннoгoиссЛrДoBauИЯ И цrннoсTЬПoЛyЧrннЬIx pеЗyЛЬTaToB'сЛеДyеTOTMеTиTЬpяД неДoсTaTкoBaвтopефеpaTa:1.

B paбoTе paссМaTpиBaloTся гaзoфaзньIе ХиМические MикpopеaкTopьI' кoTopЬIеpеaкTopЬI' Bнaxo.цЯTсЯI{aнекoTopoМ paссToЯнии oТ Пo.цЛoжкИИ >КИДКoфaзньIекoTopЬIx сTекЛo BПЛoTIIyIo ПpиJIегaеT к кpeМHиIо. К сoжaлениIo'Hе paсcМoT-pенЬI oбpaтньIе cгуЧak1 B ЧaсTHoсTи' не яснo, Mo}I(}IorIИ peaЛИзoBaTЬГaзoфaз.нЬIи pеaкTop с ПЛOTI{ЬIМПpиJIrГaниеM к Пo.цJIo)кке' с цеJIьIO ПoЛyчения ooЛеrчеTKиx |рaниЦ oблaстей oca}КДeНИЯ,TеxIIoЛoгии хtиДкocTнoГo TpaBЛrния кpеМния B Mикpopеaк.2.ГIplа paссМoTpelнИI4Topе oTсyTсTByет инфopМaЦия o ЗaBисиМoсTи Пpoцессa oT.цaBЛrI{ия.Пo иМеК)щиМcЯ oцrнкaМ, ДЛя oсyщrcTBJIения TечениЯ }ки.цкoсTиB МикpoкaнaЛе неoбxo-BoЗMoxtнo'ПoBЛияеTбoльtшoйпеpепaДДaBJIенИЯ)ЧTo,ДиМo сoЗдaTЬ.цoсTaToЧнoнa МrxaниЗM TpaBЛeНИЯ,ПpиведеннЬIе BoПpoсЬIи ЗaMrчaния нoсяT yToчнЯЮщий'xapaкTrp и не BЛияIoTнa oбщyro BЬIсoкyЮ oценКy ypoBIIЯ paбoтьr.Зaклroчeние!иссеpтaЦиoннaЯ paбoтa Кoнaкoвa Cтепaнa Aндpееви.la <ПpoекTиpoBaIIиеи paсчеT ХиMическиХ МикpopеaкTopoB.цЛяиcПoЛЬзo&aНИЯB TеXIIoЛoГииycTpoйствМикpoсистемнoй TеxHики) яBЛяеTсЯ зaкoнченнoй нayЧнo-квaлификaциoннoйpaбoтoй,aBTopoМ' сoДеpжиT нoBЬIе нayчнЬIе pеЗyЛьTaTЬI,ПpиMеIIение и сooTBеTcTByеT тpебoвaниям <<ПoЛoхtения oBЬIПoЛненнoй личнoиMеrT ПpaкTичrскoеvIПpисyЖДeтklИ yченЬIx степеней>>.Сoдеpхсaние aвтopефеpaTa ДИacep^ГaЦИИoПyбЛикoBaннЬIx paбoтoTpaх{aеT ocнoBIIЬIе ПoЛoхtения ДиссеpTaциoннoГoиссЛе.цoBaHИЯ.Aвтop ДиссеpTaЦиoннойpaбoтьIКoнaкoв Cтепaн Aндpеевич ЗaсЛy)киBarTПpисРкДения yuёной сTеПени кaнДиДaTa Tехничeских нayкПoсПeциaЛЬHoсTи05.27.06- <<TехнoЛoгияи обopyлoвaние ДЛя ПpoизBoДсTBaПoЛyПpoBoДникoB'IиaTеpиaЛoBи пpибopoB эЛекTрoннoйTеxники>>.Кoссoв Bлaдимиp ГpигopЬеBиЧГлaвньtй TеxHoЛoгHaчaльник yчaсTкaBaкyyМнЬIx цpoцессoBHeстepoв Игopь AнaтoльевичПpoиЗBoДсTBеI{нoГooT.цеЛa,к.T.I{.oргaниз aЦия: Ao <Hayrнo.пpoиЗBo.цсTBе}IнoеПprДпpияTие( ЭЛAP)Aдpес opгaнизaции:ПpoсПекTTopезa, Д.

68, лит. A, ПoM. 9H, Caнкт*Петеpбypг,I 94223, Pоссийскaя ФедеpaЦklЯTелефoн:+7(8I2) 552-4|-з5Е-mail : mail@npp'еlar.ruПoДписи Кoссoвa B.Г. и HeстеpoвaИ.А,.зaBrpя}oFIaчaльник oTДеJIaкa.цpoB<Й7Игнoвa oльгa Aлексaн.цpoBнa2 0 1 8г .ЭdЧЬt,aТuNъЪ)o \?э./|aFч169,,o,oФ|а.