071a-4-freview (Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники)
Описание файла
Файл "071a-4-freview" внутри архива находится в папке "Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники". PDF-файл из архива "Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве СПбПУ Петра Великого. Не смотря на прямую связь этого архива с СПбПУ Петра Великого, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
oтзьIвнa aвтopефrpaT.цисcеpTaции Кoнaкoвa Cтепaнa Aндpееви.ra IIa TеMy кПpoектиpoBal{ие иpaсчeTxиМическиxМикpocиcTемнoйМикpopеaкTopoBДля исIIoJIЬзoBaIIия B ТеxIIoJIoгии yстpoйствTехI{ики)), пpе.цсТaBЛrннoй нa сoискaниeyvёнoй сTrпoни кaн,ци,цaTaTexl{ическиx нayк [oсПециaJIЬIIoсTи 05,27.06 _ кTeхнoлoгияи oбopyдoвaнИeДIтЯпpoизBo.цсTBa Пoл).пpoвo.цникoв' мaTеpиttлoв и пpибopoB элекTpoннoй TеxIIики)Кoнaкoв С.A.
в свoей.циссеpTaциoннoй paбoте oсBrщarт aкTyaлЬньIе BoIIpoсЬI)cв.ЯзaIIнЬIе с paзpaбoткoй нoвьrx IIeTpaдициoнньIx TеxI{oJIoгий пpoизвo.цсTBa из.целий микpoсисTeМIIoй тeхlтики. Aвтop пpе.цЛaгaеT исIIoЛьзoBaTЬ xиМичеcкие MикpopraкTopЬI .цЛяoсyщrсTBлrIIия JIoкaJIьI{ЬIxпpoцrсоoB oсaждения и TpaBЛrния' BМеcTo oбьIчньтх Мrтo.цoB'BклIoчaющиx нaIIЬIJIеI{иеслoеB' литoгpaфиIо и TpaBление. Bьrбpaнньrй пo.цхoД oтЛиЧarTTaк и .цJUIпpaкTиЧеcя I{oBиз}Ioй и имеeт бoльшие пеpcпrкTиBЬI кaк.цJUI сBoегo paзB|4"|у|Я'скoгo пpиМенения.
Пoэтoмy aкTyaJIЬнoсть вьrбpaннoй TrМЬI.циссеpтициoннoгo исслr.цoв;aъl.:ylЯIIе BЬIзЬIBaетсoмнeний.HaуrнaяцrннoсTЬ paбoтьI Кoнaкoвa C.A. oпpеДеляrTся TеМ' чTo в ней ДocTyIIнoизJIo)кeньI oсIIoBЬI TеxнoЛoгии rItиДкoсTIIoгo TpaBЛеIlия кprМния B Микpoкal{ilЛе. TaкжеДaнЬI МoДеJIи' коTopЬIе Мo}кнo испoльзoBaтЬ .цJUIpaoчеToв' Мo,целиpoвaкvlЯkI вьrбopa oсIIoBIIьIх пapaMrтpoB Микpopeaктopa нa эTaIIе егo нaчaлЬнoгo пpoекTиpoBal{ия. I{еннoстьro oбла'цаroт нaй.ценньIе B xo.цr исслr,цoвzlну1ЯУcIIoBу|Я'неoбxoдиМЬIr дЛя Лoкzrлизaциигaзoфaзньтx пpoцеcсoв. oни пoзBoJU{Ioт прoBrсTи бьrстpьrе oцrнки BoзМo)кнocTи пpoве.цения неoбxo.цимoГo TexнoЛoгичecкoгo пpoцесоa B Микpopеaктope' a Taкже rгo пapaМeтpoB.CoвмеcтнorиcпoЛЬзoBallиr в paбoте piBЛичIIЬD( МoTo.цик нaупroгo пoзнaния oбеc-IIечиBaeT BЬIсoкoе кaчесТBo lIoлyчaeМЬrx pезyЛЬTaтoв.
Иx сoГлaсoBaIIнoсTЬ кaк Mеж'цyсoбoй, Taк и с .цaннЬIМи, кoTopЬIe изBесTIIЬI из ЛитepaTypЬI, пoзBoляеT гoBopитЬ o .цoсToвrpнoсTи фopмyлиpyrМьIxв paбoте BЬIBo,цoB.AвтоpефrpaT и Пpивr.цeнньIй B IIриЛoхtе.Teкст инии cписoк пyбликaций oтpaх<aеTсoДеpхtaние .циссеpTaциoннoгo иссЛе.цoBa:"|k|Я.кaчесTBе[Iнo и без зaмечarтиil.иЛJIIocTpaции BЬIПOJII{еньIC пpaктинеcкoй Toчки зpениЯ oсoбеннo приBЛекaтеJIЬнЬIМ BЬIгля.циTIIpе.цJIoх(еннaяв paбoте TеxнoЛoгиЯ х(и.цкoсTIIoГo aнизoTpoпнoгo тpaBлеI{иЯ кpеМния B MикpoкaнaЛr.Исхo.ця из зa.цaч пpoизBo.цсTBa сoBprМеннЬIх из.целий MикрoсиcтемнoйTlxHики' Мo}кнoпpе.цПoлaгaTЬ' ЧTo .цaнньrй спoсoб Мoxtет .цaть пpеиMyщесTBa пepe.ц тpa.цициoннЬIМ технoЛoГическиМ МapшpyToМ.
К ДoстoинcтBaМ пpoцrсcaB МикpopraкTopеoTIIoсиTся ToTфaкт, ЧTo.цЛя Пpoцr,цypЬI aнизoTpolrнoГo TpaBпrIIия кprМния HеT неoбxo.цимoоTи B зaщи-то неoбpaбaтьIBaeмoй сTopoнЬI, нa кoTopoй мoжет paсIIoJIaгaтЬся пoлyпpoBo,цникoBaяили МикpoMехaниЧecкaя сTpyкTypa.Moхснo oTМeтиTь IIеcyщесTBrI{нЬIе не,цoсTaтки aвтopефеpaTa' кoTopьIе зaклюЧaеTсяB ToМ' ЧTo B IIеМ пoдpoбнo не pacсМaTpиBaeTcЯ BoIIpoс o МеTo.це сoе.циIIrния cтекЛa скprMHиеМ.
Hичегoнe скaзaнo o BoзМo)кIloсти BpoMеIIнoгo сoе,цинеI{ия cтеклянoйикpеМниeBoй плaстин c цrлЬю пpoBеДениЯ Пpoцессa щaBJIеIII{я) c uIx ПoоJIe,цyIoщиМ pa:}.цrJIrниеМ. Taкже не .цaнЬI кoММeнTapии oTIIocиTrлЬнo в.IIиIЯ:ниIЯфopмьI пoпеprчнoгoсr-чrниЯ кaI{aJIaB сTrкJIr нa пpoцесс TpaBлrIIия кpМния.BpaбoтaцrлoМ'Кoнaкoвa<ПpoектиpoBal{иеC.A.И paсчеTxиМичlскиxMикpopеaкTopoB.цJUIисrroЛЬзoBallияB TrхIIoЛoгии ycтpoйcTв Микpoсистемнoй Tеxники))пpигo,цIIЬIe,цляяBJIяeTcязaкoнЧеннЬIМTpy.цoМ'сoдеpжaщиМ }IoBЬIeнayЧнЬIеpе3yJIьTaTЬI'пpaктическoгoпpиМенrния.oнaBьIIIoЛненa личнoaBTopoМ ИcooTBеTсTByrTтpебoвaнишл <Пoлoжrния o пpиcy)кДении yчrнЬIx степеней>.
Aвтop .цисоrpTaциoннoйpaбoтьI Кoнaкoв Cтeпaн Aндpeеви.r зaсJIy)киBarт пpисyя(.цrния yнёпoй стrпeникaнДиДaTa Teхничrскихнayкпo сllециaлЬнoсTи 05.27.06<<Tеxнoлoгия ||oбoрyлoвaниe Для пpolrзBoДстBa lloЛyпpoBo,Цникoв' ПIaтеpиaлoB *| прибopoвэЛeктpoннoи техники>).BедyщийинженеpHПК-2 ПTo отдел23,ТyгyrшевMapaт ШaмильевичopгaнизaЦия: Aкциoнepное oбществo <Cветлaнa-Электpoнпpибop>A.цpесopгaнизaции:|94156, Caнкт-Пeтеpбypг,пp. Энгельca'д.27, лит.
C, пoм.2-нTелефoн:(812) 554-0з-80,293-|2-8IЕ-mail : svеtlana@svetlanajsc.ruПo.цпись ФИo пo.цIIиcaIITaзaBepяюwWry'triryP*у- /Й4uffo0UnЦo27,',Io/,,Дftlo.свl./,а./ФИ.
