071a-2-opreview (Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники)

,oTЗЬIBoфициaЛЬнoгooППoпептаpaбoтyКoнaкoвa Cтепaнa Aндpеевинaнa .циссеpTaциoннy}oи paсчет хиМиЧескиХМикpopraкТopoB.цЛяиспoЛЬЗoBaнияB<ПpoектиpoBal{иенa сoискaние yuёнoйтехнoлoГииyстpoйстB Микpoсистемнoйтехники)),пpеДсTaBленнyЮТехниЧескиxнayк Пo специaJIЬнoсTи05.27'06 <TеxнoлoгияисTеПеникaнД.и.цaTaи пpибopoв эЛекTpoннoйlroлyПpoвoДникoB'МaTеpи.rЛoвoбopyДoBaHИeДЛЯпpoизBoДсTBaTехники))TеvIьt!иссеpтauиoннaягoиpaбoтa l(oнaкoвa C. A.

пoсвяIценa pешени}o aкTyаЛЬtloй пpoбле-Tеxltики. CoвpеменнЬIе TенMЬI B TrxнoЛoГии пpoи3Bо.цствa yстpoйстB Микpoсистемнoйу| МикpoМеxaники зaкЛю.ценции ptBBиTия paзнooбpaзнЬIх yсTpoйств микpoэлекTpoIIИКИB кaчестве ПpиМеpoBчaIоTся B paспpoсTpaнении сЛoжньш кollсTpyктopскиx pеtпений.и МoстикoBЬIМTaкиx TеI{.ценций paзBиTия Мoжнo oTМетиTЬ пеpехoд к мембpaннЬIМнa бoкoвьlе IIoBеpxнoсTи BсTpyкTypaМ B гaЗoBЬIx сrнсopax' нaнесеHие МеTaJIЛиЗaцииTpеxМеpнaя иI{TrгpaцияМикpoМехaltическиx BЧ пepеключaтеЛях и ollTичeскиx клЮчaх'B сoBpеМrннЬlx сенсopax.ЧyBсTBиTеЛЬнЬIхэлеМенToB и oбpaбaтЬIBalolциx МикpoсхеМэффекTиBIIOpеaлизoBaнЬIЭти и МнoГие.цpyгие кoHсTpyкТopскиr pешrния не МoгyT бьIтьсеГoДня иlЦyTся aЛЬTеpнaпpи ПoМoщи TpaДициoннoй пЛaнapнoй TеxlloЛoГии, пoЭToМyTехнoЛoгии безмaсoЧlloГoTиBI{ЬIепpoцессЬI и МеTo.цЬI'Aктивнo paзBиBaIоTся лaЗеp}IЬIеэЛекTpoники, иссле.цyIoToсa)кдения и TpaBЛения, сисTеМЬI сTpyйнoй ПеЧaTи Для гибкoй6aзиca идет эффекся пyЧкoBЬIе МеTo.цЬI.oднoвpеменнo с oTpaбoTкoй теxнoлoгиЧескoГoГДе эTи пpoцессЬI пoкaзЬIBaTиBIIЬIйпoиск нишеBЬIx oблaстей пpиMеIIения, Tеx сЛyЧaеBBoзМoжнoсTи .цля кoнстpyиpoIоT Bсе сBoи ПpеиМyЩесTBa.

Чaстo эТo oTкpЬIBaети IIoBЬIеиЗ.цrЛий МикpoсистеМнoйBaНИЯ'Мoжнo ГoBopиTЬ, чTo сеГo.цня Пеpед paзpaбoTЧикaМиЧyBсTByеTся нехBaTкa пpинTехники сToиT llpoблеМa ТехнoЛoГиЧескoГo paз}rooбpaзия.oснoBе кoTopЬIx Mo)кнo сoз,цaTЬнoBЬlециПиaJIЬI{oинЬlx TехI1oлoГических pешений, нapaпpибopЬI и ,цoбиBaTЬсяЗa сЧеT эToГo кoнкypеI{TlIЬIxпpеиМyIцесTB.

fiиссеpтauиoннaяПpиМeнению хиМиЧеских Микбoтa КoнaкoBa с.A.' пoсBяЩeннaЯ aНa;1ИЗуBoзМo)кнoсTиpopraкTopoB .цЛя ПpoизBoДсTBa из,цеЛий микpoсисTеМнoйTrxники кaк paз и ПpеДЛaГaеTBЬIбpaHнoй TеМЬIиссЛеДoo.цнo и3 тaкиx pешений. Пoэтoмy aкTyaлЬнoсTЬ и знaчиМoсTЬBaНИЯсoМнений не BЬIзЬIBaеT.BBS.цеHие'7 rЛaв, ЗaкЛIoЧение и списoк!иссеpтauия изЛoженa нa 240 c, BкJIIoЧarToбoснoBaннЬIМи BЬIBo,цaлиTrpaTypЬI (159 нaименoBaHий). Кaж.цaя гЛaBa зaкaнчиBaеTсяофopмленa. Пpетензий кми. Paбoтa нaписaнa гpaМоTнЬ1м нayЧнЬIМ ЯзЬIкoМ' aккypaТнooсIIoBнoе сo,цеpx(aние .цисoфopмлению неT. AвтopефеpaT B гIoЛнoм oбъеме oTpa}кaеTсеpTaЦии.темьl, yкaЗЬIBaIоTсяцели иBo введении oбoснoBЬIBaеTся aкTya].IЬнoстьвьlбpaннoйl1oЛo}кения'BЬIзa.цaЧиpaбoтьl, oбъектьt и Метo.цoЛoГияиссле.Il.oBaния,фopмyлиpy}oTся}IoсиМЬIенaзaщиTy'ПpиBo.циTся}IayчнaяIIoBизI{aипpaкTиЧrскaязнaЧиМoсTЬиpaбoтьI.xиMиЧеских МикpopеaкB пеpвoй гЛaBе ДaeТcЯпo.шpoбньlЙ aнasтитический oбзopI\,{икpopеaкTopoB'пpитopoB.

Укaзьtвaется сoBpеМенньlй ypoBенЬ paзBиTия ТехнoЛoГииpaзвития и иМе}oПiихся пpoблем. HaBoДяTся пpиМеpЬI Tекyrцих paзpaбoтoк' TеI{.ценцийи ЗaДaЧИисслеДoBaния.oсIloBе эToГo aНaЛИзaобoснoвaнно фopмyлиpyеТся цеЛЬB paбoтe МеTo.цoB}IayчнoГoBо втоpoй гЛaBе oбoснoвьIвarтся вьrбop испoлЬЗyеМЬIхвьlбpaньl МеToДЬIМo.цеЛиpoBaпoзнaния. Пo oбъектиBнЬINdпpичинaМ ДЛя иссЛе.цoBaнияB Теx сЛyЧaях, Г.це ЭTo бьtлoния, xoTя экcпеpиМеI{TaJIЬнЬIерaбoтьl Taкже пpoBo.циЛисЬи лpибли>кeпvlЯ'нa oснoBе кoBoзМoxtнo. B глaве .ц'aнЬIПеpвoнaЧaJlЬнЬIепpеДПoлoженияoсевoй сиММеTpиrй.

ПpивеленoTopЬIх сToиTся aнaJIиTичrскaя Мo.цеЛЬМикpopеaкTopa сс yчеToМ xapaкTеppешrние зaДaчИ нaхo)кДения oс}IoBнЬш пapaМеTpoB МикpopеaкTopa'скopoсTи нa сTеIlкax.нoгo ДЛя микpофлтoиДнЬIx сисTrМ яBления пpoскaлЬзЬIgaнияМaTеМaTиЧескaя Мo.целЬ'B тpетьей гЛaBе ДrTaJIЬнo oписЬIBaеTся бoлее сЛoжнaяМикpopеaкTopa Для ЛoкaJlЬнoгoкoTopaя исПoЛЬЗyеTся .цЛя Пoсле.цyioЩеГo иссЛе.цoBaнияoб исПoЛЬЗyеМЬIxчисленхиМическoГo oсaжДен:,l|Я|1ЗГa3oBoй фaзьl.

Пpиве.шеньI.ц.aннЬIеpaснетнoй сеTки Для дa,чЬ}IейrпегoнЬIx МrToдax pеlllения' a Taкх{е oбoонoвaние вьtбopaиспoлЬзoBaНИЯ.BнетвеpтoйглавеПpиBеДенЬIpезyЛЬTaTЬIBЬIПoЛнениябoльrпoГoкoЛичестBaЧисIIOBе.цениеМo.ц,еЛи'oпиcЬIBa}oIцейЛеннЬIx эксПеpиМrнToB' кoTopЬIе пoзBoЛяIоT пoняTЬгaзoвoй фaзьl, Пpи Bapиaции oстехнoЛoГический пpoцесс хиМическoгo oсa)к.цеHИЯLIЗpезyЛЬTaToв фopмyлиpyеTся неoбxoДиtIoBнЬIx ПapaМеTpoв. Ha oс}IoBaнии ПoЛyченнЬIxxиМиЧескoГo oсa)К.ценияиз Гa3oМЬIе yсЛoBуtЯ ДЛЯoсyшtесTBЛrния ПpoЦессa лoкaJlЬнoГoвoй фaзьl.xиМиЧеских ПpoB пятoй гЛaBr Пpе.цсTaBленьIpеЗyльTaTЬIМo.цeлиpoBaния .цByxB МикpopеaкTopе.

Taкже .цеTa,'IЬнooбсyжцессoB oсa}кДения кpеМния И apcеflИДaгaЛЛияxиМиЧескoГo oсaж.цения из гaзoвoй.цaIoTсяBapиaнTЬI кollсTpyкции МикpopеaкTopa ДляBapиaнTЬI TrxнoЛoГическoГo МapшIpyTa еГo и3ГoToB.фaзьl. '(aloтся сxеМьl и BoзМoxt}IЬIеПpе,цЛo}кеннoГoМеToДa ДЛЯЛения. Пpиведеньt ПpиМеpЬI ПpaкTическoГo испoлЬзoBal{ияTехники.prшения Зa.цaчB TехнoЛoГии ПpoизBo.цстBaиз.целий MикpoсисTемнoйaнизOTp0пнoГo TpaBлеIlияB пrестoй гЛаBе paссМaTpиBaеTся IIpoцесс жиДкoсTIIoГoTехltoлoгии, зaкЛЮ.кpемния B МикpopеaкTopе. ПoкaзьtвaioTся oсIIoB}Iьteсвoйствa этoйTепЛoBoе IIOBеЧalоцlиеся B изМенении фopмьr кaнaJla Bo BprMя TpaBЛе}Iия.ИсслеДyется.цение сисTеМЬI.B седьмойпpoцессaглаве oПисaнЬI BoзМo)кнocTи IIpaкTиЧескoГo tIpиMененияпеpсПекTиBI{ЬtxМикpo}lш.цкoсTIIoгoTpaBЛения кpеМния B МикpopеaкТopе,цЛя сoзДaнияфлтоидньlx сTpyкTyp.BЬIBoДaМи'пpиBе.ценHЬIМиB зaкЛк)чеtlии'fiиссеpтaциoннaя paбoтa зaкaнЧиBaеTсяa Taкже спискoМ иcпoЛЬзyеМЬIx исToЧникoB.BЬIBo.цЬIлoПoлoжения' вЬIнoсиМЬIе aвTopoМ нa ЗaЩиТy, a Taкже Пpе.цсTaBЛеннЬIесoмнений.Гически apгyМrнТиpoBaLlЬIи oбoснoвaнЬI' ПoэToМy tIе BЬlзьIBaIoTfloстoвеpнoсTьПoЛyЧrнньIхpе3yлЬтaToB и BьIBoДoB oпpе.цrляеТся исПoЛЬзyе-МЬIМ кoMплекснЬIМ нayЧнЬIМ пo.цxoдoМ' кoTopЬIй испoЛьзoBaЛсяB иссЛе.цoвaнии.

Пpед-иx pешение пpoBo.цисTaBленнЬIе Мo.цеЛи бaзиpyroтся нa oбoснoBaннЬгx .цoПyЩениях'ЛoсЬПpoBеpеннЬшиМrTo.цaМи.Пoлy.rенньIепpипoМolциpaзЛичнЬIхМrTo,цикpеЗуЛЬTa.IIpе.цстaBЛенияМ.TЬIсoГлaсyIоTсЯ N{еx{Дyсoбoй и не пpoTиBopечaT изBесTнЬIМнayЧнЬIMчToи BЬIBoДoB не BЬIзЬIBaет сoMIIrний'.[oстoвеpнoсть ПoЛyЧенньIх резyльтаToBpoссийскиx кoнфеpeнпo.цтBrp)IqцarTсяaПpoбaциrй paбoтьr нa l0 МехrДyнapoДнЬж иB l2 стaтьях B pефеpиpyеМЬIxциЯх' пyбЛикaцияМи oснoBнЬrx pеЗyЛЬTaToBиссЛе.цoBaнияPФ.жypнaЛaх из сПискa BAК и Sсopus, a Taкже нaЛиЧиеМ 3 пaтентoвHay.rная [IoBизнa.Cpеди нaибoлее 3нaчиN{ьIх и ценньIх нayчньIхpr3yЛьTaToB .циссrpTaциoннoйpaбoTЬIКoнaкoвa C.A. мoжнo BЬI.целиTЬсле.цyЮЦие'oсесиМ- Пpи пoМolци пpе.цЛoженнoй метo.цики paсЧеTa И aНaЛИТиЧrскoй I\,IoДеЛискopoсTи нa сTенМrTpичнЬIх pеaкTopoB' кoTopaя yчиTЬIBarT яBление пpoскaлЬзЬIBaнияГеTеpoГеннЬIхкax' TеopеTиЧески oбoснoвaнЬI yсЛoBия, нeoбхo.циМЬIе .цля ЛoкaлизaЦиипpoцессoB B МикpopеaкTopaх.- Для МикpopеaкTopaс oД.t{иМцrHTpaлЬHЬlМКaнaЛoМBПepBЬlе пpoBеденЬlкoМПЛекснЬIеиcсЛеД.oBaHияПOBеД.еFIияМo,цeлипpoЦессaЛoкaлЬнoГoхиМиЧескoГooсaжДeЕИЯp|зУстaнoвленo неoбхoдиМoегaзoвoй фaзьl в зaBисиМoсTи oT TеxнoЛoгиЧескиx ПapaМeТpoв.yсЛoBиr,цля ЛoкaЛизaЦИу|oсa)кДениЯ.- Пpеллoженa кoнсTpyкция Микpopеaктopa .цЛя pеaЛиЗaЦии пpoцессa ЛoкaJlЬнoгoкaк с еГo ПoМotцьto Мo)кнoxиМиЧескoГo oсaжден|4Я|1згaзoвoй фaзьl.

,{aнo oбoснoBaние,ГaзoBoй фaзьl.prIIIиTЬзa.цaчyПo oпTиМиЗaции TехнoЛoГии xиМическoГo oсa)к.цeНИЯvв-BпеpвьleпoкaзaнaBoзМoжнoсTЬpеaЛиЗaцИИНaпpaктИкrтrxнQЛoгИЧrскoГoПpoцrссaoПи.ПoстpoенaМo.0'еЛЬ'кpеМHияB МиКpopеaКтopе.TpaBЛrHияa'{иЗoтpoпHoГo}I(иДKoстнoгocЬIBaюшIaяиЗМенеHиеГиД'paBЛиЧескoгoДИaгllетpaКaHaлaBПpoцессеTpaBЛенияииссЛедoBaнЬI теПлоBЬtе свoйствa сисTrМЬl'кprМний нa сTекЛе с 3a. Paзpaбoтaн спoсoб фopмиpoвaния кaнaлoB B flлaсTинax.цaннЬIМгиДpaBЛическиМсoпpoTиBлениеМ,oснoBaннЬйнaиспoЛЬЗoBaнииTеxнoЛoгиипoМolцЬю нoBЬIxBoзМoжнoсTЬ изгoToBЛеI{ияс егoTpaBЛения B МикpopеaкTopе.

ПoкaзaнaсвoйсTBaМи.микpoфлroиДнЬIx сTpyкTyp с yникaJ.IЬньtмипpoсTьlх (бaсoсToиT в paзpaбoтке и сoз.цaнииПpaкти.lеская 3нaчиN{oсTь paбoTЬIпpoс пoМoЩЬЮ коTopЬш Мoжнo бьIстpoзoвьlx) мо.целей xиМических МикpopеaкTopoB,paзpaбoтки.сисTеMЬI нa эTaIIе её пpе.цBapительнoйBo.циTЬoценки oсt{oBнЬIx ПapaМеTpoBpaбoтa .цaеT IIpе.цПoсЬIЛкиДля сoзДaнияMoжнo гoBopиTЬ o ToМ' ЧTo ДиссеpтaциoннaяTех}tики - xиМических МикpopеaкToIIoBoгo шиpoкoГo кЛaссa изДелий N{икpoсисTемнoйBaиз гaзoвoй фaзьr. B paбoте пpе.цЛoх(енЬIpo3 дЛя лoкaJlЬItoГo хиМическoгo oсa}к.цениясенсoсoBpеМеннoГo пpoиЗBo.ц.сTBaГa3oBЬIхpиa}ITЬIpешrния TеxнoЛoГических пpoблемПpaкTическy}o ценнoсTЬ пpе.цсTaBЛяеTpo6 и МикpoМехaническиx сисTеМ. CyшественнyюpешеHktЯ зaДaЧИ oптиMизaЦии теxнoи пpеДлo}кенньtй в paбoте спoсoб ЭМпиpиЧескoгoбoльпloгo ЧисЛak|З гaзoвoй фaзьl, IIyTrМ ПpoBе.ценияЛoгическoГo пpoцессa oсaж.цену|Яaнизo.кaк paзpaбoTal{нaя Tеxнoлoгия жиД,кoсTнoГoOIIЬITOBB Микpopеaктopе.

Покaзaно,TpoпнoгoTpaBЛrниякpеMнияBМикpopеaкTopепoзBoЛяеTсyIцесTBеннoyпpoсTиTЬпpoкpемний-нa.сTекЛе,цесс сoЗдaния кaпиЛляpoB B сTpyкTypaхсЛес ДиссеpTaциoннoй paбoтoй' Boзt{икЛиBместе с TеМ' B хoДе oзнaкoМлeния.цyюЩие BoIIpoсЬIи ЗaМеЧaния.1'BтекстеДиссеpTaциинryкaзaнПpoгpaМMньtйгlaкет,испoЛЬзoBaнньlйДЛяМoДепoЧTo Ba)кнo .цля oбoснoBaния .цoсToBернoстиЛиpoBa}IияпpoцессoB B МикpopеaкTopе,ЛyЧеннЬIх pезyлЬTaToBМoДелиpoBaния'2.Tекст.циссеpTaции'BклIoЧaющий240cтpaниц,избьtтoчнопoДpoбен'oсобеннoвгrTеpoГrннЬIx ПpoMo.цеЛиpoBaI{ияpaспpеДеленнЬIxчaсTи oПисaниЯ вьlбоpa сеTки дляцессoB (глaвa 3).для ХoГФ нoсиT пpе.цBapиTельttьIй,3. PaзpaбoTкa кoнсTpyкции МикpopеaкTopoBи TехнoJIoГическoй доpaботки.эскизньlй xapaкTеp и тpебyет кollсTpyкTopскoйxapaк.зaДaЧИB гЛaBе 6 нoсят oгpaничеl{ньй4.

,Цoпyщения пpи pешении тепловoйB МикpoМaсrштaбaх.теp и не yчиTЬIBaIoтoсoбеннoсTи TrIIЛoПеpе.цaчиTемнеМенее,yКaзa}iнЬIезaМеЧaнияненoсяTПpинципиaJlЬнoГoхaрaкTеpaинeзнaчиМoсTи ДиссеpTaциoltнoГo иссЛе.цoBaI{ия'снижaIoT нayннoй и пpaктиЧескoйЗarслrочениeHa оqнoве изЛoженнQГo счиTaIo, ЧTQ рaбoTa I(qнaкoвa Cтепaнa AнДpеевичa<Пpoектиpoвaние kl рaсчеT xиМиЧеских МикpQpеaкToBoB ДЛя испoЛьЗoвaния BTеxнQлoгии yстpoйств МикpoсисТемной Tеxники) 'IB.гIяеTсязaкQнченнoй нa1ннoквaлификaциoннoй Paботoй, BЬIПoЛненн0йЛиЧнo aвTopoМ нa BЬIсoКoпlypoвне. oнaПoЛtloсTЬюсooтBеTсTByеTBсем тpебoвaниямBAК PФ (в T.Ч.

flП.9-10 <ПoлoжениЯoпopяДкепpисy{tДенияyЧенЬIхстепеней>,yтBеpжденноГoПoстaнoвлениеМIlpaBителЬствaPoссийскoй Фелеpaшииoт 24 сентябpя 20l3 г. Jt842 (с изменениямиПoстaнoвления oT 28 aBГyсТa 20|7 г. N|a2q'пpеДъяBЛЯеМЬIМк кaнДи.цaTскиМДиссеpTaцияNI'a её aвтоp, Кoнaкoв Cтепaн Aн.цpеевич,зaсЛyx{иBaеT пpисyщДенияyяёнoй сТепrни кaнДиДaтa тrхническиx нayк п0 сПециaлЬнoсти Q5.27,a6<<Tехнoлoгияи oбopyДoваниеДJIя ПрoиЗBoДсTBaПoЛyпpoBoДни}сoB'L{атеpиaлoвипpибopoв эЛекTpoнtloйтехники>>.oфициa.пьньlйoппoнент,дoкTopTехI{ическихнayк' ДиprкTopFIoЦкHaнoтеxнoлoгии)' пpoфессopкaфедpьIМикpo. и нaнoЭлекTpoникиФГAoУBo<Caнкт-ПетеpбypгскиЙгoсyлapственньtйytIиBеpсиTет..ЛЭТИ''ЭлекTpoTехническийКopляковA.B.им, B.И. Ульянoвa (Ленинa)>,Aдpес: |97376,Caнкт-Петеpбypг,yл.

Пpoф. Пoпoвa,Д . 5 ;Tел.(812)2з42757,е-mail:akgdG)yФdgJui1'iу,/8Пoдпись.цoктopaTеxническиxнayк Кopлякoв A.B.y.цoсToвrpяю:l1p"t,u*"с"/jz}4 с/Q-&*k ,Й1И7l?эу*фв*ссЙ.