071a-1-freview (Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники)
Описание файла
Файл "071a-1-freview" внутри архива находится в папке "Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники". PDF-файл из архива "Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве СПбПУ Петра Великого. Не смотря на прямую связь этого архива с СПбПУ Петра Великого, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
oтзьIвнa aвтopефеpaT ДиссrpTaЦии Кoнaкoвa Степaнa AндpеевинaIIa TеМy кПpoeктиpoBaние и paсЧеT хиМическиХ МикpopеaкTopoBдЛя исПoЛьзoBal{ия BTrХнoЛoГии yстpoйстB микpoсистемнoй Tехники)' ПpеДсTaBJIеннoйнa сoискaние yuёнoйсTеПени КaшДИДaTaTехIlическиx нa}к Пo сПrциaJIЬI{oсTи 05.27 '06 -<TеxнoJIoгия иобopyдoвaнkIe ДЛЯrrpoиЗBoдстBa IloЛyПpoBoДникoB, MaТrpиzlЛoв и пpибopoB элекТpoннoйTеХники))CoвpeменнoеrrpoизBoдсTвo издeлиЙ MикpoэЛекTpoникии МикpoсистемнoйTlxI{икибaзиpyется нa xopoшo paзpaбoтaннoй технoЛoГии гpyПпoвoгo ПpoиЗBo.цcTBaс испoлЬзoBaIIиеМ MrToдoв фoтoлитoгpaфии и TpaBления. oДнaкo бypнoе paЗBИT'тe этoй oблaсTи B пoсЛе.цнеr BprМя, oсoбeннo B чaсTи paзpaбoтки МикpoМехal{ическихи микpoфлюи.цнЬIх оис-TеM, a Taкже crнcopoB, IIpиBеЛo к poсTy чисЛa paзнooбpaзHЬIх несТall.цapTнЬIx сTp}.кTyp' кo.TopЬIе зaTpy.цilиTеЛьнo иЗгoTaBЛиBaTЬ с Пpиме}IrHиeM TpaДициoHHЬIx TеХнoлoгий.
B этойсBязи aкTyirлЬнoй зaДaчeЙ яBлЯеTся IIoиск IIoBЬIх пpoиЗBoДсTBеIIньIх TехI{oЛoГий, пoзвoляющих pеaлизoBЬIBaTЬ IIеpспекTиBI{ЬIекol{сTpyктopские pешения. !иссеpтaциoннajlpaбo.Ta IIoсBящrHa oДнoМy иЗ Taкиx Texl{oЛoГичеcких }IaПpaвЛrнутЙ_ xутмиЧескиМ МикpopraкTopaМ .цЛЯoсyщrсTBЛеIIия ГеTеpoгенных Пpoцrссoв в гaзoвoй и яtидкoй фaзе, пoэтoМy aкTyaJIЬI{oсTЬвьIбpaннoй TeМЬI иссле.цoBaний сoмнений не BЬIзЬIBaеT.B кaчестве oc}IoBIIЬIхprзyЛЬTaToB .циссrpTaциoнной paбoтьt Мoжнo oTМeTиTЬ ПpеДлo)кеннЬIr МеToДЬI.цЛя[poекTиpoBa}Iия хиMиЧескиx МикpopеaкTopoв' нaйденньIе ЗaBисиМoстиПpoTекaющих в ниХ пpoцессoB oT TеxнoЛoгиЧеcких пapaМеTpoB.C пpaктинескoй Toчки зpения знaчиTеЛЬHьй pезyльTaT пpr.цсTaвляrT пpедлaгaемьrй вpaбoте спoсoб pе[IеHиЯ зaДaЧИ oIITиМизaции Пpoцессa хиМическoГo oсalкДения из гaзoвoйфaзьI c испoЛЬзoBaниеМ Микpopеaктopa.
[aнньIй пoдхoд ПoзBoJIяеTсyщесTBеIIнo yBеЛичиTЬэффективнoсTь ПpoBеДe:нkIЯэксПеpиМентaльнoй paботьr. Bнедpение этoй метo.цoЛoгии яBляrTся oЧенЬ ПеpспекTиBIIЬIМ, пocкoЛькy B пpoиЗBo.цственной пpaкTике нaхoж.цение oIITиМaJIЬI{ЬIхПapaMeTpoB oсa)к.цeния TOIIких Пленoк иЛи нaнoчaстиц яBJUIетOякpиTиЧеcки вa}кнЬIМ МoМеIIToМДЛя цеЛoГo pяДa yсTpoйств, нaпpиМеp кaTaЛиTичеcкиx гaзoBЬIx сенcopoB.I{енньrм нar{нЬIМ prзyЛЬTaToМ ДисcеpTaциoннoй paбoтьr ЯBЛЯеTcЯ.цеTaJIЬнoиссЛе.цoBaIIн.UITrxlioЛoгия )киДкoсTнoгo TpaBлrI{ия B Микpopеaктopе. BпоpBЬIе ПpеДЛoжeнньrй теx.нoЛoГический мapшpyT изгoToBЛeния сoBМeщеннЬIx MикрoкaнaЛoB B МнoгocЛoйньlхплa-сTинax I{е ToлЬкo oTЛичarTся пpoстoтoй и y.цoбсTBoМ, Ho и IIoзBoляrт фopмиpoвaTь МикpoкaнaЛЬньIе сTpyкTypЬI Ha IIлaсTиI{aх с paсПoЛo)кеннЬIми IIa ниx фyнкциoн€lJIьнЬIМи элеМенTtlМи.
Этo oткpьrBaеT I{oBЬIеBoзМoя{нoсTи пo paзpaбoткr сисTeМ микpофлloи.ЩIoгo oхлalкДснИЯ элrМеIIToB MикpoэлекTpoI{ики. oсoбеннoBar{tнo эTo c пpaкTическoй Toчки зpениЯ, BBиДy ПoсToяннo ПoBЬIrшaтощейсяпЛoTIIoсTи МoIITa)кapa.циoэЛrктpoннoй allпapaTypьI..{иссеpтaционнylopaбoтy КoнaкoвaC.A. oтличarT oсIloвaтельньrй пo.цxo.ц, BсrсTo-poннrе paсcмoTprние пpoблем.
,{oстoвеpнocTЬ гIoЛу{arN{ЬIхprзyЛЬTaтoB oбocIIoBЬIBarTcя иХсoгЛacoBal{нoсTЬIo и изBестньIМи ЛиTеpaTypнЬIМи .цaI{нЬIМи,BI{yTpеI{нrй непpoтиBoprчиBoсTь}o' a Taкжr испoлЬзoBaниеМ, TaМ г.це этo бьrлo BoзМoя{IIo' BaЛи.циpoBaIIнЬIxМеTo.цик исслr,цoBallия.
AвтopефеpaT нaПисal{ пoIIяTнЬIМ язЬIкoМ, снaбясен .цoсTaToчньIМ кoЛиЧесTBoМкaчесTBеIIныx илЛIoсTpaций.Мo>кнo oтМеTиTЬ IlедoсTaToк aвтopефеpaTa' кoTopьrй, oднaкo, не сни)кaет oбщей ценIloсTи paбoтьr, зaкЛ}oч€lЮщийся B oTсyTсTBии yПoМинaНvIЯ B IIеМ pешения пpoблемьI фopМиpoBal{ия BI{ешIниx BЬIBo.цoBк МикpopеaкTopilМ. Известнo нескoЛЬкo paзличнЬIx пo.цxо.цoBк иx pеaЛизaции и нr яснo кaкyto иMr}Iнo TехI{oлoгию пpе.цЛaтaеTисПoJIЬЗoBaTЬ aBTop, xoTяПpе.цсTaBЛrннЬIr экопеpиMеIITaЛьнЬIе ,цaнньIе o paбoте микpoфлroи.ЩlьIх оTp}TtTyp с я<и.цкoйфaзoй ПoзBoJIяIoToбocнoвaннo [pеДпoJIaГaTЬ, чTo эToT BoIIpoс бьlл pешен нa ПpaкTике.,{исоеpтaциoннЕUl paбoтa Кoнaкoвa Cтепaнa Aндpeевинa кПpoектиpoBal{ие и paсЧеTxиМическиx МикpopeaкTopoB .цл,I иcIIoЛЬзoBaIIия B TrхнoЛoГии yстpoйстB Микpoсистемнoйзaкoнченнoй нayuнo-квaлификaциoннoйTехники)) ЯвIIЯe^ГcЯaBтoрoМ, сoДеp)IиTIIOBЬIе нa)пrньIе pезyЛЬTaTьI' иМlеTpaбoтoй' BЬIIIoЛнeнЦoй личноПpиМенениепpaкTичrскoeиcooTBеТоTByеттpебoвallияМ кПoлoжения o пpисyж,цении гIеньIx стrпеней>.Coдеpжaниеaвтopефеpaтa.циссepTaции|1 oпyбликoвaнньIxpaбoтoTpaжaloToснoBI{ьIеПoЛoжeния,циссеpTaциoннoгo иссле.цoBaIIия.Aвтop,циccrpTaционнoйpaбoтьtКoнaкoвПрисРкДения y.rёнoй степени кaнДи.цaTa техничrсКиx-11fgкI6лoгияи oбоpyлoвallиеCтепaнAндpeевиuзaсЛy)киBaеTнayк Пo спeциaЛЬнoстиДЛя пpoизBo.цсTBa пoЛyПpoвoДникoв'05.27.06МaтepиaЛoB ипpибopoв эЛeкTрotlной тeхники>>.Пинaев BячеслaвBлaдимиpoви.rHaчaльник cекTopa пJIaIiapнЬжTеxIIoЛoгий, к.T.н.opгaнизaция:oткpьlтoеAкциoнеpнoеoбщество кAвaнГap.ц)'oAo <AвaнГap.ц)fl7,u,.-вfZa*сz*€*€ z сесс t,с Ф ..ст2ф И.3З"'i##.
