Диссертация (Исследование структурно-фазовых состояний и физических свойств алмазоподобных покрытий, легированных металлами VI группы), страница 18

Авдюхина, С. А. Шальнов. Особенностиструктуры и свойств хромовых магнетронных покрытий в зависимости отсостава атмосферы при напылении // Сборник материалов ВторойВсероссийскоймолодежнаойнаучно-техническаяконференциисмеждународным участием "Инновации в материаловедении", сс. 360–361,ИМЕТ РАН Москва, 2015.21. И.С. Левин, М.

М. Хрущов, В. М. Авдюхина, С. А. Шальнов, А. А.Постникова. Особенности структуры алмазоподобных покрытий прилегировании хромом // Научные труды IV Международной конференции"Фундаментальныеисследованияиинновационныетехнологиивмашиностроении", сс. 142–143, Спектр Москва, 2015.22. И.С. Левин, М. М. Хрущов, В. М. Авдюхина, Е. А. Марченко, Ю. А.Тарелкин. Влияние состава активной атмосферы при магнетронномнапылении на структурные и трибологические свойства алмазоподобныхпокрытий, легированных хромом // Cборник докладов V Международнойконференциисэлементаминаучнойшколыдлямолодежи«Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества», сс. 224–226, ИМЕТ РАН Москва, 2014. 13623.

И.С. Левин, М. М. Хрущов, В. М. Авдюхина. Влияние состава активнойатмосферыпритрибологическиемагнетронномсвойствараспылениилегированныхнахромомструктурныеиалмазоподобныхпокрытий // Тезисы докладов научной конференции "Ломоносовскиечтения. Секция физики. 14-18 апреля 2014 года", сс. 31–34, Москва.Физический факультет МГУ им. М.В. Ломоносова, 2014.24. И.С. Левин, М. М. Хрущов, В. М. Авдюхина, С. А. Шальнов. Особенностиполучения данных о тонкой атомной структуре наностуктурированныхпокрытийипленокприихизученииметодомрентгеновскойдифрактометрии // Тезисы докладов "Живучесть и конструкционноематериаловедение" SSMS-2014, с. 37, ИМАШ РАН Москва, 2014.25. И.С.

Левин, М. М. Хрущов, В. М. Авдюхина, А. А. Дубравина, Ю. А.Тарелкин.Рентгеновскаядифрактометриямногофазныхнаноструктурированных покрытий // Современные методы исследованияструктуры материалов и их применение в материаловедении, pp. 37–40,НИТУ "МИСиС" Москва, 2014.26. И.С.Левин,Ю. А.трибологическиеТарелкин,С.

А.характеристикиШальнов,Структурныеалмазоподобныхипокрытий,легированных хромом // XXI Международная конференция студентов,аспирантов и молодых учёных по фундаментальным наукам "Ломоносов2014". Секция "Физика". Сборник тезисов, Секция "Физика", с. 289,Физический факультет МГУ Москва, 2014.27. И.С. Левин, Е. А. Марченко, М.

М. Хрущов, А. А. Дубравина, Ю. А.Тарелкин,С. С.легированныхБукалов,хромомС. А.покрытийШальнов,Структурагидрогенизированногоисвойствааморфногоуглерода // Труды 10-ой Всероссийской научно-технической конференции«Проблемы машиноведения: Трибология – машиностроению», сс.

76–77,ИМАШ РАН Москва, 2014.28. A. P. Semenov, M. M. Khrushchov, E. A. Marchenko, I. S. Levin, A. A.Dubravina, M. V. Atamanov, Deposition technology, microstructure and 137tribological properties of alloyed diamond-like carbon coatings obtained byplasma-assisteddeposition//Сб.материаловVМеждународнойконференции "Деформация и разрушение материалов и наноматериалов",сс. 436–437, Изд. ИМЕТ РАН г. Москва, 2013.29. М. М. Хрущов, Е. А.

Марченко, А. А. Дубравина, И. С. Левин, Влияниетехнологиинанесенияилегированиянаструктуруисвойстваалмазоподобных нанокомпозитных покрытий // Труды VI Евразийскогосимпозиума по проблемам прочности материалов и машин для регионовхолодного климата, т. 1, сс. 95–100, Ахсаан Якутск, 2013.30.

М. М. Хрущов, И. С. Левин, А. А. Дубравина, Методика рентгеновскогоисследования наноструктурированных многофазных покрытий // Труды 11Международной конференции "Пленки и покрытия-2013", сс. 290–292, изд.Политехнического университета Санкт-Петербург, 2013.31. М. В. Атаманов, А.

А. Дубравина, И. С. Левин, Е. А. Марченко, М. М.Хрущов, Состав, структура и трибологические свойства алмазоподобныхпокрытий, легированных хромом // Научные труды II международнойнаучной конференции “Фундаментальные исследования и инновационныетехнологии в машиностроении", т. 1, стp. 84–89, ИМАШ РАН, 2012. 138Выражаю свою благодарность и искреннюю признательность:Моему научному руководителю: Авдюхиной Валентине Михайловне заинтересную тему диссертационной работы, а также поддержку на всехэтапах работы.Хрущову Михаилу Михайловичу (ИМАШ РАН) за неоценимую помощь вобсуждении результатов настоящей работы и постоянный интерес к ней.Марченко Елене Алексеевне (ИМАШ РАН), Петржику МихаилуИвановичу (НИТУ «МИСиС») и Букалову Сергею Сергеевичу (ИНЭОС РАН)за помощь, оказанную при проведении экспериментальных исследований.АтамановуМихаилуВладимировичуиКирпиленкоГригориюГригорьевичу – за предоставленные образцы покрытий.Также хочу поблагодарить студентов кафедры физики твердого телафизического факультета МГУ Тарелкина Юрия, Постникову Анну иШальноваСергеязапомощьприисследований и обработке их результатов. 139проведенииэкспериментальныхСПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ[1].РогачевА.В.Восстановлениеиповышениеизносостойкости деталей машин / Рогачев А.В., Сидорский С.С.

//Гомель: БелГУТ – 2005. – 343с.[2].Jansson U. Sputter deposition of transition-metal carbide films:A critical review from a chemical perspective / Jansson U., Lewin E. // ThinSolid Films – 2013. – V.536. – P.1.[3].Spencer E. Ion-beam deposited polycrystalline diamondlikefilms / Spencer E., Shmidt P. // Appl. Phys. Lett. – 1976. – V.29. – P.118.[4].Bewilogua K. History of diamond-like carbon films – Fromfirst experiments to worldwide applications / Bewilogua K., Hofmann D. //Surf.

Coat. Tech. – 2014. – V.242. – P. 214.[5].Семенов А.П. Трибологические свойства и вакуумныеионно-плазменные методы получения алмазных и алмазоподобныхпокрытий / Семенов А.П. // Трение и износ – 2009. – Т.30. – №1. – С.83.[6].Семенов А.П. Влияние внешней среды и температуры натрибологические свойства алмазных и алмазоподобных покрытий /Семенов А.П., Хрущов М.М.

// Трение и износ – 2010. – Т.31. – №2.– С.195.[7].Kennedy F.E. Tribological behavior of hard carbon coatingson steel substrates / Kennedy F.E., Lidhagen D., Erdemir A., Woodford J.B.,Kato T. // Wear – 2003. – V.255. – P.854.[8].Хрущов М.М. Легированные алмазоподобные покрытиятрибологическогоназначения/ХрущовМ.М.//Современныетехнологии модифицирования поверхностей деталей машин. Под ред.Г.В. Москвитина М.: УРСС / КРАСАНД – 2013.

– 400с.[9].Donnet Ch. New horizon in the tribology of diamondlikecarbon films / Donnet Ch., Erdemir A. // Surf. Eng. – 2008. – V.24(6).– P.399. 140[10].Robertson J. Diamond-like amorphous carbon / Robertson J. //Mat. Sci. Eng. R. – 2002. – V.37. – P.129.[11].Grill A. Tribology of diamondlike carbon and related materials:an updated review / Grill A. // Surf. Coat. Technol. – 1997. – V.94-95. - P.507.[12].Schmellenmeier H. Die Beeinflussung von festen Oberflachendurch eine ionisirte / Schmellenmeier H. // Exp. Tech. Phys. – 1953.

– V.1. –P.49.[13].Aisenberg S. Ion-beam deposition of thin films of diamond-like carbon / Aisenberg S., Chabot К // J. Appl. Phys. – 1971. – V.42. –P.2953.[14].Angus J.C. Dense "diamondlike" hydrocarbons as randomcovalent networks / Angus J.C., Jansen F. // J. Vac. Sci. Technol. A – 1988. –V.6. – №3. – P.1778.[15].Klages C.

P. Microstructure and Physical Properties of Metal-Containing Hydrogenated Carbon Films / Klages C. P., Memming R. //Materials Science Forum – 1990. – V.52-53. – P.609.[16].Benndorf C. Structural and mechanical properties of niobium-containing amorphous hydrogenated carbon films (Nb-C:H) / Benndorf C.,Fryda M., Klages C.P., Taube K., Haubold H.G. // Mater. Sci.

Eng. – 1991. –V.A140. – P.795.[17].Meng W.J. Mechanical properties of Ti-containing and W-containing diamond-like carbon coatings / Meng W.J., Gillispie B.A. // J.Appl. Phys. – 1998. – V.84(8). – P.4314.[18].productionHainsworth S.V. Diamond-like carbon coatings for tribology:techniques,characterisationmethodsandapplications/Hainsworth S.V., Uhure N.J. // Int. Mat.

Reviews – 2007. – V.52. – №3. –P.153.[19].Сhristou С. Ionization of sputtered material in a planarmagnetron discharge / Сhristou С., Barber Z.H. // J. Vac. Sci. Tech. A – 2000.– V.18. – №.6. – P.2897. 141[20].Chapman B. Glow Discharge Processes: Sputtering andPlasma Etching / Chapman B. // Wiley Sons – 1980. – 432p.[21].Tracton A.A.

Coatings Technology Handbook / Tracton A.A. //3th Edition. CRC Press – 2007. – 936p.[22].Ashfold M.N.R. Thin film diamond by chemical vapourdeposition methods / Ashfold M.N.R., May P.W., Rego C.A., Everitt N.M. //Chem. Soc. Rev. – 1994. – V.23(1).

– P.21.[23].БелыйА.В.Структураиметодыформированияизносостойких поверхностных слоев / Белый А.В., Карпенко Г.Д.,Мышкин Н.К. // М.: Машиностроение – 1991. – 209с.[24].Erdemir A. Characterization of transfer layers on steel surfacessliding against diamond-like hydrocarbon films in dry nitrogen / Erdemir A.,Bindal C., Pagan J., Wilbur P. // Surf.

Coat. Technol. – 1995. – V. 76-77. –Pt 2. – P.559.[25].Grill A. Diamond-like carbon: state of the art / Grill A. //Diamond Related Mat. – 1999. – V.8. – P.428.[26].Fontaine J. Towards the use of diamond-like carbon solidlubricant coatings in vacuum and space environments / Fontaine J. // J. Eng.Tribology – 2008. – V.222. – P.1015.[27].Lugscheider E. Cr-C-N coatings deposited with differentreactive carbon carrier gases in the arc PVD process / Lugscheider E., Knotek0., Barimani C., Guerreiro S., Zimmermann H.K. // Surf. Coat. Technol. –1997. – V.94-95. – P.416.[28].Gassner G.

Structure – property relations in Cr-C/a-C:Hcoatings deposited by reactive magnetron sputtering / Gassner G., MayrhoferP.H., Mitterer C., Kiefer J. // Surf. Coat. Technol. – 2005. – V.200. – P.1147.[29].Gassner G. Structure of sputtered nanocomposite CrC x /a-C:Hthin films / Gassner G., Patscheider J., Mayrhofer P.H. // J. Vac.

Sci. Technol.B – 2006. – V.24. –№4. – P.1837. 142[30].Agarwal V. Reactive-magnetron-sputtered chromium carbidefilms / Agarwal V., Vankar V.D., Chopra K.L. // Thin Solid Films – 1989. –V.169(2). – P.281.[31].Minazawa H. Tribological modification of carbon films bysilicon and nitrogen doping / Minazawa H., Sakai U., Kashiwakura Y., UenoM. // Intern. Tribology Congress: Synopses.