Диссертация (Исследование структурно-фазовых состояний и физических свойств алмазоподобных покрытий, легированных металлами VI группы), страница 17

Показано, что высокий уровень физических и функциональных(трибологических и механических) свойств алмазоподобных покрытий,легированных хромом, обусловлен их нанокомпозитной структурой, фазовыйсостав которой включаетв себяультрадисперсные включения фазыметаллического хрома, его фаз внедрения и матрицы на основе аморфногогидрогенизированного углерода.2. Впервые установлено, что в химически осажденных покрытиях,легированных молибденом и кремнием, наблюдаются наноразмерныевключения частиц молибдена и его силицидов.3.

Обнаружено, чтоа-С:H:Si-Moлегирующегоналичие в структуре покрытийрентгеноаморфныхметалла,фаз,приводитвключающихкснижениюва-С:H:W исебяатомытрибологическиххарактеристик таких АПП.4. По рентгендифракционным данным проведен расчет и исследованиеповедения функций радиального распределения (ФРР) атомов в материалепокрытий. Было установлено, что рассчитанные величины межатомныхрасстояний качественно подтверждают результаты проведенного фазовогоанализа для всех исследованных образцов покрытий.Впервыепоказано,чтоамплитудаосцилляцийФРРвнаноструктурированных покрытиях, легированных хромом, значительноуменьшается намежатомныхрасстояниях130порядка10÷15нм,чтосопоставимо с размерами наблюдаемых в них областей когерентногорассеяния(размеромзерен)металлическогохрома,тогдакакврентгеноаморфных покрытиях a-C:Н:W и a-C:H:Mо:Si корреляционныйрадиус не превышает 1 нм.5.

Впервые установлено, что интенсивность образования наноразмерныхвыделений фазы нитрида хрома в покрытиях a-C:Н:Cr обусловленаувеличением содержания азота в составе активной атмосферы. Замещениеазота воздухом в составе активной газовой смеси приводит к исчезновениюалмазоподобной структуры в получаемых покрытиях и, как следствие,сопровождается ухудшением их трибологических характеристик.6. Показано, что нанесение алмазоподобных покрытий методоммагнетронного распыления хрома в активной атмосфере ацетилена и азотаявляетсяперспективнойдляполученияфункциональными характеристиками. 131покрытийсвысокимиСписок печатных работ, опубликованных по теме диссертации1. Khrushchov M., Levin I., Marchenko E., Avdyukhina V., Petrzhik M.

Effect ofstructure and deposition technology on tribological properties of DLC coatingsalloyed with VIA group metals // Journal of Physics: Conference Series, 729,012016, pp. 1-5, 2016. http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/729/1/0120162. Хрущов М.М., Марченко Е.А., Атаманов М.В., Левин И.С., Тарелкин Ю.А.Влияние состава активной атмосферы на трибологическое поведениепокрытий, получаемых реактивным магнетронным распылением хрома всмесях ацетилен-азот и ацетилен-воздух // Трение и износ, 37, №5, сс.

529539, 2016.Khrushchov M. M., Marchenko E. A., Atamanov M. V., Levin I. S., TarelkinYu.A. Effect of Active Gas Mixture Composition on Tribological Behavior ofCoatings Obtained by Reactive Magnetron Sputtering of Chromium inAcetylene–NitrogenandJournalandofFrictionAcetylene–AirWear,37,GasNo.5,pp.Mixtures407–414,//2016.http://dx.doi.org/10.3103/S106836661605007X3.

Хрущов М.М., Левин И.С., Марченко Е.А., Шальнов С.А., Авдюхина В.М.,Петржик М.И. Особенности структуры и технологии полученияалмазоподобных покрытий, легированных металлами VIa группы, и ихвлияниенатрибологическиесвойства//ВестникТамбовскогоуниверситета. Серия: Естественные и технические науки, 21, №3, сс.1405-1408, 2016. http://dx.doi.org/10.20310/1810-0198-2016-21-3-1405-14084.

Левин И.С., Хрущов М.М., Марченко Е.А., Авдюхина В.М. Влияниелегирования на структуру и особенности трибологического поведениявакуумныхалмазоподобныхпокрытий//ВестникМосковскогоуниверситета. Серия 3: Физика, астрономия, № 2, сс. 46–52, 2016.Levin I.S., Khrushchov M.M., Marchenko E.A., Avdyukhina V.M. The Effect ofAlloying on the Structure and Tribological Behavior Peculiarities of Vacuum 132Deposited Diamond-Like Coatings // Moscow University Physics Bulletin, 71,№ 2, сс.

186-192, 2016. http://dx.doi.org/10.3103/S00271349160200655. Левин И.С., Хрущов М.М., Авдюхина В.М., Шальнов С.А., МарченкоЕ.А., Петржик М.И. Влияние особенностей структуры вакуумныхалмазоподобных покрытий, легированных металлами VIа группы, на ихсвойства // Ученые записки физического факультета МГУ, № 3, 163503,сс. 1-3, 2016.6. Хрущов М.М., Марченко Е.А., Левин И.С., Тарелкин Ю.А. Вакуумныеионно-плазменныеалмазоподобныепокрытия–нанокомпозиты:трибологическое поведение и структура // Российский технологическийжурнал, 2, №3(8), сс.

42-55, 2015.7. Хрущов М.М., Атаманов М.В., Марченко Е.А., Левин И. С., Дубравина А.А.,ПетржикМ.И.Алмазоподобныепокрытияснанокомпозитнойструктурой, получаемые реактивным магнетронным распылением хрома всмеси Ar + C 2 H 2 + N 2 , и их трибологические свойства // Проблемымашиностроения и надежности машин, № 1, cс. 37–45, 2014.M.M. Khrushchov, M.V. Atamanov, E.A. Marchenko, I.S. Levin, A.A.Dubravina, M.I. Petrzhik. Diamond-like carbon coatings with nanocompositestructure formed by reactive magnetron sputtering of chrome in an Ar + C 2 H 2 +N 2 gas mixture and their tribological behavior // Journal of MachineryManufactureandReliability,43,No.

1,pp. 29–35,2014.http://dx.doi.org/10.3103/S10526188140100878. Хрущов М.М., Атаманов М.В., Марченко Е.А., Петржик М.И., Левин И.С.Алмазоподобные нанокомпозитные покрытия a-C:H:Cr – структурноесостояние, механические и трибологические свойства // Известия РАН.Серияфизическая,78,№ 10,cc. 1257–1265,2014.http://dx.doi.org/10.7868/S036767651410010XM.

M. Khrushchov, M. V. Atamanov, E. A. Marchenko, M. I. Petrzhik, I. S.Levin. Diamondlike nanocomposite a-C:H:Cr coatings: Structure, mechanical,and tribological properties // Bulletin of the Russian Academy of Sciences: 133Physics,78,No. 10,cс. 1007–1014,2014.http://dx.doi.org/10.3103/S10628738141001049. Хрущов М.М., Марченко Е.А., Левин И.С., Дубравина А.А., Букалов С.С.,Тарелкин Ю.А. Нанокомпозитная структура и трибологические свойстваалмазоподобных покрытий, легированных хромом // Вестник научнотехнического развития, №80, сс.

24-31, 2014.10. Атаманов М. В., Дубравина А. А., Левин И. С., Марченко Е. А., ХрущовМ. М. Состав, структура и трибологические свойства алмазоподобныхпокрытий, легированных хромом» // Проблемы машиностроения иавтоматизации, № 3, cс.

102–105, 2013.11. Хрущов М.М., Марченко Е.А., Левин И.С. Легированные алмазоподобныепокрытия, полученные вакуумными ионно-плазменными методами трибологическоеповедение//VIВсероссийскаяконференцияпонаноматериалам с элементами научной школы для молодежи.

Москва.22-25 ноября 2016 г. / Сборник материалов, сс. 136-137, ИМЕТ РАН,Москва, 2016.12. Хрущов М.М., Левин И.С., Марченко Е.А., Шальнов С.А., Шергунов В.А.Нанокомпозитная структура алмазоподобных углеродных покрытий,легированных металлами группы хрома, и их трибологическое поведение// Трибология – машиностроению: Труды XI международной научнотехническойконференции,сс.257-258,Институткомпьютерныхисследований, Москва, 2016.13.

И.С. Левин, С.А. Шальнов. Влияние особенностей состава и структуры натрибологическиехарактеристикиалмазоподобныхнанокомпозитныхпокрытий, легированных металлами VIa группы // Материалы секции №4Международной молодежной научной конференции "XLII Гагаринскиечтения", сс. 47–48, Институт проблем механики им. А.Ю.

ИшлинскогоРАН Москва, 2016.И.С. Левин, С.А. Шальнов. Влияние особенностей состава и структуры натрибологические характеристики134алмазоподобныхнанокомпозитныхпокрытий, легированных металлами VIa группы // Гагаринские чтения –2016: XLII Международная молодёжная научная конференция: Сборниктезисов докладов: т.

1, сс. 128–129, Московский авиационный институтМосква, 2016.14. М.М. Хрущов, И.С. Левин, Е.А. Марченко, В.М. Авдюхина, М.И. Петржик.Влияние на трибологические свойства структуры и технологии полученияалмазоподобных углеродных покрытий, легированных металлами VI Агруппы // Труды 23-й всероссийской научно-технической конференции смеждународным участием "Вакуумная техника и технологии - 2016",сс. 79–81, Санкт-Петербург, 2016.15.

И.С. Левин, М.М. Хрущов, В.М. Авдюхина, С.А. Шальнов, Е.А. Марченко,М.И.Петржик.Влияниеособенностейструктурывакуумныхалмазоподобных покрытий, легированных металлами VIa группы, на ихсвойства//Сборниктезисовдокладовнаучнойконференции"Ломоносовские чтения. Секция физики, сс. 31–34, Издательский отделфизического факультета МГУ Москва, 2016.16. И.С. Левин, С. А.

Шальнов, В. А. Шергунов, М. М. Хрущов. Структуралегированныхалмазоподобныхнанокомпозитовтрибологическогоназначения // Сборник материалов Второго междисциплинарногомолодежного научного форума с международным участием Новыематериалы, сс. 120–122, Интерконтактнаука Москва, 2016.17. И.С. Левин, М. М. Хрущов, В. М.

Авдюхина, С. А. Шальнов, Структура имеханическиесвойстваалмазоподобныхпокрытий,легированныхметаллами via группы // Сборник материалов VIII Международногонаучного семинара и VI Международной молодежной научной школысеминара "Современные методы анализа дифракционных данных иактуальные проблемы рентгеновской оптики" (Великий Новгород, 22июня - 02 июля 2016 г.), сс. 101–103, ЗАО "Новгородский технопарк"Великий Новгород, 2016. 13518.

И.С. Левин, В. М. Авдюхина, М. М. Хрущов, Ю. А. Тарелкин, С. А.Шальнов, Влияние химического состава алмазоподобных покрытий,легированных хромом, на структурные и трибологические свойства //Ломоносовские чтения. Секция Физика 2015, сс. 57–60, Физическийфакультет МГУ Москва, 2015.19. И.С.

Левин, В. М. Авдюхина, М. М. Хрущов, Ю. А. Тарелкин, С. А.Шальнов, Исследование стуктуры и свойств хромовых магнетронныхпокрытий // Cб.тезисов докладов Шестой Международной конференцииКристаллофизикаидеформационноеповедениеперспективныхматериалов, посвященная 90-летию со дня рождения профессора Ю.А.Скакова. 26 – 28 мая 2015 г, сс. 194–194, МИСиС Москва, 2015.20. И.С. Левин, М. М. Хрущов, В. М.