отзыв научного руководителя (Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем на надежность)

МИНОБРНАУКИ РОССИИФедеральное государственное бюджетное образовательное учреждениевысшего образования"Московский государственный университет информационных технологий,радиотехники и электроники"МИРЭАПр.Вернадского, 78, Москва, 119454, тел (495) 433-00-66, факс (495)434-92-87 E-mail:mirea@mirea.rОТЗЫВ НАУЧНОГО РУКОВОДИТЕЛЯдоктора технических наук, профессора Марина Владимира Петровичана диссертационную работу Дорошевича Павла Викторовича«Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем нанадежность», выполненную на соискание ученой степеникандидата технических наук по специальности 05.02.23 «Стандартизация иуправление качеством продукции»fДорошевич Павел Викторович окончил с отличием Московский госу­дарственный технический университет радиотехники, электроники и автомати­ки (МГТУ МИРЭА) в 2012 году по специальности «Стандартизация и серти­фикация».

Параллельно Дорошевич П.В. получал второе высшее образованиепо специальности «экономика и управление на предприятии (в приборострое­нии)» и окончил его в 2013 году (в том же ВУЗе).С 2009 - 2012 год работал на предприятии ООО «Эленорд», в должностизаместителя генерального директора по качеству, занимаясь системой качествапоставок электронной компонентной базы для поставок на российские пред­приятия, выполняющие государственные оборонные заказы. В 2012 года про­должил работу в ОАО «Радиотехническом институте имени академика A.JI.Минца». Вместе с тем, начиная с 2009 года, Дорошевич П.В. успешно участво­вал в проведении исследований и ускоренных испытаниях сверхбольших инте­гральных схем совместно с ФГУ «22 ЦНИИИ Минобороны России» (Факультетэлектроники - Базовая кафедра № 141).А .

*/- ju p ^Полученные результаты в этих работах Дорошевич П.В. реализовал в ди­пломной работе в 2012 году, которые в дальнейшем легли в основу его диссер­тационной работы.При работе над диссертацией он показал способность самостоятельно вы­являть и решать актуальные задачи в проблеме ускоренных испытаний, а такжеформулировать и излагать требующие решения задачи, выполнять глубокиетеоретические и экспериментальные исследования, проводить методическуюработу.Существующие методы ускоренных испытаний на безотказность инаработку до отказа разработаны применительно к микросхемам с проект­ными нормами 2, 3 мкм и более.

В настоящее время ведущими отечествен­ными предприятиями разрабатываются сверхбольшие интегральные схемы(СБИС) с размерами элементов 0,6-0,13 мкм. Задача определения возможныхвидов и причин отказов указанных СБИС, уточнения методов ускоренных иIэкспериментальных испытаний в части режимов и планов контроля, определения энергии активации актуальны и востребованы в современном микро­электронном производстве. Поэтому в диссертации исследования былинаправлены на решение задач проведения комплекса ускоренных испытанийна безотказность и наработку до отказа для СБИС с проектными нормами0,6-0,13 мкм и менее, являются актуальными.Выполненная на актуальную тему диссертация Дорошевича П.В., вкоторой была разработана методология, позволяющая определять требованияк процессам проектирования и производства, и проводить ускореннуюоценку работоспособности СБИС.

За счет этого сокращаются сроки истоимость проведения ускоренных испытаний порядка 30 %.Научная новизна. В рамках проведённых исследований ДорошевичемП.В. впервые были сформулированы и решены следующие задачи:1.Изучены и определены возможные виды и причины отказов СБИС спроектными нормами 0,6-0,13 мкм и менее.2. Проведено уточнение возможных ускоренных методов испытанийприменительно к указанным СБИС.3. Рассмотрены возможные методы испытаний. Уточнен и определенметод проведения экспериментальных испытаний.4.

Проведены испытания СБИС.5. Определена энергия активации для СБИС с проектными нормами 0,60,13 мкм и менее.6. Разработан метод ускоренных испытаний СБИС с проектными нор­мами 0,6-0,13 мкм и менее на безотказность и наработку до отказа.Разработанный метод предложен для включения в стандарт «Микросхе­мы интегральные. Методы ускоренных испытаний на безотказность и нара­ботки до отказа».Полученные значения энергии активации могут быть использованы приразработке методик оценки требований технического задания на безотказ­ность и наработку до отказа.Диссертация Дорошевича П.В. обладает несомненной научной новиз­ной, цель диссертационной научной работы достигнута, задачи исследованияуспешно решены и получили практическую апробацию.Достоверность основных научных положений диссертации, выводов ипрактическихрекомендацийподтверждаетсярезультатамиэкспериментальных испытаний, а также тем, что основные результатыработы были предложены и приняты для включения в нормативно­техническуюдокументацию,регламентирующуюоценкунадежностимикросхем в условиях производства.Практическая ценность диссертационной работы заключается в том,что разработанный методический аппарат позволяет определять требования кпроцессам проектирования и производства, и проводить ускоренную оценкуработоспособности СБИС.

За счет этого сокращаются сроки и стоимостьпроведения ускоренных испытаний.Научные положения, выводы, заключение и рекомендации, содержа­щиеся в диссертации, освещены в 7 публикациях (из которых 2 статьи опуб­ликованы в изданиях, рекомендованных в ВАК РФ).В качестве положительных личных качеств Дорошевича П.В., важныхдля научной работы, можно выделить способность самостоятельно формули­ровать, обосновывать и решать задачи в выбранной предметной области.Считаю, что представленная Дорошевичем П.В. диссертация содержитрезультаты, совокупность которых может быть квалифицирована как закон­ченное решение важной научно-технической задачи - разработка методаускоренных испытаний СБИС с проектными нормами 0,6 - 0,13 мкм и менее.Диссертационная работа соответствует пунктам 1, 2, 7, 8 паспорта специаль­ности 05.02.23 «Стандартизация и управление качеством продукции».

Авто­реферат корректно отражает объём, содержание и результаты работы. Дис­сертация соответствует требованиям ВАК РФ, предъявляемым к кандидат­ским диссертациям, а ее автор - Дорошевич Павел Викторович заслуживаетприсуждения ему ученой степени кандидата технических наук по специаль-Профессоркафедрыметрологииистандартизации факультета электроникиМГТУ МИРЭА, доктор технических наук.