отзыв ведущей организации (Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем на надежность)

УТВЕРЖДАЮЗаместитель председателя НТС,директор центра микроэлектроники главный конструкторОТЗЫВ ВЕДУЩЕЙ ОРГАНИЗАЦИИна диссертацию и автореферат диссертации Дорошевича ПавлаВикторовича на тему:«Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральныхмикросхем на надежность»,представленных на соискание ученой степени кандидататехнических наук по специальности 05.02.23 - «Стандартизация иуправление качеством продукции»Актуальность темы исследованийОбеспечениекачестваинадежностимикросхемимеютособуюзначимость, так как характеристики этих изделий во многом определяюттактико-технические характеристики радиоэлектронной аппаратуры (РЭА)созданной на их основе.Существующие методы ускоренных испытаний на безотказность инаработкудоотказаразработаныприменительнокмикросхемамспроектными нормами 2, 3 мкм и более.

За последние годы предприятиямиразрабатываются сверхбольшие интегральные схемы (СБИС) с размерамиэлементов 0,6-0,13 мкм. Проводятся работы по разработке технологическихпроцессов для производства указанных СБИС. Уменьшение топологическихнорм делает необходимым уменьшение напряжений, толщин слоев окисла иметалла, а также диффузионных глубин и возрастаний легирования. Все этовлияет на физико-технические процессы, на энергию активации, характерву J 6- ю с 0^/31- ZOSS- ОТЖ 06.

АСНГотказов. В связи с этим возникает необходимость в исследованиях поопределению энергии активации, механизмов отказов и разработке методаускоренных испытаний на безотказность и наработку до отказа для СБИС сразмерами элементов 0,6-0,13 мкм. Проблемы определения возможныхвидов и причин отказов указанных СБИС, уточнения методов ускоренных иэкспериментальныхиспытанийв частирежимови плановконтроля,определения энергии активации актуальны и востребованы в современноммикроэлектронном производстве.В связи со сказанным, диссертационные исследования, направленныена решение проблемы проведения ускоренных испытаний на безотказность инаработку до отказа для СБИС с размерами элементов 0,6- 0,13 мкм,являются актуальными.Цельюисследованийявляетсярешениепроблемыопределенияэнергии активации, уточнения методов ускоренных и экспериментальныхиспытанийв частирежимови планов контроля,разработка методаускоренных испытаний на безотказность и наработку до отказа СБИС спроектными нормами 0,6 - 0,13 мкм.Для достижения поставленной цели в диссертационной работе авторомсформулированы и решены научные задачи:проведен анализ полученных результатов испытаний на безотказность,наработку до отказа и электротермотренировку СБИС с топологическиминормами 0,6 - 0,13 мкм и определены возможные виды и причины отказовСБИС;рассмотрены возможные методы ускоренных и экспериментальныхиспытаний и определены методы проведения исследований СБИС;уточнены методы ускоренных и экспериментальных испытаний в частирежимов и планов контроля;определены типы СБИС, на которых проведены испытания;2*определена энергия активации для СБИС с проектными нормами0,6 - 0,13 мкм;разработан метод ускоренных испытаний СБИС на безотказность инаработку до отказа.В ходе решения указанных задач автором получен ряд новых научныхрезультатов;1.

Результаты анализа и обобщения испытаний СБИС с проектныминормами0,6-0,13мкмнабезотказность,наработкудоотказаиэлектротермотренировку позволяющие определить виды и причины отказов,изменения (деградацию) параметров в процессе испытаний.2. Уточнены методы ускоренных и экспериментальных испытанийприменительно к СБИС в части режимов и планов контроля (коэффициентускорения).3. Определена энергия активации для СБИС с проектными нормами 0,60,13 мкм.

Значение энергии активации составляет величину на 0,1-0,15 эВбольше, чем значение энергии активации для микросхем с проектныминормами 2, 3 мкм и более.4. Разработан метод ускоренных испытаний СБИС на безотказность инаработку до отказа, позволяющий сократить время и затраты на испытанияна 30 %.Личныйвкладавторазаключаетсявразработкенаучныхрекомендаций, позволяющих провести ускоренные испытания СБИС спроектными нормами 0,6-0,13 мкм.Практическаяразработанныйзначимостьметодработыпозволяетзаключаетсяпроводитьвтом,ускореннуючтооценкуработоспособности СБИС.

За счет этого сокращаются сроки и стоимостьпроведениявозможныхускоренныхпричиниспытаний.отказовРекомендациипозволяютпоустранениюпроводитьуточнениетехнологического процесса для повышения надежности СБИС.3’Достоверность и обоснованность результатов подтверждаются тем,что основные результаты работы предложены и приняты для включения внормативно-техническуюдокументацию,регламентирующуюоценкунадежности микросхем.Вместе с тем, несмотря на общее положительное впечатление одиссертационной работе, исходя из содержания автореферата, необходимовыделить некоторые недостатки:в автореферате не приведено обоснование выбора метода проведенияэкспериментальных испытаний;соискателем не предложены рекомендации для ускоренных испытанийна безотказность и наработку до отказа для других групп однороднойпродукции.Данные недостатки не снижают ценность диссертационной работы.Приведенныевдиссертациивыводыирекомендацииимеютнепосредственную научную и практическую ценность.Заключение по работеРабота выполнена на высоком научном уровне, изложена четкимнаучнымязыком, содержание автореферата соответствует содержаниюдиссертации.

По теме диссертации имеется 7 научных публикаций (из них 7в журналах ВАК).Предоставленная на отзыв диссертационная работа соответствуетпаспорту специальности 05.02.23 «Стандартизация и управление качествомпродукции», по следующим пунктам:- пункт 1 «Методы анализа, синтеза и оптимизации, математические иинформационные модели состояния и динамики качества объектов»;- пункт 2 «Стандартизация, метрологическое обеспечение, управлениекачеством и сертификация»;-пункт7«Технико-экономическиеосновыстандартизациииразработка системы стандартов»;4*-пункт 8 «Совершенствование направлений сертификации продукции(услуг), систем качества, производств».Такимобразом,Викторовича,диссертационнаясодержащаяобороноспособностистранырешениекрупнойработаДорошевичаактуальнойпроблемы-иважнойускореннаяПавладляоценканадежности СБИС с проектными нормами 0,6-0,13 мкм, по актуальности,новизне,научномууровнюипрактическойзначимостиполностьюсоответствует требованиям ВАК России, предъявляемым к кандидатскимдиссертациям, а автор работы заслуживает присуждения ему ученой степеникандидата технических наук по специальности 05.02.23 - «Стандартизация иуправление качеством продукции».Отзыв обсудили и одобрили на заседании научно-технического советаОАО «Ангстрем» (протокол № 84 от 02.06.2015 г.).СекретарьНТС,ведущийнаучныйсотрудник ОАО «Ангстрем», к.ф.м.н.В.В.

Минаев124460, г. Москва, Зеленоград, Проезд № 4806, д. 4, стр. 3E-mail: minaev@angstrem.ru тел. 8 49972083065.