отзыв Экситон (Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем на надежность)

отзывна автореферат диссертации Дорошевича Павла Викторовича«Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральныхмикросхем на надежность», представленный на соискание ученойстепени кандидата технических наук по специальности 05.02.23 «Стандартизации управлениекачеством продукции»Актуальность. Методы ускоренных испытаний на безотказность инаработку до отказа разработаны применительно к микросхемам спроектными нормами 2, 3 мкм и более.В настоящее время в современноммикроэлектронномпроизводстверазрабатываютсясверхбольшиеинтегральные схемы (СБИС) с размерами элементов 0,6-0,13 мкм. Задачаопределения возможных видов и причин отказов указанных СБИС,уточнения методов ускоренных и экспериментальных испытаний в частирежимов и планов контроля, определения энергии активации актуальны квостребованы.Рецензируемая работа направлена на решение задач проведениякомплекса ускоренных испытаний на безотказность и наработку до отказадля СБИС с проектными нормами 0,6-0,13 мкм и менее.Таким образом,актуальность данного исследования достаточно очевидна.Научная новизна проведенного исследования.

В диссертацииполучены научные результаты, характеризующиеся следующей научнойновизной:1. Результаты анализа и обобщения испытаний СБИС с проектныминормами 0,6-0,13 мкм на безотказность, наработку до отказа иэлектротермотренировку позволяющие определить виды и причины отказов,изменения (деградацию) параметров в процессе испытаний.2. Уточнены методы ускоренных и экспериментальных испытанийприменительно к СБИС в части режимов и планов контроля (коэффициентускорения).3. Определена энергия активации для СБИС с проектными нормами0,6-0,13 мкм.

Значение энергии активации составляет величину на 0,1-0,15эВ больше, чем значение энергии активации для микросхем с проектныминормами 2, 3 мкм и более.4.Разработан метод ускоренных испытаний СБИС на безотказность инаработку до отказа, позволяющий сократить время и затраты на испытанияна 30 %.Практическая значимость диссертационной работы.Разработанный метод ускоренных испытаний для СБИС с проектныминормами 0,6 -0 ,1 3 мкм и менее позволяет сократить длительность и затратына испытанияна 30 %.Уточненные методы ускоренных и экспериментальных испытаний поопределению энергии активации на основе параллельных испытанийвыборок могут быть использованы при разработке методов ускоренныхиспытаний и для других классов электронной компонентной базы.В качестве замечания необходимо отметить, что целесообразно былобы в автореферате привезти обоснование выбора метода проведенияэкспериментальных испытаний.Результаты теоретических и экспериментальных исследованийопубликованы автором в статьях.Заключение.РассматриваемаядиссертационнаяработаП.В.Дорошевича является законченным научным исследованием, проведеннымавтором самостоятельно на высоком теоретическом уровне.

Новизнапредлагаемого метода ускоренных испытаний находит свое применение вразработке и производстве микросхем. Диссертация написана хорошимязыком, с большим количеством таблиц и необходимых иллюстраций.В соответствии с требованиями п.9 Положения о присуждении ученыхстепеней диссертация представляет научно-квалификационную работу, вкоторой на основании выполненных автором исследований решена проблемапроведения ускоренных испытаний СБИС с проектными нормами 0,6-0,13мкм и менее, имеющая важное экономическое значение.Считаю, что автор диссертационного исследования «Методыускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем нанадежность», Дорошевич Павел Викторович, заслуживает присужденияученой степени кандидата технических наук по специальности 05.02.23 «Стандартизацияи управлениекачеством продукции».Начальник управленияконтроля качестваОАО «Экситон»142505, Московская обл.,г.

Павловский Посад, ул.Интернациональная, 34ател. 8-(49643)-2-30-41,E-Mail: exiton-l@mail.ruВ.Н. Богров.