отзыв НИИМА Прогресс (Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем на надежность)

«НИИМА «Прогресс»#Тел.: (499) 153-03-11Факс: (499) 153-01-61ПРОГРЕСС125183, Москва,пр-д Черепановых, 54nIima@mri-progress.ruhttp://www.rnri-progress.ruУТВЕРЖДАЮГлавный научный руководительОАО «НИИМА «Прогресс»ЦемудровA15 г.ОТЗЫВна автореферат диссертации Дорошевича Павла Викторовича«МЕТОДЫ УСКОРЕННЫХ ИСПЫТАНИЙ СВЕРХБОЛЬШИХИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ НА НАДЕЖНОСТЬ»,представленный на соискание ученой степени кандидататехнических наук по специальности 05.02.23 - «Стандартизацияи управление качеством продукции»Диссертационная работа Дорошевича П.В.

посвящена разработкеметода ускоренных испытаний для СБИС с размерами элементов 0,6-0,13мкм и менее.Целью исследований автора является решение проблемы определенияэнергии активации, уточнения методов ускоренных и экспериментальныхиспытаний в части режимов и планов контроля, разработка методаускоренных испытаний на безотказность и наработку до отказа СБИС спроектными нормами 0,6 -0,13 мкм и менее.Обоснованностьидостоверностьполученныхрезультатов Рдиссертационной работы подтверждается результатами экспериментальныхиспытаний.Автором получены новые научные результаты:- результаты анализа и обобщения испытаний СБИС с проектныминормами 0,6-0,13 мкм на безотказность, наработку до отказа иэлектротермотренировку позволяющие определить виды и причины отказов,изменения (деградацию) параметров в процессе испытаний;- уточнены методы ускоренных и экспериментальных испытанийприменительно к СБИС в части режимов и планов контроля;- определена энергия активации для СБИС с проектными нормами 0,60,13 мкм (значение энергии активации составляет величину на 0,1-0,15 эВл / й jQC &//// -/s~.

Р ё . sZevCr«НИИМА «Прогресс»Тел.: (499) 153-03-11Факс: (499) 153-01-61ПРОГРЕСС125183, Москва,пр-д Черепановых, 54niima@mri-progress.ruhttp://www.mri-progress.ruприменительно к СБИС в части режимов и планов контроля;- определена энергия активации для СБИС с проектными нормами 0,60,13 мкм (значение энергии активации составляет величину на 0,1-0,15 эВбольше, чем значение энергии активации для микросхем с проектныминормами 2, 3 мкм и более);- разработан метод ускоренных испытаний СБИС на безотказность инаработку до отказа, позволяющий сократить время и затраты на испытанияна 30 %.Практическая значимость работы заключается в том, чторазработанный метод позволяет сократить сроки и стоимость проведенияускоренных испытаний, сокращать сроки проведения корректировкиразработки и производства при получении отрицательных результатовиспытаний.Полученные результаты работы дают основание считать диссертациюДорошевичаП.В.актуальнойивостребованнойразработкой.Рассматриваемая диссертационная работа является законченным научнымисследованием, проведенным автором самостоятельно на высокомтеоретическом и практическом уровне.В соответствии с требованиями п.9 Положения о присуждении ученыхстепеней диссертация представляет научно-квалификационную работу, вкоторой, на основании выполненных автором исследований, решенапроблема, имеющая важное экономическое и практическое значение.Считаю, что автор диссертационного исследования «Методыускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем нанадежность», Дорошевич Павел Викторович, заслуживает присужденияученой степени кандидата технических наук по специальности 05.02.23«Стандартизация и управление качеством продукции».Заместитель ген.

директора поСАПР, АСУ и разработке СБИСспециального назначения/ 7. /2>.Ю.В. Завалин.