отзыв МИЭТ (Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем на надежность)

IФедеральное государственное бюджетное учреждение«Научно-производственный комплекс «Технологический центр» МИЭТ»НПК «Технологический центр»124498, г. Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5, к.7237Т елеф он:+ 7 499 734-4521, факс: + 7 495 913-2192, Е- mail: tc@tcen.ruОТЗЫВна автореферат диссертации Дорошевича Павла Викторовича«Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральныхмикросхем на надежность», представленный на соискание ученойстепени кандидата технических наук по специальности 05.02.23 «Стандартизация и управление качеством продукции»Проблемы определения возможных видов и причин отказов указанныхСБИС, уточнения методов ускоренных и экспериментальных испытаний вчасти режимов и планов контроля, определения энергии активацииактуальны и востребованы в современном микроэлектронном производстве.Диссертационные исследования Дорошевича П.В.

посвящены решениюпроблем ускоренной оценки, улучшению надежности микросхем. Тем самымактуальность, постановки работы и основных её направлений не вызываетсомнений.Автором получены новые научные результаты:1. Результаты анализа и обобщения испытаний СБИС с проектныминормами 0,6-0,13 мкм на безотказность, наработку до отказа иэлектротермотренировку позволяющие определить виды и причины отказов,изменения (деградацию) параметров в процессе испытаний.2.

Уточнены методы ускоренных и экспериментальных испытанийприменительно к СБИС в части режимов и планов контроля.3. Определена энергия активации для СБИС с проектными нормами0,6-0,13 мкм (значение энергии активации составляет величину на 0,1-0,15эВ больше, чем значение энергии активации для микросхем с проектныминормами 2, 3 мкм и более).4. Разработан метод ускоренных испытаний СБИС на безотказность инаработку до отказа, позволяющий сократить время и затраты на испытанияна 30 %.Апробация результатов работы заключается в том, что разработанныйметод предложен для включения в стандарт «Микросхемы интегральные.Методы ускоренных испытаний на безотказность и наработки до отказа».Практическая значимость работы заключается в том, чторазработанныйметодпозволяетпроводитьускореннуюоценкуIработоспособности СБИС.

За счет этого сокращаются сроки и стоимостьпроведения ускоренных испытаний. Рекомендации по устранениювозможныхпричинотказовпозволяютпроводитьуточнениетехнологического процесса для повышения надежности СБИС.Диссертационнаяработаявляетсязаконченнымнаучнымисследованием, проведенным автором самостоятельно на современномнаучно-методическом и практическом уровнях. Полученные теоретические ипрактические результаты дают основание считать диссертацию П.В.Дорошевича актуальной и востребованной разработкой, имеющей большоезначение для ведущих предприятий отечественной промышленности,разрабатывающих и производящих микросхемы.В соответствии с требованиями п.9 Положения о присуждении ученыхстепеней диссертация представляет научно-квалификационную работу, вкоторой на основании выполненных автором исследований решена проблемапроведения ускоренных испытаний СБИС с проектными нормами 0,6-0,13мкм и менее, имеющая важное экономическое и практическое значения.Считаю, что автор диссертации «Методы ускоренных испытанийсверхбольших интегральных микросхем на надежность», Дорошевич ПавелВикторович, заслуживает присуждения ученой степени кандидататехнических наук по специальности 05.02.23 - «Стандартизация иуправление качеством продукции».Главный контролёрНПК "Технологический центр",Кандидат технических наук« с>/»с? £2015 годПодпись Федорова Александра Сергеев]Начальник отдела кадров«р/»2015 годЗверева И.В..