отзыв Восход КРЛЗ (Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем на надежность)

Отзывна автореферат диссертационной работы Дорошевича Павла Викторовича«Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем нанадежность», представленной на соискание ученой степени кандидататехнических наук.Диссертационная работа Дорошевича П.В. посвящена проблемамобеспечения качества и надежности сверхбольших интегральных схем (СБИС).Диссертация состоит из четырех глав.В первой главе диссертации рассмотрена проблема ускоренной оценкикачества микросхем. Показано, что наиболее приемлемым методом ускоренныхиспытаний на наработку до отказа целесообразно принять «Оценку надежностиметодом испытаний при повышенной температуре».

Проведено уточнениеускоренных и экспериментальных методов применительно к СБИС.Вторая глава посвящена рассмотрению возможных видов и причин отказовСБИС по кристаллу, фотолитографическим процессам, диффузии, ионнойимплантации, металлизации и контактам, пассивации, соединению кристаллвывод, креплению кристалла к корпусу, герметизации, примесным эффектам иперенапряжению.Показана целесообразность проведения экспериментальных испытаний поопределению энергии активации для различных механизмов отказов СБИСпутем проведения параллельных испытаний выборок в различных режимах споследующей обработкой результатов испытаний.Рассмотрены и уточнены методики определения значения энергииактивации.В третьей главе приведены результаты экспериментальных исследованийСБИС.

Были проведены параллельные испытания 3-х групп выборокотечественных СБИС с проектными нормами 0,18-1,0 мкм.На основе полученных экспериментальных данных были рассчитанызначения энергии активации для СБИС с проектными нормами 0,6 - 0,09 мкм.Показано, что для СБИС с проектными нормами 0,6 - 0,09 мкм среднеезначение энергии активации на 0,1 - 0,15 эВ больше, чем значение энергииактивации для микросхем с проектными нормами 2- 3 мкм и более.Четвертая глава посвящена разработке метода ускоренных испытаний набезотказность и наработку до отказа СБИС для проектных норм 0,6-0,13 мкм именее.Метод включает:- определение коэффициента ускорения отказов сверхбольших интегральныхсхем;- определение границ области допустимого форсирования;- определение констант ускорения и и а в моделях коэффициента ускорения оттока и напряжения;- определение энергии активации на основе параллельных испытаний выборок вразличных режимах.Разработанный метод предложен и принят для включения в проектстандарта «Микросхемы интегральные.

Методы ускоренных испытаний набезотказность и наработку до отказа».К основным научным результатам работы следует отнести:1. Уточнение видов и механизмов отказов сверхбольших интегральныхсхем.2. Уточнение методик определения значений энергии активациимеханизмов отказов СБИС.3. Определение значений энергии активации для СБИС с проектныминормами 0,6-0,13 мкм.4. Разработку метода ускоренных испытаний на наработку до отказа СБИССБИС с проектными нормами 0,6-0,13 мкм.В диссертационной работе Дорошевича П.В. предложено решениеактуальной проблемы обеспечения и ускоренной оценки качества сверхбольшихинтегральных схем.По содержанию работа соответствует специальности 05.02.23«Стандартизация и управление качества продукции», а её автор Дорошевич П.В.заслуживает присуждения учёной степени кандидата технических наук.Главный кон<ОАО «Восход248009, Россия, г.

Калуга, ул. Грабцевское шоссе, 43E-mail: ogk@voshod-krLz.ruТел. (4842) 55-71-57,.