отзыв 16 ЦНИИИ (Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем на надежность)

1Экз.№{ОТЗЫВФГБУ «16 ЦНИИИ» МО РФ на автореферат диссертации Дорошевича ПавлаВикторовича на тему: «Методы ускоренных испытаний сверхбольших инте­гральных схем на надежность», представленной на соискание ученой степеникандидата технических наук по специальности 05.02.23 - «Стандартизация иуправление качеством продукции»Процесс создания и совершенствования радиоэлектронных средств спе­циальной техники связи, на которой базируется подсистема связи - основа си­стемы управления, не возможен без широкого внедрения в нее электроннойкомпонентной базы высокой функциональной сложности - сверхбольших инте­гральных схем (СБИС) требуемого уровня качества и надежности.В последние годы ведущими отечественными предприятиями разрабаты­ваются микросхемы с размерами элементов 0,6-0,13 мкм и менее.В то жевремя имеется потребность увеличения наработки микросхем до отказа в 1,5 -2раза.Однако существующие методы ускоренных испытаний на безотказностьи наработку до отказа разработаны применительно к СБИС с проектными нор­мами 2, 3 мкм и являются неприемлемыми для современных микросхем.Работа Дорошевича П.В., направленная на разработку и внедрение новыхпринципов и методов ускоренных испытаний СБИС на безотказность и нара­ботку до отказа с топологическими размерами элементов 0,6-0,13 мкм и менееявляется, безусловно, современной и актуальной.Для решения этой задачи, судя по реферату, автором были рассмотренывопросы отечественного производства и достигнутые уровни качества и надеж­ности существующих СБИС.

Установлено, что с уменьшением проектных раз­меров элементов ужесточаются требования к исходным материалам СБИС, из­меняется их конструктивно-технологическое исполнение, а также усиливаетсявлияние деградационных процессов различной природы (химических, электриU .л/ * 2fir / г06. SLO S J -ческих, термических и т.п.) на отказы СБИС. И как результат пониженная до­стоверность существующих методов ускоренных испытаний на безотказность инаработку до отказа.По результатам широкого комплекса научных исследований, проводимыхсоискателем, показано, что определяющим фактором ускоренных испытаний нанаработку до отказа является повышенная температура, а значение энергии ак­тивации целесообразно определять путем проведения параллельных испытанийвыборок в различных режимах (130°С, 140°С, 150°С). Рассмотренные авторомвозможные методы ускоренных испытаний показали, что по мере расширенияфункциональных возможностей СБИС и уменьшения топологических размеровэлементов натурные и известные ускоренные испытания на безотказность инаработку до отказа становятся недостаточно эффективными.Предложенный автором метод проведения ускоренных испытаний приповышенной температуре позволил существенно улучшить проведение уско­ренных и экспериментальных методов испытаний СБИС, а также повысить до­стоверность об их качестве и надежности.Для обоснования результатов исследований и разработки методики уско­ренных испытаний при повышенной температуре в работе широко использова­ны методы системного анализа и математической статистики.Научные результаты, судя по автореферату и публикациям, реализованыв нормативно-технических документах, регламентирующих методы ускорен­ных испытаний на безотказность и долговечность интегральных микросхем.Автореферат составлен логично и грамотно, стиль изложения четкий, чтопозволяет достаточно полно оценить выполненные в работе исследования.Судя по автореферату и публикациям, работа Дорошевича Павла Викто­ровича представляет собой завершенную научно-квалификационную работу,выполненную на актуальную тему, в которой на основании проведенных авто­ром исследований решена новая научная задача, имеющая теоретическую ипрактическую значимость.

Работа отвечает требованиям Положения ВАК РФ(п.8), предъявляемым к кандидатским диссертациям.2Автор диссертации Дорошевич Павел Викторович заслуживает присвое­ния ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.02.23 «Стандартизация и управление качеством продукции»Отзыв на автореферат рассмотрен и одобрен на НТС отдела.Старший научный сотрудникКТН,СНС(/B.C. КачалубаНачальник отделаА.И. ТарановПодписи Качалубы B.C. и Таранова А.И.

заверяю.Ученый секретарьФГБУ «16кандидатго совета ДС 215.208.03РоссииК.В. Устинов$» июня 2/ 7,/3/Г. Ой. tL&JfФГБУ «16 ЦНИИИ» МО РФ141006, Московская область,г.Мытищи1-й Рупасовский переулокИсп. Качалуба B.C.(495) 582-46-89з.