СТЕНОГРАММА (Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем на надежность), страница 5

участвовал в проведении исследований и ускоренных испытанияхсверхбольших интегральных схем совместно с ФГУ «22 ЦНИИИ Минобороны России» (Факультетэлектроники ФГБОУ ВО «Московский государственным университет информационныхтехнологий, радиотехники и электроники» - Базовая кафедра № 141). В 2012 году продолжилработу в должности главного специалиста ОАО «Радиотехническом институте имени академикаА.Л. Минца».Научный руководитель — Марин Владимир Петрович, гражданин Российской Федерации,доктортехническихнаук,профессоркафедрыметрологииистандартизации факультета электроники ФГБОУ ВО «Московский государственным университетинформационных технологий, радиотехники и электроники».Официальные оппоненты:1.

Николаев Василий Николаевич, гражданин Российской Федерации, доктор техническихнаук, профессор, главный научный сотрудник Филиала ФГБУ «46 ЦНИИ Министерства обороны»;2. Гамкрелидзе Сергей Анатольевич, гражданин Российской Федерации, доктор техническихнаук, профессор, главный научный сотрудник Федерального государственного бюджетногоучреждения науки Института сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российскойакадемии наук;дали положительные отзывы на диссертацию.Ведущая организация Центр микроэлектроники ОАО «Ангстрем» г. Москва, Зеленоград, всвоем положительном заключении, подписанном Минаевым В.В., доктором физикоматематических наук, секретарем НТС, ведущим научным сотрудником ОАО «Ангстрем» иутвержденном заместителем председателя НТС, директором центра микроэлектроники - главнымконструктором, кандидатом технических наук Машевичем П.Р., указала, что диссертациявыполнена на высоком научном уровне, изложена четким научным языком, содержаниеавтореферата соответствует содержанию диссертации.

В отзыве отмечается, что в работесодержится решение актуальной и важной для обороноспособности страны научной задачи ускоренная оценка надежности сверхбольших интегральных схем (СБИС) с проектными нормами0,6-0,13 мкм. Работа соответствует паспорту специальности 05.02.23 «Стандартизация иуправление качеством продукции».Соискатель имеет 7 опубликованных научных работ общим объемом 1,54 печатных листов(из них 0,83 автора), в том числе по теме диссертации 7 работ, опубликованных в рецензируемыхнаучных изданиях.Наиболее значимые научные работы по теме диссертации:1. Дорошевич В.К., Дорошевич П.В. Определение оптимального состава отбраковочныхиспытаний пластин и микросхем. "Наукоемкие технологии" №4, 2012. - с.40 - 44.2. Дорошевич К.К., Поздеев А.П., Дорошевич П.В., Попова Н.В. Результаты испытанийсверхбольших интегральных микросхем с топологическими нормами 0,6-0,13 мкм на наработку доотказа и электротермотренировку.

МО РФ "Военная электроника и электротехника", вып. 64, ч. 1,2012. - с. 1 3 2 - 138.3. Дорошевич П.В. Возможные виды отказов сверхбольших интегральных схем. МО РФ"Военная электроника и электротехника", вып. 65 (Ф), ч. 2, 2013. - с. 67 - 73.4. Дорошевич П.В. Исследования по определению энергии активации сверхбольшихинтегральных схем. МО РФ "Военная электроника и электротехника", вып.

65 (Ф), ч. 2, 2013. с.85-92.На диссертацию и автореферат поступили отзывы из:- Филиала ФГБУ «46 ЦНИИ» Минобороны России от начальника отдела, к.т.н., А.А. Орлов,ученого секретаря НТС, к.т.н., А . С. Афанасьева (утвержден отзыв зам естителем начальника филиалаФГБУ «46 ЦНИИ» МО по научной работе, к.т.н., доцентом Д.В. Матюхиным);- ФГБУ ВНИИ ГОЧС (ФЦ) от заместителя начальника ФГБУ ВНИИ ГОЧС (ФЦ),заслуженного деятеля науки РФ, д.т.н., профессора С.А.

Качанова;АО«НПП«Геофизика-Космос»отначальникаотделапримененияЭКБП.Р. Прокофьева (утвержден отзыв главным конструктором АО «НПП «Геофизика-Космос» М.Г.Пироговым);- ОАО «ЦКБ «Дейтон» от главного конструктора Ю.Н. Смирнова;- Филиала научно-технического центра «Белмикросистемы», холдинга «ИНТЕГРАЛ» отзаместителя директора филиала научно-технический центр «Белмикросистемы» холдинга«ИНТЕГРАЛ», член-кор.

НАН РБ, лауреата Государственной премии республики Беларусь,заслуженного изобретателя республики Беларусь, д.т.н., профессора А.И. Белоуса;- ФГБУ «Научно-производственный комплекс «Технологический центр» МИЭТ» от главногоконтролёра, к.т.н., А.С. Федорова;- АО «Концерн «Созвездие» от руководителя проекта электронной компонентной базы, к.т.н.,доцента B.C. Цымбалюка;- ФГУП «Научно-производственный центр автоматики и приборостроения имени академикаН.А.Пилюгина» от начальника отделения Р.Б. Назьмова (отзыв утвержден первым заместителемгенерального директора по научной работе ФГУП «НПЦАП», д.т.н., профессором В.А.Немкевичем);- ОАО «Экситон» от начальника управления контроля качества В.Н.

Богрова (отзывутвержден генеральным директором ОАО «Экситон» О.Э. Хукеяном);- ФГБУ «16 ЦНИИИ» МО РФ от старшего научного сотрудника, к.т.н., с.н.с., B.C. Качалубы,начальника отдела А.И. Таранова;- ОАО «НИИМА «Прогресс» от заместителя генерального директора по САПР, АСУ иразработке СБИС специального назначения Ю.В. Завалина (отзыв утвержден главным научнымруководителем ОАО «НИИМА «Прогресс» В.Г.

Немудровым);- ОАО «Восход»-КРЛЗ от главного конструктора Ю.А. Зайцева.Все отзывы положительные.Наиболее существенные замечания, содержащиеся в отзывах:1. В автореферате не приведено обоснование выбора метода проведения экспериментальныхиспытаний.2. В автореферате не приведено обоснование выбора ускоряющего фактора при ускоренныхиспытаниях.3. Предложенный метод ускоренных испытаний для СБИС с проектными нормами 0,6-0,13мкм целесообразно распространить для других групп однородной продукции.4. В космической технике применяются микросхемы с более низкими топологическиминормами и в перспективе требуется проведение аналогичных исследований для технологий 180-65нм.Отмеченные недостатки не снижают достоинств и общего положительного впечатления отработы.Выбор официальных оппонентови ведущей организации обоснованновизнойпредставленной диссертационной работы, которая состоит в создании метода ускоренныхиспытаний сверхбольших интегральных схем с проектными нормами 0,6 -0,13 мкм и менее, ипрактической значимостью исследования, состоящей в сокращении длительности и затрат наиспытания на 30 %.Это потребовало привлечения для оппонирования данной работы, имеющей глубокий кактеоретический, так и прикладной характер, следующих специалистов:-для анализа правильности теоретической постановки выбранной автором проблемы, а такжедля оценки получаемых выводов и заключений;-для анализа предлагаемого метода ускоренных испытаний СБИС;-для оценки результатов реализации авторских разработок в конкретной предметной области- предприятий - разработчиков, производящих микросхемы.Диссертационный совет отмечает, что на основании выполненных соискателемисследований:разработаны программа испытаний СБИС с проектными нормами 0,6 - 0,13 мкм и менее,методические подходы к определению энергии активации, коэффициента ускорения, константмоделей ускорения, границы допустимого форсирования при проведении ускоренных испытанийна наработку до отказа указанных СБИС; типовой состав видов и причин отказов указанныхСБИС;предложен метод ускоренных испытаний на безотказность и наработку до отказа СБИС спроектными нормами 0,6 - 0 ,1 3 мкм и менее позволяющий сократить длительность и затраты наиспытания на 30 %;доказано, что:- определяющим фактором ускоренных испытаний на наработку до отказа являетсяповышенная температура;- значение энергии активации целесообразно определять путем проведения параллельныхиспытаний выборок в различных режимах;- среднее значение энергии активации на 0,1-0,15 эВ больше, чем значение энергииактивации для микросхем с проектными нормами 2,3 мкм и более.введены понятия коэффициента ускорения, констант моделей ускорения, границыдопустимого форсирования для СБИС с проектными нормами 0,6-0,13 мкм и менее, а такжеопределен типовой состав видов и причин отказов для указанных СБИС, введены требования дляпроведения ускоренных испытаний по подтверждению наработки до отказа СБИС с проектныминормами 0,6 - 0,13 мкм и менее.Теоретическая значимость исследования обоснована тем, что:доказано на основе проведенных испытаний что, для ускоряющего фактора необходимоопределить температуру, энергию активации необходимо определять путем проведенияпараллельных испытаний выборок в различных режимах;применительно к проблематике диссертации эффективно использован существующийметод ускоренных испытаний для СБИС с проектными нормами 2, 3 и более мкм;изложены: типовой состав видов и причин отказов СБИС с проектными нормами 0,6-0,13мкм и менее, возможные методы проведения ускоренных испытаний, экспериментальныхиспытаний по определению энергии активации;раскрыты проблемы при проведении ускоренных испытаний СБИС с проектными нормами0,6-0,13 мкм и менее;изучены существующие методы ускоренных и экспериментальных испытаний СБИС, атакже методы проведения испытаний для определения энергии активации, виды и причиныотказов СБИС с проектными нормами 2, 3 и более мкм;проведена модернизация существующих методов ускоренных испытаний на безотказность инаработку до отказа СБИС с проектными нормами 2, 3 мкм и более, апробация разработанногометода на ряде предприятий оборонной промышленности.Значение полученных соискателемрезультатов исследования для практикиподтверждается тем, что:разработаны и внедрены методические подходы к определению энергии активации,коэффициента ускорения, констант моделей ускорения, границы допустимого форсирования припроведении ускоренных испытаний на наработку до отказа СБИС с проектными нормами 0,6 - 0,13мкм и менее; разработанный метод предложен и принят для включения в проект стандарта«Микросхемы интегральные.

Методы ускоренных испытаний на безотказность и наработку доотказа»;определены виды и причины отказов, энергия активации для СБИС с проектными нормами0,6 - 0,13 мкм и менее;создан (на основе существующих методов) метод ускоренных испытаний на безотказность инаработку до отказа СБИС с проектными нормами 0,6 - 0,13 мкм и менее позволяющий сократитьдлительность и затраты на испытания на 30 %представлены уточненные методы ускоренных и экспериментальных испытаний поопределению энергии активации на основе параллельных испытаний выборок, которые могут бытьиспользованы при разработке методов ускоренных испытаний и для других классов электроннойкомпонентной базы.Оценка достоверности результатов исследования выявила:для экспериментальных работ - проведены экспериментальные исследованиях причинноследственных связей дефектов и отказов микросхем с конструктивно-технологическимихарактеристиками, технологическими операциями, качеством материалов;теория базируется на методах теории планирования и организации научного эксперимента,методах системного анализа; статистической обработке экспериментальных данных;идея базируется на утверждении о том, что температура является влияющим фактором,приводящим к отказам СБИС с проектными нормами 0,6-0,13 мкм и менее;использованы накопленные данные для существующих методов ускоренных испытаний(для СБИС с проектными нормами 2, 3 мкм и более) и результаты экспериментальных испытаний(для СБИС с проектными нормами 0,6-0,13 мкм и менее)установлено совпадение авторских результатов с текущими результатами, представленнымив независимых источниках по тематике представленной диссертационной работы;использованы современные методики сбора и обработки исходной информации,представительные выборочные совокупности с обоснованием подбора объектов наблюдения иизмеренияЛичный вклад соискателя состоит в следующем:1.