СТЕНОГРАММА (Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем на надежность), страница 3

этосектора, отделы, отделения. Результаты, которые я огласил ранее,являются очень интересными. Диссертация соответствует пунктам 1, 2, 7,8 паспорта специальности 05.02.23 «Стандартизация и управлениекачеством продукции».Автореферат корректно отражает объём,содержаниеирезультатыработы.Диссертациясоответствуеттребованиям ВАК РФ, предъявляемым к кандидатским диссертациям, а ееавтор - Дорошевич Павел Викторович, заслуживает присуждения емуученой степени кандидата технических наук по специальности 05.02.23«Стандартизация и управление качеством продукции». Я вам постаралсядоложить все. Есть ко мне вопросы?Спасибо. Есть к Владимиру Петровичу вопросы? Вопросов нет.Переходимк обсуждению диссертации.

Слово предоставляетсяофициальному оппоненту, доктору технических наук, профессоруНиколаеву Василию Николаевичу.Николаев В.Н.:Уважаемые коллеги! Из темы диссертационной работы ясно, что этоявляется логическим продолжением тех исследований проблемы качестваи надежности интегральных микросхем, которые проводили старшийДорошевич, потом средний Дорошевич. Если Казимир Казимирович всвоей диссертации заложил основу надежности и качества интегральныхмикросхем в целом, то Виктор Казимирович в своей диссертации (где ябыл тоже оппонентом), решил вопросы обеспечения качества инадежности интегральных микросхем с размерами 2, 3 мкм и более изаложил системный подход по обеспечению качества интегральныхмикросхем.

Здесь же мы видим шаг вперед по решению проблем даннойпредметной области - это разработка метода ускоренных испытаний дляследующего поколения - сверхбольших интегральных микросхем. Ипоэтому я считаю, что тема эта актуальна. Задача, поставленная ПавломВикторовичем, решена в его кандидатской диссертации. В первой главепроведен обстоятельный анализ и рассмотрены результаты исследованийСБИС на безотказность, наработку до отказа и электротермотренировку.Также в главе рассмотрены возможные методы ускоренных испытаний ипрогнозируемые по надежности СБИС модели отказов.

В результатепроведенного анализа определен основной воздействующий фактор наСБИС - это температура, проведено уточнение (он ответил на вопрос, вкаком плане уточнение) ускоренных и экспериментальных методов,применительно к СБИС в отличие от того, что было ранее. Возможныевиды и причины отказов СБИС подробно рассмотрены автором во второйглаве. Чтобы получить достоверную информацию о надежности СБИС,автор особое внимание уделил физике отказов, связанных кристаллом, свыводами, с соединениями, герметизацией, а также отказами, связаннымис воздействием внешних условий и перенапряжениями. Авторомрассмотрены и уточнены методики определения значения энергииактивации.

По результатам анализа установлено, что значение энергииактивации целесообразно определить путем проведения параллельныхиспытаний выборок в различных режимах с последующей обработкойрезультатов испытаний. В третьей главе хотелось бы отметить, чтоприведены(надостаточнопредставительнойвыборке)экспериментальные исследования по выбранному ускоряющему фактору температуре. Выявлено, что имеет место деградация параметровсверхбольших интегральных схем при ускоряющем факторе. Порезультатам экспериментальных исследований рассчитано значениеэнергии активации для СБИС с проектными нормами 0,6 - 0,13 мкм именее.

И в заключительной главе (венец кандидатской диссертации)автором разработан метод ускоренных испытаний сверхбольшихинтегральных схем с нормами 0,6 — 0,13 мкм на безотказность идолговечность. Здесь автором определены коэффициенты ускорения,определены границы области допустимого форсирования, константыускорения в моделях коэффициента ускорения от тока и напряжения, атакже определена энергия активации на основе параллельных испытаний.В целом, в результате решения данной актуальной научной задачиавтором получены (хотелось бы отметить, что в диссертации приведенряд научных результатов), я хотел бы выделить два научных результата первый - это определение энергии активации для сверхбольшихинтегральных микросхем, второй - разработанный метод ускоренныхиспытаний. Практическая ценность результатов работы здесь очевидна,(Владимир Петрович уже сказал) разработан отраслевой стандарт пометодам ускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем,который будет широко использоваться в отечественной промышленности,которая выпускает микроэлектронные изделия.

Здесь будет иэкономический эффект (для предприятий). Примерно посчитано, чтозначительно сокращается длительность и стоимость испытаний, истоимость разработки новых изделий при этом сокращается. Публикацийдостаточно - у него семь публикаций в журналах перечня ВАК.Диссертация написана научным языком, материал изложен четко ипоследовательно,сиспользованиемсовременнойтерминологии.Автореферат диссертации соответствует ее основному содержанию ихарактеристикам полученных результатов в обобщенной форме.

Вместе стем, несмотря на общее положительное впечатление о диссертационнойработе имеются и недостатки. В качестве недостатков необходимоотметить следующиемоменты:первое авторомчетконесформулирована решаемая научная задача, цель сформулирована, аформулировки научной задачи нет. Второе - в диссертации в качественаучной новизны приведено проведение испытаний СБИС, что само посебе (проведение испытаний) не несет научной новизны. И третье автором не предложены рекомендации для ускоренных испытаний набезотказность и долговечность для других групп однородной продукции.Несмотря на отмеченные в отзыве замечания, в целом представленная нарецензирование диссертационная работа Дорошевича Павла Викторовичаявляется законченной научно-квалификационной работой, в которой наосновании выполненных автором научных исследований, решенаактуальная научная задача - разработка метода ускоренной оценкинадежности сверхбольших интегральных микросхем.

Считаю, чтодиссертация соответствует требованиям ВАК России, а соискательзаслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук поспециальности 05.02.23 - «Стандартизация и управление качествомпродукции».Засовин Э.А.:Сергей Николаевич, а разве в автореферате не надо указывать местоработы оппонента?Замуруев С.Н.:Нет, не указывается.Николаев В.Н.:Не указывается.Председатель:Это допустимо.Засовин Э.А.:Хорошо, спасибо.Председатель:Спасибо, Василий Николаевич. Павел Викторович, Вам предоставляетсявозможность сейчас ответить на замечания, либо после выступлениявторого оппонента.Дорошевич П.В.:После выступления второго оппонента.Председатель:Тогдасловопредоставляетсяофициальномуоппоненту,докторутехнических наук, профессору Гамкрелидзе Сергею Анатольевичу.Гамкрелидзе С.А.:Уважаемые коллеги! Здесь уже говорилось об актуальности даннойдиссертационной работы, я хотел бы обратить ваше внимание наследующее: многие годы 22 институт Министерства Обороны оперативноразрабатывал нормативные документыпо испытаниямизделийэлектронной компонентной базы.

Всегда появлялись новые поколенияизделий, и всегда мы имели методы, актуальные на тот период времени. Ксожалению, когда у нас где-то с 2008 года начался новый периодразвития электронной компонентной базы, когда, наконец, государствопоняло, что надо развиваться очень быстро, при федерально-целевойпрограмме развития радиоэлектроники ЭКБ была принята подпрограммаразвития ЭКБ для вооружения и военной техники. Мы оказались неготовы к тому, чтобы проводить испытания, разрабатывать изделия.

Т.е.появились СБИСы сложностью несколько миллионов транзисторов, аметоды, которые мы использовали, были разработаны еще 15 лет назад.Поэтому об актуальности работы следует сказать, что она имеетисключительно важную практическую направленность. Сейчас я, какпредставительорганизации,котораяведет разработкуизделийэлектронной компонентной базы, могу сказать, что от того, какой методбудет принят, от того, какую энергию активации мы примем в том илиином методе ускоренных испытаний, мы можем, во-первых, наиболеедостоверно оценить изделие с точки зрения надежности.

Прежде всего это важно для вооружения и военной техники, и все мы должны этопрекрасно понимать, а с другой стороны, если мы очень много потратимвремени на проведение испытаний, то затягиваются работы, затягиваютсясроки внедрения, т.е. нужен какой-то оптимум. И мне кажется, в своейдиссертации Павел Викторович нашел тот оптимум, который позволяетэффективно проводить ускоренные испытания одной из базовых изделийЭКБ - сверхбольших интегральных схем.

Что я хочу сказать: безусловно,работа новая, безусловно, работа нужная. Прежде всего, она важна тем,что впервые исследованиям подверглись на вопрос испытаний СБИС спроектными нормами ультра субмикронного уровня - 0,6 - 0,13 микрон по сути дела, уровень современно мировой. Отличается диссертация. Вопервых, он очень внимательно изучил самые различные методыускоренных испытаний, а это имеет очень важное значение, он накопилогромный, я считаю, материал по практическим испытаниям СБИС. Япосмотрел по изделиям, по которым проводились испытания - там все:там регулярные структуры памяти - это наиболее сложные СБИС, тамприменяются и нерегулярные структуры, СБИС испытывались.Испытывались различные технологические уровни, КМОП испытывались,это базовые, конечно, для СБИС, испытывались и радиационно-стойкиеизделия КМОП-КНИ.

С точки зрения масштаба и охвата работы, всехаспектов развития СБИС, я считаю, что здесь произошло то, что нужно. Яне буду останавливаться на содержании работы, он (соискатель) доложил,все рассказал и я повторять не буду. Все знают, что основной вопрос,который звучит - это разработка нового метода ускоренных испытанийдля тех изделий, которые сейчас разрабатываются и начинают внедряться.Этого ждет наша промышленность, не только разработчики, но и преждевсего те люди, которые разрабатывают эти схемы.