СТЕНОГРАММА (Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем на надежность)

СТЕНОГРАММАзаседания диссертационного совета Д 212.131.04 при Федеральном государственном бюджетномобразовательном учреждении высшего образования «Московский государственный университетинформационных технологий, радиотехники и электроники» от 25 июня 2015 года, протокол №15/2015, по защите диссертации Дорошевича П.В. «Методы ускоренных испытаний сверхбольшихинтегральных микросхем на надежность», представленной на соискание ученой степени кандидататехнических наук по специальности 05.02.23 - «Стандартизация и управление качествомпродукции»Председательствующий Заместитель председателя диссертационногосоветад.т.н., профессор Есаулов Н.П.Ученый секретарь диссертационного советад.т.н., доцент Замуруев С.Н.Состав совета утвержден в количестве 22 человек.

На заседании присутствует 15 членов совета:1.2.3.4.5.6.7.8.9.10.11.12.13.14.15.Анцыферов С.С.+Воротилов К.А.+Гродзенский С.Я. +Дорошевич К.К.+Евдокимов А.А.+Есаулов Н.П.+Замуруев С.Н.+Засовин Э.А.+Коржавый А.П.+Марин В.П.+Попо Р.А.+Савченко В.П.Садковский Б.П.+Сидорин В.В.+Щ ука А.А.+д.т.н.д.т.н.д.т.н.д.т.н.д.х.н.д.т.н.к.т.н.д.т.н.д.т.н.д.т.н.д.т.н.д.т.н.д.т.н.д.т.н.д.т.н.05.02.23 - технические0 5 .0 2 .2 2 - технические0 5 .0 2 .2 3 - технические05.02.23 - технические0 5 .0 2 .2 3 - технические0 5 .0 2 .2 2 - технические05.02.23 - технические0 5 .0 2 .2 2 - технические05.26.01 - технические0 5 .0 2 .2 2 - технические05.26.01 - технические0 5 .0 2 .2 2 - технические05.26.01 - технические05.02.23 - технические0 5 .0 2 .2 2 - техническиенаукинаукинаукинаукинаукинаукинаукинаукинаукинаукинаукинаукинаукинаукинаукив том числе шесть докторов наук по специальности рассматриваемой диссертации.На заседании диссертационного советад.т.н.1. Голубь Б.И.д.т.н.Денисенко А.Н.2.д.ф-м.н.Капустин В.И.3.д.биол.н.Кроль В.М.4.д.псих.н.Мунипов В.М.5.д.т.н.Соркин Ф.В.6.д.т.н.Шульгин Е.И.7.отсутствуют:05.02.23 технические05.02.23 технические05.26.01 технические05.26.01 технические05.26.01 технические05.26.01 - технические05.02.22 ■техническиенаукинаукинаукинаукинаукинаукинаукиПрисутствуют:официальный оппонент, доктор технических наук, профессор Николаев В.Н.официальный оппонент, доктор технических наук, профессор Гамкрелидзе С.А.Председатель:Уважаемые члены диссертационного совета, коллеги и гости, разрешитеоткрыть заседание ученого совета.

Данную защиту было порученопровести мне, поскольку научный руководитель работы, котораявыносится на защиту, является Марин Владимир Петрович. На защитувыноситсядиссертациясоискателякафедрыметрологииистандартизации нашего университета - МИРЭА Дорошевича ПавлаВикторовича на тему «Методы ускоренных испытаний сверхбольшихинтегральных микросхем на надежность», представленной на соисканиеученой степени кандидата технических наук по специальности 05.02.23«Стандартизация и управление качеством продукции».

Научныйруководитель - доктор технических наук, профессор Марин ВладимирПетрович.Официальные оппоненты: доктор технических наук,профессор Николаев Василий Николаевич и доктор технических наук,профессор Гамкрелидзе Сергей Анатольевич, на защите присутствуют.Ведущее предприятие: ОАО «Ангстрем». Кворум имеется, присутствуют15 членов ученого Совета, в том числе 6 докторов наук по специальности05.02.23, так что юридически у нас есть возможность данную защитуоткрыть.Слово для оглашения данных о соискателе и документов, имеющихся вделе,предоставляетсяУченомусекретарю,ЗамуруевуСергеюНиколаевичу.Ученый секретарь:Дорошевич Павел Викторович 1990 года рождения. В 2012 годуокончил с отличием МИРЭА по специальности«Стандартизация исертификация» (факультет электроники).

Параллельно Дорошевич П.В.получал второе высшее образование по специальности «экономика иуправление на предприятии (в приборостроении)» тоже в МИРЭА.С 2009 - 2012 год работал на предприятии ООО «Эленорд», вдолжности заместителя генерального директора по качеству. В 2012 годупродолжил работу в ОАО «Радиотехническом институте имени академикаА Л . Минца». Вместе с тем, параллельно с 2009 года Дорошевич П.В.успешно участвовал в проведении ряда работ совместно с ФГУ «22 ЦНИИИМинобороны России» (Факультет электроники - Базовая кафедра № 141).Павел Викторович имеет семь частных работ, все работы ВАК, из них двеработы без соавторов. Имеется акт внедрения, имеется в деле заключениеорганизации, где выполнялась работа - заключение МИРЭА, имеютсяотзывы ведущей организации, отзывы оппонентов. На автореферат пришлодвенадцать отзывов. Если есть вопросы, готов ответить.Председатель:Внимание! Есть вопросы к Сергею Николаевичу? Нет?Слово предоставляется соискателю для доклада основных положенийдиссертации.

Павел Викторович, Вам слово, постарайтесь уложиться вотведенные Вам 20 минут.Дорошевич П.В.:Докладывает основные положения диссертационной работы (текстдоклада пршагается).Председатель:Спасибо. Пожалуйста, вопросы к Павлу Викторовичу?Гродзенский С.Я.:Павел Викторович, откройте, пожалуйста, седьмой слайд. Чем определенвыбор метода определения энергии активации на основе параллельныхвыборок в различных режимах?Дорошевич П.В.:Благодарю за вопрос. Определение энергии активации по накопленнымданным и по результатам электротермотренировки не выбраны из-за того,что в настоящее время недостаточно накопленных данных для СБИС спроектными нормами 0,6 - 0,13 мкм и менее, вдобавок - по результатамэлектротермотренировки требуются еще большие выборки.

Что касаетсярезультатов испытаний со случайно возрастающей нагрузкой - здесьтребуется длительное проведение испытаний, т.е. они продолжаются додостижения 50 % отказов. Поэтому выбран метод определения энергииактивации на основе параллельных выборок в различных режимах т.к. онсоставляет минимальные временные затраты.Гродзенский С.Я.:Все, я понял. Спасибо.Председатель:Еще вопросы?Садковский Б.П.:Есть вопрос.

Скажите, пожалуйста, в Вашей работе метод ускоренныхиспытаний, ответьте мне на такой вопрос - в чем состоит уточнениеметодов ускоренных и экспериментальных испытаний?Дорошевич П.В.:Благодарю Вас за вопрос. Уточнен диапазон температур - в пределах до150°С - для проведения испытаний и планы контроля в зависимости отсложности.Садковский Б.П.:Все понятно. Спасибо.Председатель:Есть еще вопросы? Эдуард Анатольевич, Вам слово.Засовин Э.А.:У меня два вопроса, если позволите?Председатель:Да, пожалуйста.Засовин Э.А.:Первый вопрос - слайд 5. Внизу Вы пишете, что целесообразно принятьоценку надежности испытаний при повышенной температуре и решили,что это метод входит в метод оценки отказов по результатам испытаний,почему Вы решили, что в этот раздел, а не во 2-й раздел?Дорошевич П.В.:Многие авторы, которых я изучал при написании диссертационнойработы, относят именно в этот разделЗасовин Э.А.:Ну, как-то не стыкуется.

Может быть, я не спорю, поскольку не оченьзнаю.Дорошевич П.В.Стандарты JEDEC-кие рекомендуют относить в данный раздел.Засовин Э.А.:Хорошо, я понял. И второй вопрос - я полистал Вашу диссертацию и тамперечислены предприятия, на которых проводились испытания. Это что символические названия или нумерация, или что?Дорошевич П.В.:Благодарю за вопрос. Нет, не символическая нумерация. Основнымипредприятиями, материалы которых использованы в материалахдиссертационной работы, являются ОАО «НИИМЭ и Микрон», ОАО«Ангстрем», Холдинг «Интеграл», ЗАО «МЦСТ» и «Миландр».Гаврилов А.А.:А как теперь увязать то, что Вы перечислили сейчас, и то, что вдиссертационной работе?Дорошевич П.В.:Это сделано с точки зрения сохранения коммерческой тайныЗасовин Э.А.:Понятно, спасибо.

Все, у меня нет вопросов.Председатель:Спасибо. Еще у кого вопросы? Виктор Викторович, пожалуйста.Сидорин В.В.:Не пробиться с вопросами. Интерес большой к работе, и действительноона очень интересная. Павел Викторович, у меня простой вопрос, первый- название работы - «Методы ускоренных испытаний...», а Вы говорите ометоде?Дорошевич П.В.:Для разработки метода я должен был рассмотреть все возможные методыускоренных испытаний, а остановился на одном.Сидорин В.В.:Разработка метода, а анализ методов?Дорошевич П.В.:Да, естественно.Сидорин В.В.:Понятно, и тогда другой вопрос. Правильно говорить 0,6 - 0,13микрометров, а не микрон.

Кроме количественных отличий, в чемпринципиальное отличие разработанного метода от существующих(предшественников)?Дорошевич П.В.:У микросхем 2, 3 и более микрон при переходе уже на малые проектныенормы изменяются материалы - для разводки используется медь,изменяется толщина и ширина металлизации, напряжения питанияуменьшаются до 1 В.

Вот в чем принципиальные отличия, ну и, конечноже, размеры.Сидорин В.В.:Павел Викторович, это количественные отличия. Т.е. мы меняемускоряющий фактор, меняем его значение, меняетсявсе. Апринципиально, метод остается методически тот же самый, или нет?Дорошевич П.В.:Методически он не будет тем же самым, потому что определены ужевиды и причины отказов для данного метода и определена энергияактивации для данного метода.Сидорин В.В.:Самое главное причины.Дорошевич П.В.:Да, определены причины отказов для СБИС с проектными нормами 0,6 0,13 мкм и менееСидорин В.В.:Понятно, спасибо. И почему температура, а не что-то иное в качествеускорения?Дорошевич П.В.:Потому что при ускорении по току и по напряжению, коэффициентускорения будет составлять единицы, т.е. это 1 - 1,5.