Заключение организации, где выполнялась диссертация (Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем на надежность)

МИНОБРНАУКИ РОССИИФедеральное государственное бюджетное образовательное учреждениевысшего профессионального образования"Московский государственный технический университет радиотехники,электроники и автоматики"МГТУ МИРЭАПр.Вернадского, 78, Москва, 119454, тел (495) 433-00-66, факс (495)434-92-87 E-mail: mirea@mirea.ruУТВЕРЖДАЮ^тал В Е Р Ш Е ГV л с >къ.V,_юректор по научной работеМ П ш фрЭ Ад.ту^/грбфессора 'И.В. Соловьев« 2 £ Уи.*2015 г.Диссертационная работа Дорошевича Павла Викторовича «Методыускоренных испытаний сверхбольших интегральных схем на надежность»выполнена на кафедре метрологии и стандартизации Московского государ­ственного технического университета радиотехники, электроники и автома­тики (МГТУ МИРЭА).Научный руководитель работы Марин Владимир Петрович, доктор тех­нических наук, профессор, кафедры метрологии и стандартизации МГТУМИРЭА.По результатам рассмотрения диссертационной работы «Методы уско­ренных испытаний сверхбольших интегральных схем на надежность» на за­седании кафедры метрологии и стандартизации МГТУ МЭРЭА принято сле­дующее заключение:ЗАКЛЮЧЕНИЕо диссертационной работе Дорошевича Павла Викторовича «Методы уско­ренных испытаний сверхбольших интегральных схем на надежность», пред-ставленной на соискание ученой степени кандидата технических наук поспециальности 05.02.23 «Стандартизация и управление качеством продук­ции».1.

Актуальность исследованийОбеспечение качества и надежности микросхем имеют особую значи­мость, так как характеристики этих изделий во многом определяют тактико­технические характеристики радиоэлектронной аппаратуры (РЭА), создан­ной на их основе.Существующие методы ускоренных испытаний на безотказность инаработку до отказа разработаны применительно к микросхемам с размерамиэлементов (проектные нормы) 2, 3 мкм и более. За последние годы предприя­тиями разрабатываются сверхбольшие интегральные схемы (СБИС) с разме­рами элементов 0,6-0,13 мкм и менее.

Проводятся работы по разработке тех­нологических процессов для производства указанных СБИС. Уменьшениепроектных норм делает необходимым уменьшение напряжений, толщин сло­ев окисла и металла, а также диффузионных глубин и возрастания глубинылегирования. Все это влияет на физико-технические процессы, на энергиюактивации, характер отказов. В связи с этим возникает необходимость в ис­следованиях по определению энергии активации, механизмов отказов и раз­работке метода ускоренных испытаний на безотказность и наработку до от­каза для СБИС с размерами элементов 0,6-0,13 мкм и менее. Проблемыопределения возможных видов и причин отказов указанных СБИС, уточне­ния методов ускоренных и экспериментальных испытаний в части режимов ипланов контроля, определения энергии активации актуальны и востребованыв современном микроэлектронном производстве.В связи со сказанным, диссертационные исследования, направленныена решение проблемы проведения ускоренных испытаний на безотказность инаработку до отказа для СБИС с размерами элементов 0,6 -0,13 мкм и менее,являются актуальными.2.

Новые научные результатыОсновными новыми научными результатами, полученными лично со­искателем, являются:• проведен анализ полученных результатов испытаний на безотказ­ность, наработку до отказа и электротермотренировку СБИС с проектныминормами 0,6 - 0,13 мкм и менее и определены возможные виды и причиныотказов СБИС;• рассмотрены возможные методы ускоренных и экспериментальныхиспытаний и определены методы проведения исследований СБИС;• уточнены методы ускоренных и экспериментальных испытаний в ча­сти режимов и планов контроля;• определены типы СБИС, на которых проведены испытания;• определена энергия активации для СБИС с проектными нормами0,6 - 0,13 мкм и менее;f• разработан метод ускоренных испытаний СБИС на безотказность инаработку до отказа.3. Практическая значимость работыПрактическая значимость работы заключается в том, что разработаннаяметодология позволяет определять требования к процессам проектированияи производства, проводить ускоренную оценку работоспособности СБИС.

Засчет этого сокращаются сроки и стоимость проведения ускоренных испыта­ний порядка 30 %.4. Методы исследования, достоверность и обоснованностьТеоретические и физические исследования базируются на методах тео­рии планирования и организации научного эксперимента, методах системно­го анализа, экспериментальных исследованиях причинно-следственных свя­зей дефектов и отказов микросхем с конструктивно-технологическими харак­теристиками, технологическими операциями, качеством материалов (ста­тистических обобщений проведения анализа отказов микросхем).Достоверность и обоснованность результатов подтверждаются тем, чтоосновные результаты работы предложены и приняты для включения в норма­тивно-техническую документацию, регламентирующую оценку надежностимикросхем.5. Конкретное участие автора в получении научных результатовЛичный вклад автора заключается в разработке научных рекоменда­ций, позволяющих провести ускоренные испытания СБИС с проектныминормами 0,6-0,13 мкм и менее.Все основные научные результаты диссертационной работы Дороше­вича П.В.

получены автором самостоятельно, игтю подтверждается их публи­кацией в 7 статьях рекомендованных в ВАК РФ (в том числе две - без соавIторов).6. Апробация работы и публикацииРезультаты диссертационного исследования реализованы в НИР «Раз­витие методов ускоренных испытаний на безотказность и наработку до отка­за применительно к микросхемам с субмикронными размерами элементов».Основные положения и результаты диссертационной работы включеныв проект нормативно-технической документации, регламентирующей прове­дение ускоренных испытаний СБИС на безотказность и наработку до отказа.По результатам исследований и практических разработок опубликова­но 7 научных работ - в изданиях, рекомендованных в ВАК РФ, в том числедве - без соавторов.

Основными из них являются:1.Дорошевич П.В. Возможные виды отказов сверхбольших инте­гральных схем. МО РФ "Военная электроника и электротехника", вып. 65(Ф), ч.2,2013.- с. 67-73.2.Дорошевич П.В. Исследования по определению энергии активациисверхбольших интегральных схем. МО РФ "Военная электроника и электро­техника", вып. 65 (Ф), ч. 2, 2013.

- с.85-92.7. Соответствие содержания диссертации специальности,по которой она рекомендована к защитеЗаседание кафедры метрологии и стандартизации постановляет:Диссертация выполнена на актуальную тему и представляет собойнаучно-квалификационную работу, в которой, на основании выполненныхавтором исследований, содержится решение научной задачи, заключающейсяв разработке методологии ускоренных испытаний СБИС с проектными нор­мами 0,6-0,13 мкм и менее, имеющей значение для повышения эффективно­сти оценки работоспособности СБИС.

Содержание диссертации соответству­ет пунктам 1, 2, 7, 8 паспорта специальности 05.02.23 «Стандартизация иуправление качеством продукции».В диссертационной работе отсутствуют некорректные заимствованиятрудов ученых, ненормативная лексика, призывы к терроризму и экстремиз­му.Материал исследования может быть размещен в сети Интернет.Диссертационная работа «Методы ускоренных испытаний сверхболь­ших интегральных схем на надежность» Дорошевича П.В. рекомендуется кзащите на соискание ученой степени кандидата технических наук по специ­альности 05.02.23 «Стандартизация и управление качеством продукции».Заключение принято на заседании кафедры метрологии и стандартиза­ции МГТУ МИРЭА.Присутствовало на заседании 9 чел., из них 7 человек профессорскопреподавательского состава (4 доктора технических наук).Результаты голосования:«за» - 7 чел.«против» - 0 чел.«воздержалось» - 0 чел.Протокол № 7 от 27 марта 2015 г.Заведующий кафедрой МиС,доктор технических наук, профессорУченый секретарь кафедры МиС,кандидат технических наук, доцентС.С.

АнцыферовК.Е. Русанов.