Заключение ДисСовета (Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральных микросхем на надежность)

ЗАКЛЮЧЕНИЕ ДИССЕРТАЦИОННОГО СОВЕТАД 212.131.04, на базе Федерального государственного бюджетного образователь­ного учреждения высшего образования «Московский государственныйуниверситет информационных технологий, радиотехники и электроники»,по диссертации Дорошевича Павла Викторовича, на соискание ученой степеникандидата технических наукаттестационное дело № ______________________________решение диссертационного совета от 25.06.2015 № 52О присуждении Дорошевичу Павлу Викторовичу, гражданину РФ, ученойстепени кандидата технических наук.Диссертация «Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральныхмикросхем на надежность» в виде рукописи по специальности 05.02.23 - «Стан­дартизация и управление качеством продукции» принята к защите «21» апреля2015 г., протокол № 08/2015, диссертационным советом Д 212.131.04 на базеФГБОУ ВО «Московский государственным университет информационных техно­логий, радиотехники и электроники» (МИРЭА), 119454 г.

Москва, проспект Вер­надского, дом 78, созданным по приказу Минобрнауки России № 105/нк от11.04.2012 для защиты кандидатских и докторских диссертаций по специально­стям 05.02.22 «Организация производства» по техническим наукам, 05.02.23«Стандартизация и управление качеством продукции» по техническим наукам и05.26.01 «Охрана труда» по техническим наукам.Соискатель Дорошевич Павел Викторович, 1990 года рождения, гражданинРФ, в 2012 году окончил МИРЭА по специальности «Стандартизация и сертифи­кация.

В 2013 году Дорошевич Павел Викторович окончил МИРЭА по специально­сти «Экономика и управление на предприятии (в приборостроении)».Удостоверение о сдаче кандидатских экзаменов № 17-22/01-2015 выдано 12марта 2015 г. ФГБОУ ВО «Московский государственным университет информа­ционных технологий, радиотехникии электроники».Диссертация выполнена на кафедре метрологии и стандартизации ФГБОУВО «Московский государственным университет информационных технологий,радиотехники и электроники».В период подготовки диссертации в 2009 - 2014 год был соискателем кафед­ры метрологии и стандартизации ФГБОУ ВО «Московский государственнымуниверситет информационных технологий, радиотехники и электроники». С 2009года работал в ООО «Эленорд», в должности начальника службы контроля каче­ства, занимаясь системой качества поставок электронной компонентной базы рос­сийских предприятий, выполняющих государственный оборонный заказ.

Соиска­тель Дорошевич П.В. участвовал в проведении исследований и ускоренных испы­таниях сверхбольших интегральных схем совместно с ФГУ «22 ЦНИИИ Минобо­роны России» (Факультет электроники ФГБОУ ВО «Московский государствен­ным университет информационных технологий, радиотехники и электроники» Базовая кафедра № 141). В 2012 году продолжил работу в должности главногоспециалиста ОАО «Радиотехническом институте имени академика A.JI.

Минца».Научный руководитель - Марин Владимир Петрович, гражданин Россий­ской Федерации, доктор технических наук, профессор кафедры метрологии истандартизации факультета электроники ФГБОУ ВО «Московский государствен­ным университет информационных технологий, радиотехники и электроники».Официальные оппоненты:1. Николаев Василий Николаевич, гражданин Российской Федерации, доктортехнических наук, профессор, главный научный сотрудник Филиала ФГБУ «46ЦНИИ Министерства обороны»;2. Гамкрелидзе Сергей Анатольевич, гражданин Российской Федерации, док­тор технических наук, профессор, главный научный сотрудник Федерального го­сударственного бюджетного учреждения науки Института сверхвысокочастотнойполупроводниковой электроники Российской академии наук;дали положительные отзывы на диссертацию.Ведущая организация Центр микроэлектроники ОАО «Ангстрем» г.

Моск­ва, Зеленоград, в своем положительном заключении, подписанном МинаевымВ.В., доктором физико-математических наук, секретарем НТС, ведущим научнымсотрудником ОАО «Ангстрем» и утвержденном заместителем председателя НТС,директором центра микроэлектроники - главным конструктором, кандидатом тех­нических наук Машевичем П.Р., указала, что диссертация выполнена на высокомнаучном уровне, изложена четким научным языком, содержание автореферата со­ответствует содержанию диссертации. В отзыве отмечается, что в работе содер­жится решение актуальной и важной для обороноспособности страны научной за­дачи - ускоренная оценка надежности сверхбольших интегральных схем (СБИС)с проектными нормами 0,6-0,13 мкм.

Работа соответствует паспорту специально­сти 05.02.23 «Стандартизация и управление качеством продукции».Соискатель имеет 7 опубликованных научных работ общим объемом 1,54печатных листов (из них 0,83 автора), в том числе по теме диссертации 7 работ,опубликованных в рецензируемых научных изданиях.Наиболее значимые научные работы по теме диссертации:1. Дорошевич В.К., Дорошевич П.В. Определение оптимального состава от­браковочных испытаний пластин и микросхем. "Наукоемкие технологии" №4,2012.

- с.40 - 44.2. Дорошевич К.К., Поздеев А.П., Дорошевич П.В., Попова Н.В. Результатыиспытаний сверхбольших интегральных микросхем с топологическими нормами0,6-0,13 мкм на наработку до отказа и электротермотренировку. МО РФ "Военнаяэлектроника и электротехника", вып. 64, ч. 1, 2012. - с. 132 - 138.3. Дорошевич П.В. Возможные виды отказов сверхбольших интегральныхсхем. МО РФ "Военная электроника и электротехника", вып. 65 (Ф), ч.

2, 2013. с. 67 - 73.4. Дорошевич П.В. Исследования по определению энергии активации сверх­больших интегральных схем. МО РФ "Военная электроника и электротехника",вып. 65 (Ф), ч. 2, 2013. - с.85-92.На диссертацию и автореферат поступили отзывы из:- Филиала ФГБУ «46 ЦНИИ» Минобороны России от начальника отдела,к.т.н., А.А. Орлов, ученого секретаря НТС, к.т.н., А.С. Афанасьева (утвержден от­зыв заместителем начальника филиала ФГБУ «46 ЦНИИ» МО по научной работе,к.т.н., доцентом Д.В. Матюхиным);- ФГБУ ВНИИ ГОЧС (ФЦ) от заместителя начальника ФГБУ ВНИИ ГОЧС(ФЦ), заслуженного деятеля науки РФ, д.т.н., профессора С.А.

Качанова;- АО «НЛП «Геофизика-Космос» от начальника отдела применения ЭКБП.Р. Прокофьева (утвержден отзыв главным конструктором АО «Н1111 «ГеофизикаКосмос» М.Г. Пироговым);- ОАО «ЦКБ «Дейтон» от главного конструктора Ю.Н. Смирнова;- Филиала научно-технического центра «Белмикросистемы», холдинга«ИНТЕГРАЛ» от заместителя директора филиала научно-технический центр «Бел­микросистемы» холдинга «ИНТЕГРАЛ», член-кор.

НАН РБ, лауреата Государст­венной премии республики Беларусь, заслуженного изобретателя республики Бела­русь, д.т.н., профессора А.И. Белоуса;- ФГБУ «Научно-производственный комплекс «Технологический центр»МИЭТ» от главного контролёра, к.т.н., А.С. Федорова;- АО «Концерн «Созвездие» от руководителя проекта электронной компо­нентной базы, к.т.н., доцента B.C.

Цымбалюка;- ФГУП «Научно-производственный центр автоматики и приборостроенияимени академика Н.А.Пилюгина» от начальника отделения Р.Б. Назьмова (отзывутвержден первым заместителем генерального директора по научной работе ФГУП«НГТПАП», д.т.н., профессором В.А. Немкевичем);- ОАО «Экситон» от начальника управления контроля качества В.Н. Богрова(отзыв утвержден генеральным директором ОАО «Экситон» О.Э. Хукеяном);- ФГБУ «16 ЦНИИИ» МО РФ от старшего научного сотрудника, к.т.н., с.н.с.,B.C. Качалубы, начальника отдела А.И.

Таранова;- ОАО «НИИМА «Прогресс» от заместителя генерального директора поСАПР, АСУ и разработке СБИС специального назначения Ю.В. Завалина (отзывутвержден главным научным руководителем ОАО «НИИМА «Прогресс» В.Г. Немудровым);- ОАО «Восход»-КРЛЗ от главного конструктора Ю.А. Зайцева.Все отзывы положительные.Наиболее существенные замечания, содержащиеся в отзывах:1.В автореферате не приведено обоснование выбора метода проведения экс­периментальных испытаний.2. В автореферате не приведено обоснование выбора ускоряющего факторапри ускоренных испытаниях.3.

Предложенный метод ускоренных испытаний для СБИС с проектныминормами 0,6-0,13 мкм целесообразно распространить для других групп однород­ной продукции.4. В космической технике применяются микросхемы с более низкими топо­логическими нормами и в перспективе требуется проведение аналогичных иссле­дований для технологий 180-65 нм.Отмеченные недостатки не снижают достоинств и общего положительноговпечатления от работы.Выбор официальных оппонентов и ведущей организации обоснован новиз­ной представленной диссертационной работы, которая состоит в создании методаускоренных испытаний сверхбольших интегральных схем с проектными нормами0,6 -0,13 мкм и менее, и практической значимостью исследования, состоящей всокращении длительности и затрат на испытания на 30 %.Это потребовало привлечения для оппонирования данной работы, имеющейглубокий как теоретический, так и прикладной характер, следующих специали­стов:-для анализа правильности теоретической постановки выбранной авторомпроблемы, а также для оценки получаемых выводов и заключений;-для анализа предлагаемого метода ускоренных испытаний СБИС;-для оценки результатов реализации авторских разработок в конкретнойпредметной области - предприятий - разработчиков, производящих микросхемы.Диссертационный совет отмечает, что на основании выполненных соис­кателем исследований:разработаны программа испытаний СБИС с проектными нормами 0,6 - 0,13мкм и менее, методические подходы к определению энергии активации, коэффи­циента ускорения, констант моделей ускорения, границы допустимого форсиро­вания при проведении ускоренных испытаний на наработку до отказа указанныхСБИС; типовой состав видов и причин отказов указанных СБИС;предложен метод ускоренных испытаний на безотказность и наработку доотказа СБИС с проектными нормами 0,6 - 0,13 мкм и менее позволяющий сокра­тить длительность и затраты на испытания на 30 %;доказано, что:- определяющим фактором ускоренных испытаний на наработку до отказаявляется повышенная температура;- значение энергии активации целесообразно определять путем проведенияпараллельных испытаний выборок в различных режимах;- среднее значение энергии активации на 0,1-0,15 эВ больше, чем значениеэнергии активации для микросхем с проектными нормами 2,3 мкм и более.введены понятия коэффициента ускорения, констант моделей ускорения,границы допустимого форсирования для СБИС с проектными нормами 0,6-0,13мкм и менее, а также определен типовой состав видов и причин отказов для ука­занных СБИС, введены требования для проведения ускоренных испытаний поподтверждению наработки до отказа СБИС с проектными нормами 0,6 - 0,13 мкми менее.Теоретическая значимость исследования обоснована тем, что:доказано на основе проведенных испытаний что, для ускоряющего факторанеобходимо определить температуру, энергию активации необходимо определятьпутем проведения параллельных испытаний выборок в различных режимах;применительно к проблематике диссертации эффективно использован су­ществующий метод ускоренных испытаний для СБИС с проектными нормами 2,3 и более мкм;изложены: типовой состав видов и причин отказов СБИС с проектныминормами 0,6-0,13 мкм и менее, возможные методы проведения ускоренных испы­таний, экспериментальных испытаний по определению энергии активации;раскрыты проблемы при проведении ускоренных испытаний СБИС с про­ектными нормами 0,6-0,13 мкм и менее;изучены существующие методы ускоренных и экспериментальных испыта­ний СБИС, а также методы проведения испытаний для определения энергии акти­вации, виды и причины отказов СБИС с проектными нормами 2, 3 и более мкм;проведена модернизация существующих методов ускоренных испытаний набезотказность и наработку до отказа СБИС с проектными нормами 2, 3 мкм и бо­лее, апробация разработанного метода на ряде предприятий оборонной промыш­ленности.Значение полученных соискателем результатов исследования дляпрактики подтверждается тем, что:разработаны и внедрены методические подходы к определению энергииактивации, коэффициента ускорения, констант моделей ускорения, границы до­пустимого форсирования при проведении ускоренных испытаний на наработку доотказа СБИС с проектными нормами 0,6 - 0,13 мкм и менее; разработанный методпредложен и принят для включения в проект стандарта «Микросхемы интеграль­ные.